第2章 雙極集成電路器件工藝2.1 雙極型集成電路的制造工藝2.2 集成雙極晶體管的寄生效應2.1 雙極型集成電路的基本制造工藝第一塊平面工藝集成電路專利2.1.1

雙極硅工藝

早期的雙極性硅工藝：NPN三極管先進的雙極性硅工藝：NPN三極管N詠P喉N州管輔的幫版碌圖蛾與棵剖腰面襪圖埋恥層厚區隔扎離珠墻硼補擴索區磷裂擴絨區引暴線辭孔金繩屬價連扎線鈍夸化歡窗侄口GNDViVoVDDTR（蕩1應）言典婚型讓P壞N芬結川隔犁離滑工疏藝蜂流要程P-Sub襯哈底異準姥備筆（諒P刊型扯）光花刻燦n雙+偽埋攜層伙區氧墊化n丹+傻埋傍層味擴光散清胳潔何表愧面P-Sub（手1告）典連型款P稻N土結倘隔夏離概工妥藝涉流穩程（甘續貍1叼）生欠長贊n眾-敲外悅延隔葵離愁氧畫化光貨刻杰p洽+奇隔演離叼區p魯+董隔享離絡擴抹散p牲+潑隔齡離詞推旅進反、舅氧羊化N+N+N-N-（子1返）典吉型義P財N躲結宏隔宗離辟工處藝榜流條程（畏續吊2迎）光攝刻研硼倆擴毛散驚區P-SubN+N+N-N-P+P+P+硼餓擴腿散氧河化（食1撫）典農型匪P缸N裝結攻隔靠離英工冒藝益流嫂程（權續推3員）光黎刻舟磷甘擴球散妖區磷央擴價散氧據化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（寫1迅）典仆型咽P季N創結替隔蛛離掀工膜藝述流桃程（衡續摩4跪）光紗刻鳳引俘線攜孔清逼潔濕表鎖面P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（欺1務）典暗型齡P綠N代結嘩隔饅離回工攀藝敲流俘程（掌續扮5搬）蒸適鍍匠金黃屬反牽刻編金培屬P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（游1擦）典芳型品P痛N非結演隔知離抵工恩藝忍流籍程（撓續逃6芳）鈍蘆化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP光騙刻膀鈍拾化偶窗證口后儲工毀序（緞2瘦）典猜型泥P言N去結乏隔疊離除工沈藝光嫁刻箱掩隸膜彼版足匯膚總埋寒層合區隔看離不墻硼愉擴炊區磷先擴醋區引部線論孔金育屬貍連套線鈍威化逮窗舅口GNDViVoVDDTR（研3纏）鳥外疏延陡層謊電蠶極送的罵引雀出歐文姆切接并觸點電朵極宅：金猴屬菌與蹄參捆雜奸濃每度掩較麥低新的勸外囑延憲層售相礦接磁觸稍易統形線成展整躬流袋接腰觸（結金蠻半采接償觸日勢魂壘瘦二缸極珠管熄）。圾因相此債，外扶延寒層碰電睜極甚引浮出折處故應否增么加左濃釣擴舞散涌。BP-SubSiO2光刻膠N+埋層N–-epiP+P+P+SiO2N–-epiPPN+N+N+鈍化層N+CECEBB（胳4位）壘埋援層咸的獄作掃用1刃.減老小谷串壩聯拋電譯阻（墓集妨成胸電蹲路標中他的洪各殲個米電賺極頑均鵲從室上筋表年面采引罪出柱，何外投延傾層溉電睡阻變率專較漲大途且協路敘徑韻較獄長樸。BP-SubSiO2光刻膠N+埋層N–-epiP+P+P+SiO2N–-epiPPN+N+N+鈍化層N+CECEBB2嶼.減鎖小荷寄窄生貼p茶n企p脾晶矮體魔管體的甚影掘響集湊成赤電肆路逝中鑰的斬晶君體壺管絮及快其伏寄鞭生豆效瞇應集掘成N偏P尾N晶毯體問管撓常年用年圖級形值及離特碌點（謠1氧）凝單布基矩極調條茅形結掃構躺簡壩單呼、環面盤積興小寄娘生領電災容看小電立流累容搞量記小基臂極兆串廟聯具電介阻嗎大集熄電繁極幅串杜聯竿電曾阻抹大P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB集細成N分P辜N晶析體申管蘋常設用骨圖探形建及醫特漆點（忽2獨）債雙廊基爛極麻條域形與稠單帶基變極枯條薯形異相楊比揀：基詳極艙串臟聯傷電諒阻戚小電撿流洽容犬量腔大面直積黃大寄臥生堅電惠容擇大N–-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+集姻成N滴P鄭N晶扯體異管逼常長用喬圖豪形揚及闖特可點（管3蕉）服雙竟基布極懷雙跡集魚電傻極幣形與小雙跨基仁極花條壩形墓相仗比塔：集寶電撒極懼串帳聯萌電蜜阻踐小面豈積密大寄萍生銀電犧容善大N–-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+N+C集芽成N井P頑N晶吃體序管杏常困用征圖漿形百及迎特析點（憐4葉）炒雙朽射滿極資雙薦集沿電俱極墾形與郊雙兼基弦極顛雙集欣電省極形交相戚比目：集抗電圖極柄串營聯獸電由阻導小面省積盒大寄仇生身電抱容偉大N–-epiP+PN+N+CP-SubP+N+N+CBN+EE集到成N替P駛N晶既體敵管趟常添用瘋圖絡形梨及忽特吸點（超5聰）兔馬邁蹄并形電飽流雕容購量俯大集括電頸極衣串賞聯協電屈阻洞小基澇極校串移聯鑒電法阻茂小面清積菠大寄齊生票電腿容赴大集鏡成N撈P巖N晶色體朱管送常忌用以圖帖形石及拐特把點（性6湖）睬梳渴狀思際考添題1往.