ESD防靜電控制規范本文主要從靜電控制的五個方面(即人員、設備、物料、方法和環境)來論述ESD規范，貫穿了公司產品設計、制造、貯存、包裝等各個環節防靜電控制，穿插介紹了防靜電設施的技術要求，檢測方法和作業指導等內容。目錄包括靜電敏感區域的界定、工程環境防靜電規范、人員防靜電規范、防靜電操作方法規范、工裝、設備、儀器以及防靜電器材的防靜電規范、常用的檢測方法、靜電防護作業管理指導、ESD相關術語、常用的防靜電標志、部分靜電敏感器件的靜電敏感電壓、引用的標準及參考文獻、相關記錄、版本修訂歷史記錄。靜電敏感區域的界定包括ESD敏感器件的生產區域、前加工區域、貯存區域、返修區域和老化區域。公司的靜電敏感器件需要在這些區域內進行靜電防護控制。5.2.1.MOS器件、MOS管和MOS集成電路是電子元器件的一種。5.2.2.FET器件包括場效應管和集成電路。5.2.3.TTL器件包括各種邏輯門數字集成電路。5.2.4.AMP放大器、比較器、調節器等模擬集成電路。5.2.5.X-ROM存儲體器件和記憶體器件包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成電路。5.2.6.CPU微處理器和各種BGA器件都是電子元器件。5.2.7.各種二極管和三極管也是電子元器件。5.2.8.各種半導體開關元件也屬于電子元器件。5.2.9.各種厚膜和薄膜電阻都是電子元器件。5.2.10.鉭電解電容也是一種電子元器件。5.2.11.SAW聲表面波器件是電子元器件的一種。5.2.12.石英和晶振體器件也是電子元器件。5.2.13.以上元器件組裝后形成的PCBA板也是電子元器件之一。5.3.靜電敏感區域的標識：5.3.1.靜電敏感區域的區域界限應使用黃黑相間的斜條紋標識，線條寬度為5~10CM。5.3.2.從靜電敏感區域的入口處開始，在明顯處應貼上靜電敏感區的警示標志，該標志應符合GJB1649的規定。5.3.3.防靜電容器、防靜電周轉箱、防靜電元件盒等器材上應有防靜電標志，并置于明顯且不易受到磨損的地方。5.3.4.經過防靜電液處理的物品和場所也應有防靜電標志。5.3.5.含有ESSD的圖紙資料應有ESSD標志。5.3.6.設備的外部端口標志應符合GJB1649中第5.8.3條要求。5.3.7.整機包裝標志應符合GJB1649中第5.10條要求。5.3.8.交付文件標志應符合GJB1649中第5.9.1條要求。6.靜電敏感區域的工程環境防靜電規范6.1.防靜電工程環境的設計原則：6.1.1.抑制靜電荷的積累和靜電壓的產生。6.1.2.安全、迅速、有效地消除已產生的靜電荷。6.1.3.防靜電工作區應按電子元器件靜電敏感度確定防護所應達到的級別和程度。一般的要求靜電防護區內靜電電壓絕對值應小于100V。6.1.4.防靜電區域應標明區域界限并在明顯處懸掛警示標志。6.1.5在防靜電工作區內，禁止使用易產生靜電荷的電荷源。以下為常見的電荷源分類：-工作臺表面：油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及樹脂表面-地板：塑料及普通地板革、拋光打蠟木地板、普通乙烯樹脂-工作鞋、帽、鞋：普通滌綸、合成纖維及尼龍面料、塑料及普通膠第鞋-電荷源：操作工具及設備普通塑料盒、架、瓶、盤用品及紙制品、普通泡沫及一般電動工具、壓縮機、噴射設備、蒸發設備等6.2防靜電工程環境的要求：6.2.1環境的溫度和濕度要求：溫度應在15℃至30℃之間，濕度應在45%至75%之間。環境內應配備溫度計和濕度計，并按要求做好點檢記錄。如果環境內的空氣過于干燥，應使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應以不對產品造成有害影響為前提。如果濕度高了應該開空調或抽濕機來使其滿足要求。溫度計和濕度計使用要求如下：-對溫度、濕度做監測的石英溫濕度儀，必須放置在水平穩定的平面上。-有溫濕度測量儀的場所應由專人定期檢查石英溫、濕度自動儀測試狀況，并記錄該時間段的最高和最低值。-遇有休息、節假日等特殊情況，在上班后的第一時間內要檢查石英溫、濕度自動記錄儀的記錄情況。-發現溫度、濕度有超標應立即采取有效措施予以改善，并確認超標情況是否有對產品或材料造成損壞，采取的改善措施應予以記錄。-每月的溫濕度儀記錄的測試結果由測試部歸類保存。