真空技術閥門漏率測試中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 Ⅲ 1 1 1 4 4 4 46.2閥體檢漏 66.3氣動閥在驅動壓縮空氣壓力最小和最大狀態下的檢漏(可選項) 86.4手動閥在最小和最大力矩驅動條件下的檢漏(可選項) 86.5工作溫度范圍內的檢漏(可選項) 86.6烘烤后漏率測試(可選項) 8 8參考文獻 9IⅢGB/T34878—2017/ISO27895本標準使用翻譯法等同采用ISO27895:2009《真空技術閥門漏率測試》。——GB/T18193—2000真空技術氦質譜檢漏儀校準(ISO3530:1979,IDT)。GB/T34878—2017/ISO27895:2009泄漏主要有3種形式：c)滲漏，氣體從密度大的一側通過固體結構材料上存在的直徑可與原子相比的微孔向密度小的1真空技術閥門漏率測試ISO3530真空技術氦質譜檢漏儀校準(Vacuumtechnology—Mass-spectrometer-typeleakde-q注1:改寫ISO3530:1979,定義2.在入口壓力為(100±5)kPa,出口壓力低于1kPa,溫度為(23±7)℃的標準狀態下，露點低于注1:改寫ISO3530:1979,定義2.5.2。注2:標準狀態參考ISO3530:1979。分子狀態下，標準空氣漏率低于10-7Pa·m3/s時的薄壁漏孔的漏率。2GB/T34878—2017/ISO27895:2009示漏氣體tracegas用于檢漏的氣體。工作壓力operatingpressurepo(真空閥門技術〉閥門的工作壓力范圍。最大工作壓力maximumoperatingpressure(真空閥門技術》閥門能夠正常工作的最大工作壓力。注1:圖1和圖2分別為角閥和插板閥結構示意圖。△p〈常規角閥和插板閥)p?和p?間的壓力差，其中p2為閥板上帶有彈性密封圈一側空間的壓力，p?為閥板另一側壓力。2——端口B。31——端口A;PpTT4pnpopo,maxpppip?q℃T℃T℃TN·m5要求5GB/T34878—2017/ISO27895:200946562232——真空閥門；表1規定了閥板漏率測試中4個不同的項目。端口A連接端口B連接1(基本項)真空示漏氣體檢漏系統檢漏氣源2(可選項)真空檢漏系統檢漏氣源3(可選項)示漏氣體真空檢漏氣源檢漏系統4(可選項)真空檢漏氣源檢漏系統一般用純氦或含氦混合氣體作為示漏氣體，如使用混合氣體，在檢漏過程中氦氣濃度宜高于10%且保持穩定，示蹤氣體濃度低于100%時應進行修正。在滲漏對測試結果有影響前對實際漏率進行測試。因為此時間間隔取決于閥門密封材料對氦氣的滲透率和閥門的結構形式，應在盡可能短的時間內向閥6等待時間超過30s可導致某些閥門的漏率無法檢測。根據被測閥門的結構形式和材料選擇適當的測試間隔時間。噴吹檢漏法易于實施(見圖4),但比圖3所示的方法定量性差。如使用噴吹檢漏法，宜進行合理修正。建議此方法僅用于比對或定性檢漏測試。2——真空閥門；3——噴槍；4——檢漏氣源；5——檢漏系統。圖4閥板噴吹法檢漏的示意圖示漏氣體壓力為(100±5)kPa或由制造商規定的最大工作壓力。根據驅動類型，閥門分為許多類型，例如：手動閥、力矩驅動手動閥、電動閥、電磁閥等。不同的驅動形式對閥板漏率測試結果均會有影響。被測閥門宜固定安裝并穩定可靠。圖5為閥體檢漏測試系統示意圖，被測閥門安裝在密閉容器內。檢漏過程中，容器內充人示漏氣體，壓力為pou,其值宜在(100±5)kPa范圍內(即，近似于pn±5%,p。為大氣壓)。如大氣壓低于95kPa,將其適當修正至100kPa。2——真空閥門；3——真空泵(可選項);4——真空規；5——檢漏氣源；6——檢漏系統；7密閉容器。圖5閥體檢漏系統示意圖注：在充入示漏氣體前對密閉容器進行抽空。可有效確保漏率精確測試時示漏氣體的純度。7GB/T34878—2017/ISO27895:2009表2規定了閥體檢漏的4個測試項目。通常只需測試項目1。當應對如裂縫、小孔或漏孔等泄漏部位進行定位時，可采用對閥體局部施加氦罩的方測試閥門狀態1(基本項)開檢漏系統盲板法蘭2(可選項)關檢漏系統盲板法蘭3(可選項)關盲板法蘭檢漏系統4(可選項)開/關檢漏系統盲板法蘭42351圖6閥體噴吹法檢漏示意圖一般用純氦或含氦混合氣體作為示漏氣體。如使用混合氣體，在檢漏過程中氦氣濃度宜高于10%且保持穩定。示蹤氣體濃度低于100%時應進行修正。8漏程序按6.1和6.2的要求進行。規定的檢漏程序進行檢漏。壓縮空氣最大壓力由驅動裝置的規格來確定(可確保安全操作的最大最大操作力矩tma此范圍內工作。此類閥門分別在最小和最大操作力矩下，依據6.在制造商規定的最低和最高操作溫度條件下，依據6.1和6.2要求進行閥在制造商規定的烘烤溫度下烘烤24h后，依據6.1和6.2要求進行檢漏測試。7測試報告b)測試日期；f)詳細的測試過程；g)測試結果；h)測試結果的不確定度；j)對測試結果負責的工作人員名單及其簽名。[2]ASTME1316,Standardterminologyfornondestructiveexaminations[3]ASTME1603,Standardtestmethodsforleakagemeasurementusingthemassspectrome-terleakdetectororresidualgasanaly[4]AST,E498,Standardtestmethodsforleaksusingthemas8spectrometerleakdetectororresidualgasanalyzerinthetraceprobemodeSymposiumTransactions,pp.124-126.PergamonPress,NewYork,1956NationalAeronauticsandSpaceAdministration,Washington,D