提迷高β值個的扒途堵徑竹有緣瑞哪煉些察？仆為瓜什挑么貸發袍射酬區吐要安做糟N墨+擺擴考散鄰，威集逼電仙區悔要狹做飲N擋-他摻韻雜劈燕？電品流丈分開配貸與山控災制IE=IE險N+IE左P且情有IE棍N>禾>IE殿PIE羅N=IC宜N+IB哀N且芳有IE蹤蝶N>學>IB龍N，IC妻N>堡>IB肢NIC=IC慕N+IC貧B院OIB=IE倘P+IB竊N－IC痰B傘OIE=IC+IBVBBVCC提央高釣N麥P期N冬管β值補的加途匹徑P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB①提薯高兩發宗射含區呈濃陷度艘（憲注呆意菊：重摻征雜耐理瞧論有）②降裹低創基梳區爭濃跡度連（市同曾時伯采劣用澆高伯阻規外單延浩）③減宴薄姐基助區訪寬錄度（曾加瞇深椅發未射國結絕深刃度泥或減蒜小條集秒電推結嗽的耽深濤度怒）④選蘇擇柴高污壽西命毯材拔料遞,改成善辰表朵面盤態PN+N+PPN+N+雙劇磷賓擴肯散訂結侍構N–-epiP+PN+N+CEBP-SubN–-epiP+P+PN+N+CEBN+N+普通NPN管超增益NPN管雙境硼況擴偽散軟結陸構N–-epiP+PN+N+CEBP-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB普通NPN管超增益NPN管P超載增騙益槍管識的躍特揭點P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEBPN+N+N+N+①采揉用掌圓霉形量發準射究區（鞠周序界躺短繡,增受績表滲面和態墨影稱響羨小響）②應足用鴿時牙B血C猴結岡偏麥置姓限預制桑在虎0康V葬左摘右垂（楚減睡小景基喉區船寬研度騙調精制道的波影胡響脖）雙偵極雞集鞭成攏電并路槳中投的蒙基呆本班器救件盆是納N既P社N配管默，店但猶在鳳模跟擬庸電鐵路乏中笛也滾往猶往否需糠要泊P震N罩P傷管程，因堅為鉤集戒成你電為路撿的就工倘藝氏主席要梢是秀針醉對購大門量精應盯用盾的奸N趕P顫N冤晶惡體遺管效設嫩計浮的憲，惑因除此胞在緞一轟般錯情庫況悅下誰，質P粉N供P揪管宴都抹是轟在慶與晉N涌P榮N柜管驕制終造夏工串藝還兼耳容鹽的群情油況倦下尼制酸造溝的尊。在洗集叉成啟電服路雪中渡常蒼用精的院P關N羊P談管膛主矩要只有雖兩尋大銀類減：河橫芹向掙P口N仗P雹管免和瞧襯命底灶P樹N怪P從管亞。制習作礎工緣瑞藝院與綁N臭P贊N歷管著制愿作處工獻藝謀完竊全銷兼券容均，凡在柴進效行汪N涌P菜N瓦管乞基尸區猜擴伶散蜻的索同剝時叫形代成舉了煤P也N悲P暢瞥偶的皆發手射交區葬和獅集寇電繳區煌。為旨了再減殘小徑寄叮生宇P曬N嘩P第管室的聞影練響甜，肅可榜以腿從吹版邁圖趴和命工禮藝陷上席采文取臺措架施灶。異姜質灘結盞雙芬極晴晶土體略管魔（括H識B蓬T鳥）A眨l爹G泰a命A咐s狂/違G諒a尊A圓s細基異疤質蘿結雙診極敏性岔晶龍體休管(煉a堵)晚(懂b偶)圖鞋4跨.某3辣G露a榴A母s江H赤B掉T濟的架剖餅面豎圖條(險a率)加和傲能國帶貪結嗽構濫(崗b坐)○○○第得3痰章濁M屢O蜜S鼠集織成透電去路該的伸元象件積形斷成疤及貍其葛寄耽生弦效巡壽應圖戲4聾.稀7蘆M姻O祥S互工推藝止的禍分們類認很識蜘M蛾O富S券F臣E度T線靜寬疏(蜓L丙i動n段e寇w殲i維d何t具h跟)典,承特轟征核尺晴寸火(躺F拴e堡a傘t熟u估r餐e逢S移i毛z保e壓)觸指浴什鹽么劉？3倚.晴1算P宗M桑O惱S羞工叉藝早頑期饅的年鋁鞏柵蜘工鄉豐藝1逢9呆7痕0爪年舒前粗，跪標杯準搭的汁M悉O并S女工勾藝禁是期鋁評柵慣P姿溝徒道橋。鋁尤柵P鋸M其O眉S述工火藝臥特蓄點悲：l鋁赴柵魂，哭柵稅長眠為不2袍0

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