原子力顯微鏡島津SPM--95001.研究背景

2.AFM簡介

3.AFM的基本原理

4.AFM主要構(gòu)件及功能

5.AFM成像模式及特點

6.AFM的功能

原子力顯微鏡7.對樣品的要求8.AFM操作流程9.注意事項10.AFM應用領(lǐng)域11.AFM在生命科學中的應用12.AFM應用前景1.研究背景以光學顯微鏡、電子顯微鏡、掃描隧道顯微鏡為代表的一系列先進顯微技術(shù)的出現(xiàn)與應用，為人類科技和社會進步做出了巨大貢獻。1986年，IBM公司的G.Binning和斯坦福大學的C.F.Quate及C.Gerber合作發(fā)明的原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscope,AFM)更為突出地顯現(xiàn)了顯微觀測技術(shù)對人類的重要性，它是在掃描隧道顯微鏡基礎(chǔ)上為觀察非導電物質(zhì)經(jīng)改進而發(fā)展起來的分子和原子級顯微工具。并以高分辨、制樣簡單、操作易行等特點在生命科學、材料科學等領(lǐng)域發(fā)揮了重大作用，推動了納米科技的發(fā)展，促使人類進入了納米時代。2.AFM簡介原子力顯微鏡（AtomicForceMicroscope，AFM），是一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對微弱力極端敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運動狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級分辨率獲得表面結(jié)構(gòu)信息。

原子力顯微鏡SPM-9500

3.AFM的基本原理當樣品在針尖下面掃描時，同距離密切相關(guān)的針尖-樣品相互作用會引起微懸臂的形變，微懸臂的形變是對樣品-針尖相互作用的直接反映。通過檢測微懸臂產(chǎn)生的彈性形變量ΔZ,就可以根據(jù)微懸臂的彈性系數(shù)ｋ和函數(shù)式Ｆ=k·ΔZ直接求出樣品-針尖間相互作用Ｆ。再利用照射在懸臂尖端的激光束的反射接收來檢測微懸臂的形變。由于光杠桿作用原理，即使小于0.01nm的微懸臂形變也可在光電檢測器上產(chǎn)生10nm左右的激光點位移，由此產(chǎn)生的電壓變化對應著微懸臂的形變量，通過一定的函數(shù)變換便可得到懸臂形變量的測量值。當樣品在XY平面內(nèi)掃描時(對某一點其坐標為[x,y])若保持樣品在Z軸方向靜止，且令探針的豎直初始位置為零，則可根據(jù)針尖-樣品相互作用與間距的關(guān)系得到樣品表面的高度變化信息Δh(x,y)，即樣品表面任意點(x,y)相對于初始位點的高度。對樣品表面進行定域掃描便可得到此區(qū)域的表面形貌A=A(x,y,Δh(x,y))。4.AFM主要構(gòu)件及功能（1）為反饋光路提供光源的激光系統(tǒng)(Laser)；（2）進行力-距離反饋的微懸臂系統(tǒng)(Cantilever)；（3）執(zhí)行光柵掃描和Z軸定位的壓電掃描器(x,y,zPiezo-scanner)；（4）接收光反饋信號的光電探測器(Detector)；（5）反饋電子線路(CurrentCircle)；（6）粗略定位系統(tǒng)；（7）防震防噪聲系統(tǒng)；（8）計算機控制系統(tǒng)與數(shù)據(jù)處理軟件；（9）樣品探測環(huán)境控制系統(tǒng)(濕控、溫控、氣環(huán)境控制等)；（10）監(jiān)控激光-懸臂-樣品相對位置的顯微及CCD攝像系統(tǒng)。其中，前四大系統(tǒng)是該儀器的核心部件。4.1激光系統(tǒng)激光器是光反饋通路的信號源。由于懸臂尖端的空間有限性，就對照射器上的光束寬度提出了一定要求：足夠細、單色性好、發(fā)散程度弱；同時也要求光源的穩(wěn)定性高，可持續(xù)運行時間久，工作壽命長。而激光正是能夠很好地滿足上述條件的光源。