6.2.2地表6.3靜電敏感區域的防靜電保護接地技術要求：防靜電系統必須有獨立可靠的接地裝置，主要技術要求如下：6.3.1接地線：也稱為地線母線，防靜電地線專供靜電工程器具和人體泄漏靜電荷使用，不得接在電源零線上，不得與防雷地線共用。6.3.2接地主干線的截面積應不小于100mm2，支干線的截面積應不小于6mm2，設備和工作臺的接地線采用截面積應不小于1.25mm2的敷朔導線，并以黃綠色為宜。6.3.3防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，允許使用各種夾式連接器，如鱷魚夾，插頭座等。6.3.4接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小于4Ω。6.3.5地線的埋設：埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻系數愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。6.3.6接地線的定期檢查為確保設備和工作環境的安全，需要定期檢查接地線和接地端口的泄漏電阻（接地電阻）。檢查工具包括萬用表和接地電阻測試儀。檢查頻率如下：-每周檢查生產線主接地線對通用接地點的接地性能和設備、工裝及工作臺等設施的接地性能。-每月檢查ESD桌墊、ESD地墊、周轉車、周轉架和防靜電環等設施的防靜電連接線。-每6個月檢查每個通用接地點對地的接地性能。檢查標準如下：-每周檢查的標準：小于4歐。-每月檢查的標準：0.9×10Ω~1.1×10Ω。-每6個月的檢查標準：小于4歐。6.3.7接地線的定期維護對于檢查不過關的接地線，必須采取措施及時解決，確保接地線有效接地。對于生銹或接觸不好的接地線，要及時更換。對于松動的接地線，要重新連接。按接地線相關規定進行維護。6.4人體靜電防護系統在生產半導體和集成電路的潔凈室和超潔凈室，以及高精密電子產品的裝配間等對防靜電要求較高的場合，作業人員必須穿防靜電鞋，并經過測試合格后方可進入靜電敏感區域工作。測試步驟如下：1.將轉換開關拔到左邊“FOOTWEAR”檔，雙腳站在白色不銹鋼腳板區域。2.按住“PRESSTOTEST”鍵。此時，左邊（LEFT）指示為左腳穿上鞋后的對地電阻，右邊（RIGHT）指示為右腳穿上鞋后的對地電阻。如綠燈亮則表示電阻合格。如果測試不合格，需要更換新的防靜電鞋。檢測指標包括體積電阻率和摩擦靜電壓，檢測標準為0.5*105—1*108Ω和0.10kv。檢測儀器包括體積電阻率兆歐表和摩擦靜電壓靜電電壓表。防靜電鞋的使用要求需要遵守相關規范。驗儀上的金屬接點，確保靜電環與測試儀導通。接著，員工應將手臂伸直，讓靜電環與皮膚緊密貼合，等待測試儀顯示結果。如果測試儀顯示阻值小于10Ω，則表示測試合格，員工可以進入靜電敏感區域工作。如果測試儀顯示阻值大于10Ω，則表示測試不合格，員工應更換防靜電腕帶或進行其他必要的調整，直到測試合格為止。防靜電工作鞋應定期進行防靜電特性檢測，確保其防靜電性能符合要求。為了保證操作者的安全和防止意外觸電，除了將車間地面做成防靜電地面外，操作者還應穿用防靜電鞋，并且必須與防靜電衣配套使用。防靜電鞋底應具有使人體與大地構成回路的材料和結構。在穿防靜電鞋時，不得穿襪子或另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其他涂料。防靜電手套或指套不僅具有防靜電的功能，還具有防腐蝕的作用。在對靜電敏感的工位，如MOS管等敏感器件的裝配工位，操作員工應戴上防靜電手套或指套。在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。定期更換破舊和臟的防靜電手套和指套。防靜電手套或指套的防靜電特性檢查方法與防靜電服相同。防靜電腕帶由松緊圈和接地組件構成，松緊圈的要求是體積電阻率≤100Ωcm。為確保操作者在觸及線電壓時不致發生人身傷害，接地組件必須串接一定數值的電阻。該電阻的選擇原則是，一方面應保證操作者在觸及線電壓時流過人體的電流不大于5mA，另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放，使皮膚上的靜電壓小于100V，一般該電阻阻值取為10Ω。因無繩防靜電腕帶的性能對環境濕度依賴性太強，建議使用在線報警防靜電腕帶，以保證人體皮膚靜電能及時釋放掉。