ICS7104099

CCSN.53.

中華人民共和國國家標準

GB/T17359—2023

代替GB/T17359—2012

微束分析原子序數不小于11的元素

能譜法定量分析

Microbeamanalysis—Quantitativeanalysisusingenergy-dispersive

sectrometrEDSforelementswithanatomicnumberof11Naorabove

py()()

ISO223092011MOD

(:,)

2023-12-28發布2024-07-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T17359—2023

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………2

試樣制備

4…………………4

儀器準備

5…………………5

分析步驟

6…………………5

數據處理

7…………………6

通則

7.1…………………6

峰的識別

7.2……………6

峰強度的估計

7.3………………………7

k值的計算

7.4…………………………7

基體效應

7.5……………7

參考物質的應用

7.6……………………7

無標樣分析

7.7…………………………7

結果的不確定度

7.8……………………8

結果報告

7.9……………9

附錄資料性原子序數小于的元素分析

A()11………10

附錄資料性譜峰與干擾峰鑒別

B()……………………11

附錄資料性譜峰的標定

C()……………12

附錄資料性影響測量結果不確定度的因素

D()………13

附錄資料性單個實驗室及不同實驗室之間再現性研究的數據舉例

E()……………15

參考文獻

……………………16

GB/T17359—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替微束分析能譜法定量分析與相比除結

GB/T17359—2012《》,GB/T17359—2012,

構調整和編輯性改動外主要技術變化如下

,:

刪除了吸收校正原子序數校正軔致輻射有證參考物質電子探針顯微分析熒光校正入射

a)、、、、、、

電子束能量定量分析溯源性射線吸收的術語和定義見年版的

、EDS、、X(20123.1、3.4、3.7、

3.8、3.12、3.15、3.17、3.24、3.32、3.35);

更改了能量分辨率和空間分辨率的術語及定義見年版的

b)(3.21、3.22,20123.28、3.29);

更改了試樣均勻性的要求見年版的

c)(4.2,20124.2);

更改了清除試樣表面污染物的要求見年版的

d)(4.3,20124.3);

更改了試樣制備的要求見年版的

e)(4.5,20124.5);

更改了試樣導電性的要求見年版的

f)(4.6,20124.6);

更改了參考物質的要求見年版的

g)(4.8,20124.8);

更改了探測器的要求見年版的

h)(5.5,20125.5);

更改了加速電壓的要求見年版的

i)(6.1,20126.1);

更改了系統計數率范圍的要求見年版的

j)(6.2,20126.2);

更改了選擇分析位置的要求見年版的

k)(6.5,20126.5);

更改了峰的識別的要求見年版的

l)(7.2,20127.2);

更改了參考物質應用的要求見年版的

m)(7.6,20127.6);

更改了確認分析方法的要求見年版的

n)(7.8.2,20127.8.2);

更改了分析結果歸一化的要求見年版的

o)[7.9j),20127.9j)]。

本文件修改采用微束分析原子序數大于等于的元素能譜法定量分

ISO22309:2011《11(Na)

析

》。

本文件與相比做了下述結構調整

ISO22309:2011:

根據附錄在正文中的提及順序調整了附錄的編排順序

———,。

本文件與的技術差異及其原因如下

ISO22309:2011:

用規范性引用的替換了見以適應我國的

———GB/T20726—2015ISO15632:2002(5.1、5.4、5.5),

技術條件增加可操作性

,;

用規范性引用的替換了見以適應我國的技

———GB/T27025—2019ISO/IEC17025:2005(7.9),

術條件增加可操作性

,;

用規范性引用的替換了見以適應我國的技術條件增加可

———GB/T30705ISO14594[6.1c)],,

操作性

;

用規范性引用的替換了見以適應我國的技術條件增加可操

———GB/T27788ISO16700(6.3),,

作性

;

刪除了文中未引用的吸收校正原子序數校正軔致輻射有證參考物質電子探針顯微分析

———“、、、、、

熒光校正入射電子束能量定量分析溯源性射線吸收的術語和定義以符合我國

、、EDS、、X”,

標準的編寫規則

;

修改了能量分辨率和空間分辨率的術語及定義使其更加明確地區分能量分辨率和空間分辨

———,

Ⅰ

GB/T17359—2023

率見

(3.20、3.21)。

本文件做了下列編輯性改動

:

刪除了的注見

———ISO22309:20113.16(3.10)。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位核工業北京地質研究院中國地質科學院礦產資源研究所中國科學院地質與地

:、、

球物理研究所廣東省科學院工業分析檢測中心

、。

本文件主要起草人范光葛祥坤陳振宇于阿朋毛騫伍超群

:、、、、、。

本文件于年首次發布本次為第一次修訂

2012,。

Ⅱ

GB/T17359—2023

引言

高能電子束作用于試樣上會產生射線這種射線隨著試樣中不同的化學組成原子類型特征

X,X()

而具有不同的能量波長每種元素的射線強度與該元素在試樣中的含量相關如果能夠測量這

()。X。

些射線強度將其與一個適當的參考物質或一組參考物質的射線強度作比較并用適當的方法校

X,X,

正那么每一元素的含量就能得以測定無標樣程序也可以提供試樣的定量結果但要有存儲在軟件

,。“”,

包中的先前測量的參考射線強度或通過理論計算得到的射線強度與之作對比這種基于一些假

XX。

設的程序的測試準確度必然比利用參考物質方法的測試準確度低見參考文獻檢測特征

([1]~[8])。X

射線有兩種常見的方法波譜法和能譜法本文件所采用的方法是能譜法

:(WDX)(EDS)。。

利用能譜法分析時輕元素原子序數Z的元素的定量分析更加復雜本文件討論了一

,[<11(Na)],

些有關這方面的問題

。

Ⅲ

GB/T17359—2023

微束分析原子序數不小于11的元素

能譜法定量分析

1范圍

本文件描述了用安裝在掃描電鏡或電子探針上的能譜儀對試樣上特定點或特定

(SEM)(EPMA)

區域進行定量分析的方法定量分析是指用質量分數百分數表示元素的含量正確鑒別試樣中所有

。()。

元素是定量分析中必不可少的組成部分因此本文件也包含這方面的內容本文件描述了多種能譜法

,,。

定量分析方法

。

本文件適用于利用參考物質或無標樣程序對質量分數高于的原子序數Z的元素進行

“”1%、>10

定量分析

。

本文件也給出了對原子序數小于的輕元素分析方法的信息

11。

注當沒有重疊峰并且相應的特征射線被強烈地激發時能譜儀也可以測量質量分數在水平的元素本

:,X,0.1%。

文件主要應用于表面平整試樣的定量分析基本方法也適用于表面不平整試樣的分析但會引入附加的不確

,,

定度分量

。

目前沒有公認的輕元素的準確能譜法定量分析方法以下是幾種常用于輕元素分析的

(EDS),

方法

EDS。

測量峰面積并對比峰強度如附錄中所述的原因這種方法對輕元素分析結果的不確定度

a)。A,

比重元素大

。

當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素Z結合時該輕元素的濃度可以通

b)(>10),

過與其他元素的相關濃度比進行測定這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定

。。

通過差值法計算濃度即用減去能夠分析元素的總百分數即為輕元素的百分數這種

c),100%。

方法只有在很好的束流穩定性和單獨測量至少一個參考樣品的條件下才能夠應用并且還需

,

要精確測定試樣中的其他元素