4.2微懸臂系統(tǒng)微懸臂是探測樣品的直接工具，它的屬性直接關(guān)系到儀器的精度和使用范圍。微懸臂必須有足夠高的力反應能力，這就要求懸臂必須容易彎曲，也易于復位，具有合適的彈性系數(shù)，使得零點幾個納(nN)甚至更小的力的變化都可以被探測到；同時也要求懸臂有足夠高的時間分辨能力，因而要求懸臂的共振頻率應該足夠高，可以追隨表面高低起伏的變化。

根據(jù)上述兩個要求，微懸臂的尺寸必須在微米的范圍，而位于微懸臂末端的探針則在10nm左右，而其上針尖的曲率半徑約為30nm，懸臂的固有頻率則必須高于10kHz。通常使用的微懸臂材料是Si3N4。其彈性系數(shù)k=3=9.57，其中E,I分別為楊氏模量、轉(zhuǎn)動慣量，L,m,f分別是微懸臂的長度、質(zhì)量和共振頻率。微懸臂的勁度常數(shù)一般為4×--2.0N/ｍ。

4.3壓電掃描系統(tǒng)壓電換能器是能將機械作用和電訊號互相轉(zhuǎn)換的物理器件。它不僅能夠使樣品在XY掃描平面內(nèi)精確地移動，也能靈敏地感受樣品與探針間的作用，同時亦能將反饋光路的電訊號轉(zhuǎn)換成機械位移，進而靈敏地控制樣品和探針間的距離(力)，并記錄因掃描位置的改變而引起的Z向伸縮量Δh(x,y)。這樣，就實現(xiàn)了對樣品的表面掃描。常見掃描器的最小分辨率0.1nm×0.1nm×0.01nm。

4.4光電檢測與反饋系統(tǒng)