每班開工前，每位員工都應自檢防靜電環是否正常，并作好記錄。員工進入車間前應首先佩戴好靜電環，進行自檢測試，只有測試合格，才可以進入靜電敏感區域工作。在進行焊接時，務必先拔掉烙鐵電源插頭。禁止重復使用ESSD器件包裝管來包裝ESSD器件。對于原包裝標識為靜電敏感的元件，其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。ESSD器件初始包裝應在靜電敏感區域內完成，并且要用防靜電材料包裝。已完成初始包裝的ESSD器件進行二次包裝時可以在非ESD區域內完成，但仍需使用防靜電材料。禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESSD器件。在任何場合中，未采取防靜電措施的人員均不允許接觸ESSD及其部件。生產過程中使用的設備，如成型機、插件機、波峰焊機、貼片機、切腳機、清洗機等，必須采取接地等防靜電措施。運輸ESSD及其部件時，應將其放入防靜電包裝內進行，必要時，應使用離子風機來消除在運輸過程中產生的靜電。新布置的生產線或工位等都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。新投入防靜電敏感區域的防靜電材料，包括主料、輔料和包裝材料，都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。新投入防靜電敏感區域的防靜電工具等都應進行ESD認可，只有認可合格后，方可給生產線使用。工作臺的安裝配置要求：按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。使用異丙基酒精徹底清洗臺墊下表面（即黑色的一面）。從防靜電臺墊正面壓下旋鈕接頭（可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點代替），使其穿過臺墊和箔帶有（多層箔帶時應保證全部穿過），以保證電接觸良好。使用異丙基酒精清洗防靜電臺墊上表面和各組成構件。將經過以上準備好的防靜電臺墊平整的鋪于工作臺面上。按操作人員的作業范圍確定鋪放臺墊的面積。將工作臺置于防靜電地墊上。防靜電工作臺的接地，使用橫截面不小于2mm的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺墊和地墊分別串聯1MΩ電阻后連接到地線配置系統上。全部安裝完畢后，對各參數指標進行檢驗合格后，方可開始使用。防靜電工作臺接地要求：防靜電工作臺的臺墊和地墊，分別串聯1MΩ±10%的電阻接地（即軟接地）。1X10~1X10Ω，并應定期用抗靜電劑處理。使用電動工具時，應確保其外殼接地對地線配置系統電阻值不大于2Ω，且接地點應集中接于一點。7.7.7.7.1.7.7.2.7.7.3.7.7.4.7.7.5.7.7.6.7.7.7.7.7.8.7.7.9.7.7.10.7.7.11.7.7.12.7.7.13.7.7.14.7.7.15.7.7.16.7.7.17.7.7.18.7.7.19.7.7.20.7.7.21.7.7.22.7.7.23.7.7.24.7.7.25.7.7.26.7.7.27.7.7.28.7.7.29.7.7.30.7.7.31.7.7.32.7.7.33.7.7.34.7.7.35.7.7.36.7.7.37.7.7.38.7.7.39.7.7.40.7.7.41.7.7.42.7.7.43.7.7.44.7.7.45.7.7.46.7.7.47.7.7.48.7.7.49.7.7.50.7.7.51.7.7.52.7.7.53.7.7.54.7.7.55.7.7.56.7.7.57.7.7.58.7.7.59.7.7.60.7.7.61.7.7.62.7.7.63.7.7.64.7.7.65.7.7.66.7.7.67.7.7.68.7.7.69.7.7.70.7.7.71.7.7.72.7.7.73.7.7.74.7.7.75.7.7.76.7.7.77.7.7.78.7.7.79.7.7.80.7.7.81.7.7.82.7.7.83.7.7.84.7.7.85.7.7.86.7.7.87.7.7.88.7.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