目前AFM探測懸臂微形變的主要方法：光束偏轉(zhuǎn)法

用一束激光照在微懸臂的尖端，而用位置靈敏光檢測器(PSPD)來接收懸臂尖端的反射激光束，并輸出反映反射光位置的信號。由于懸臂的形變會引起反射光束的偏移，導致反射光在PSPD上位置的變化，進而產(chǎn)生反應懸臂的形變的電訊號，以供調(diào)節(jié)壓電掃描器的伸縮控制。5.AFM成像模式及特點原子力顯微鏡的操作模式分為三大類型：接觸模式(ContactMode)、非接觸模式(Non-contactMode)和輕敲模式(TappingMode)。圖3給出了AFM不同操作模式在針尖和樣品相互作用力曲線中的工作區(qū)間和力屬性。5.委1接觸武模式(C穴on榆ta榮ct槍M盛od阿e)接觸全模式籠是AF斬M最直殃接的勁成像粗模式余。樣被品掃趕描時孟，針衡尖始巷終同譯樣品溫“接煮觸”輝，而梨相互似作用篩力是掙排斥擇力。漆掃描嗎時，煤懸臂稻施加奪在針絡(luò)尖上械的力豎有可采能破欄壞試鎖樣的重表面品結(jié)構(gòu)仁，因舊此力迅的大遷小范唐圍在葡～N。若返樣品瘦表面勻柔嫩績而不案能承煩受這臨樣的鴨力，枯便不車宜選瀉用接坡觸模泄式對薯樣品草表面出進行欄成像富。此藍模式悄通常饒產(chǎn)生毯穩(wěn)定指、高益分辨樹圖像違。針盼尖-樣品蓬距離州在小脊于零秋點幾忘個納撈米的釣斥力養(yǎng)區(qū)域謹，對撞應圖3中的1-婆2段。5.母2非接啞觸模(N扎on微-c孤on壩ta崇ct袋M純od偽e)非接筆觸模身式探撲測試蘋樣表推面時坡懸臂犯在距毫離試弱樣表偉面上袍方5～10曾n間m的距扎離處窯振蕩眉。樣招品與頂針尖膊之間穩(wěn)的相云互作猾用由徑范德顏華力霞控制豈，通桃常為N，樣蓮品不政會被輛破壞央，而刷且針第尖也卸不會秀被污排染，救適合解于研鬼究柔桐嫩物較體的蓄表面掘。此他模式英的不退利之巴處是含要在好室溫矩大氣忌環(huán)境泉下完惡成。獄針尖-樣品宇距離焰在幾食到幾牧十納單米的度吸引虎力區(qū)孤域，勸對應予圖3中的3-慈4段。排由于同針尖-樣品雕距離脫較大磨，因逗此分揚辨率怪比接棗觸式狼的低董。到坊目前弟為止導，非尋接觸弱模式艘通常途不適制合在私液體潤中成粗像，央在躍生物透樣品廳的研孫究中軍也不訊常見糕。5.鳴3輕敲寄模式(T止ap雨pi劇ng撞M煮od充e)輕敲穩(wěn)模式濫是上墻述兩頂種模鋼式之增間的炊掃描蝴方式避。掃姿描時應，在堅共振驅(qū)頻率努附近鼻以更趙大的丈振幅(>村20費nm辭)驅(qū)動典微懸免臂，要使得旱針尖圓與樣子品間團斷地域接觸句。當助針尖捷沒有即接觸蕩到表貝面時抬，微乳懸臂占以一創(chuàng)定的好大振卸幅振堵動，質(zhì)當針枝尖接施近表喘面直貍至輕堵輕接珠觸表啦面時遮，振蒙幅將葛減小乳；而系當針夏尖反愿向遠玻離時,振幅袋又恢烤復到怎原值則。作盒用在特樣品戴上的促力保骨持恒綁定。窯由于梨針尖穴同樣季品接容觸，瓶分辨松率幾禿乎與驚接觸標模式設(shè)一樣幻玉好；換又因齊為接升觸非聰常短灰暫，拳剪切德力引簽起的摟樣品編破壞跳幾乎沿完全拴消失減。輕怕敲模琴式適蕩合于湖分析刷柔軟革、粘被性和目脆性暢的樣螞品，貸并適趴合在頌液體擇中成貢像熊。5.膠4三種者模式糧的比管較1、接觸改模式（Co事nt袖ac駝t死Mo泥de）：衰優(yōu)點諒：掃睜描速干度快國，是源唯一希能夠貼獲得暑“原低子分秩辨率米”圖親像的AF套M垂直案方向堅上有平明顯充變化脊的質(zhì)歇硬樣量品，呀有時拾更適粱于用Co燭nt宴ac開t哄Mo屯de掃描慎成像粉。匠缺鬧點：承橫向跌力影示響圖鉗像質(zhì)粥量在婦空氣布中，玩因為測樣品滑表面涂吸附愁液層旁的毛思細作旋用使穗針尖抄與樣揉品之煮間的怖粘著祝力很自大，術(shù)橫向宴力與屬粘著喇力的斜合力痰導致阿圖像貿(mào)空間主分辨砌率降旅低，陣而且雜針尖部掛擦樣樣品斗會損多壞軟卵質(zhì)樣蹤蝶品（介如生眉物樣枕品，越聚合低體等妙）。2、非接蠶觸模瘦式（No田n-臣Co揀nt珠ac衰t憐Mo居de）：崇優(yōu)背點：斃沒有憤力作器用于襲樣品慣表面罷。盆缺點呈：由育于針烏尖與弱樣品原分離矮，橫蠶向分碗辨率講低；乘為了需避免拳接觸拳吸附獲層而糾導致頂針尖脹膠粘案，其對掃描夸速度余低于Ta烤pp尖in唱g胸Mo辭de和Co六nt郵ac伴t雹Mo意de召A山FM。通笑常僅省用于效非常蛋怕水鉗的樣秀品，析吸附鳳液層棒必須配薄，渠如果型太厚愛，針切尖會元陷入燒液層卷，引蜂起反愧饋不麻穩(wěn)，揪刮擦龍樣品幅。由令于上榨述缺敞點，on神-c慨on等ta屠ct庫M伸od搖e的使隙用受倘到限叫制。3、輕敲葛模式（Ta玩pp脊in素g睛Mo蓬de）：牧優(yōu)點微：很辟好的品消除妻了橫銳向力油的影凈響。甩降低歷了由盯吸附饑液層伐引起嗚的力熔，圖鴨像分校辨率貝高，泄適于柜觀測約軟、究易碎沸、或察膠粘世性樣袍品，繪不會現(xiàn)損傷應其表會面。江缺點廚：比Co局nt趁ac侍t林Mo宿de艱A德FM的掃索描速坡度慢優(yōu)。6.殺AF宏M的功鬼能6.稀1表面栽形貌紡的表些征通過錯檢測串探針-樣品采作用項力可安表征恒樣品資表面吵的三令維形承貌，杜這是AF圓M最基駁本的惜功能立。由挖于表研面的溉高低憑起伏倚狀態(tài)竭能夠榴準確腫地以柏數(shù)值女的形拴式獲梅取，慣對表鑒面整大體圖斥像進廉行分商析可究得到妥樣品挽表面河的粗腰糙度Ro姜ug仆hn起es浸s)、顆翻粒度(G微ra沉nu主la衫ri乖ty陪)、平峽均梯汗度(S贈te狂pH索ei枝gh沿t)、孔柄結(jié)構(gòu)符和孔威徑分泡布等謙參數(shù)肚；對浮小范蛋圍表少面圖逮像分鴉析還痕可得句到表宗面物筆質(zhì)的淋晶形欲結(jié)構(gòu)泄、聚溪集狀爽態(tài)、鞠分子當?shù)慕Y(jié)勾構(gòu)、盟面積撓和表祝面積者及體探積等籍；通欄過一污定的孫軟件術(shù)也可疑對樣昏品的壘形貌兄進行熟豐富舟的三陽維模者擬顯怨示如姥等高壺線顯寨示法軟、亮蹄度-高度道對應藥法等勝，亦掩可轉(zhuǎn)手換不貪同的銜視角許，讓涉圖像照更適臉于人慰的直兵觀視亂覺。6.朽2表面劃物化況屬性冊的表保征AF奴M的一獲種重覺要的紅測量柜方法店是力-距離貝曲線丈，它外包含量了豐溜富的罷針尖-樣品腎作用火信息滿。在從探針史接近赴甚至豈壓入芝樣品析表面湊又隨僚后離丸開的駛過程挽中，拴測量淚并記駝錄探雁針所垂受到味的力響，就獻得到藏針尖示和樣壇品間即的力-距離媽曲線竹。通言過分抓析針鈔尖-樣品宇作用容力，蓋就能糊夠了慣解樣司品表魄面區(qū)仿域的贊各種予性質(zhì)天如壓商彈性茫、粘晴彈性消、硬熟度等瓶物理太屬性眨；若狹樣品衫表面坐是有寄機物概或生護物分妄子，先還可關(guān)通過婆探針寸與分衛(wèi)子的桐結(jié)合教拉伸旨了解訊物質(zhì)恒分子憐的拉純伸彈耐性、迫聚集頸狀態(tài)緒或空屆間構(gòu)巷象等姨物理剃化學披屬性點；若默用蛋斯白受誕體或輝其它敬生物翅大分祝子對需探針纏進行歇修飾(f踢un海ct俘io鐘ni義za欺ti諒on娘)，探亂針則廊會具永有特元定的嘴分子逃識別壯功能吸，從貴而了謹解樣以品表橋面分咱子的親種類享與分閑布等側(cè)生物撫學特附性。7.對樣怖品的倡要求(1）研究嘩對象：有侮機固悼體、均聚合舌物以掠及生育物大淺分子嬌等；（2）樣品絡(luò)的載身體：云路母片糠、玻污璃片港、石疊墨、條拋光絡(luò)硅片無、二遷氧化椅硅和姿某些手生物斯膜等兵。最賞常用鑼的是芹新剝鋼離的白云母砍片，斜因為譽其非壓常平屑整且約容易江處理租；拋嚴光硅跌片最陸好用衰濃硫率酸與30程%雙氧覆水的7∶寄3混合擴液在90勸℃下煮1h；利抵用電斗性能井測試豎時需央要導績電性征能良購好的避載體昏，如基石墨圓或鍍預有金協(xié)屬的返基片股。（3）樣品飲的厚究度：最厚大為10灰m商m。（4）樣品嬸的大濟小及罰重量：試己樣的活大小刊以不私大于博試樣牙臺的對大小劍（直欲徑20躲m爸m）為滿標準橫，最藝大值寸約為40耗m悟m。樣任品不擊宜過銅重，負如果愚過重絕，有酸時會挽影響Sc甚an焰ne網(wǎng)r的動襖作。8.攔AF透M操作挺流程（1）啟動濃儀器：接通才電源遞，先講打開意控制假器，切再打涉開AF史M主機院；開筐啟計紹算機萬并雙椅擊SP利M-術(shù)-9嘩50積0打開凍軟件彈（待松主機辭的RE傘AD纏Y鍵變色亮穩(wěn)港定后萄）；預熱20座—3衣0分鐘蛛；（2）放樣兔品：待信購號為5個以及上時蜜，將棉待測把樣品線用鑷越子輕謝輕放潔入樣看品臺狹；（3）軟件相設(shè)置：A.打開延軟件遍后出澇現(xiàn)[S漢PM疼M尿an殿ag捷er俱]窗口驚；B.單擊指窗口頓中的on主li遭ne按鈕蕉出現(xiàn)[S境PM喜O管nl稀in印e]窗口踐及[S科ca答nn質(zhì)in惰g情Co唇nd和it象io宵n獵]子窗滴口；C.點擊[O慕sc喜il蘿lo摸sc濤op伍e]前的尚對勾被出現(xiàn)[L紀ef疑t耐Os亂ci保ll習os青co鉛pe新]波動癢圖像錦窗口代并拖然動其潮至右碼下方臺；D.點擊[S仙PM獵O使nl泡in諷e]窗口廟中[S崇et訪ti霸ng冷]-役[嫂Y蝕Sc庫an向S績ta方rt巨]-毒[紛To織p]設(shè)置交掃描注探針截自上甲而下襯掃描余，點輸擊[P熱an診el語D償is煌pl著ay呀]出現(xiàn)[S閥ig里na鍵l木Di縣sp溝la或y研Pa搜ne趙l]窗口唯，將辭垂直[V收er浪ti鏈ca坊l巧De攔fl烘ec首ti豪on警]用垂?jié)仓饼X炊輪調(diào)柄至-2，將斑水平[H蜜or盒iz徒on識ta咸l鑄De半fl欲ec孕ti留on哪]用水駁平齒賢輪調(diào)湖至0，反蔬復調(diào)背節(jié)至詠少3次后牽，關(guān)用閉窗悲口。AF鎖M樣品犯臺示敲意圖[S侮P(guān)M絕O變nl箱in稠e]工作護窗口（4）設(shè)置趕參數(shù)：在[S揉ca采nn辭in跟g古Co競nd豎it深io圣n嘉]子窗把口中援設(shè)置棒：A.核[S穗iz虧e]（微容懸臂門在樣慕品表囑面水涂平掃赴描范妨圍）板設(shè)置謠為20胸um；B.粒[R哪at杏e]（微戀懸臂查掃描索速度拾）設(shè)好置為2H變Z；C.汪[Z猛R預an骨ge責]（微效懸臂趟掃描繼時Z方向任波動龜范圍媽）一禽般設(shè)嬌置為[X墓1]（Z方向悼波動惑范圍丑為掃巡壽描器圣規(guī)定銳的最剖大波斜動范煤圍）垃；[X夕2]指Z方向戴波動劉范圍渠縮小蕉一半觸；D.灘[O興pe喘ra士ti碰ng騙]操作剩電壓鑄為1V；E.率[P慎ro捷po呀rt怠io膏na籌l慨Ga止in殘]比例度增益見設(shè)置漲為10；F.披[I流nt翠eg銳ra申l線Ga籌in鴉]積分歉增益鉗設(shè)置他為0.牛01；G.蜂X,廁Y,缸Z設(shè)置扯為清雜零模侄式0；在[S蛛PM直O(jiān)蓬nl脹in表e]窗口然中，[Z做R闊an男g(shù)e測]根據(jù)汗檢測流對象周設(shè)置惡合理辱數(shù)值游。（5）開始幸檢測A.點擊[F吩as踐t栗A抵pp清ro床ac總h]快速塑趨進繡按鈕貝，微鞏懸臂濕會自分動趨堅近樣潮品，孩并且纏在距豪離樣甲品10捉um處自壩動停難止；B.點擊[S紐奉lo展w龜Ap桑pr磨oa繳ch注]慢速密趨進欄按鈕川，當毀微懸王臂接諒觸到與樣品勇后，粱慢速味進針腳自動僵停止佳，開光始掃滅描樣擋品并罷出現(xiàn)李掃描腦圖像嚷（慢暢速進跌針一效般進樸行8格自直動結(jié)弱束）縫。檢測息進程云中出魄現(xiàn)掃評描圖損像（6）調(diào)節(jié)閃圖像A.點擊[S賄PM梨O乖nl淺in叛e]窗口銀中的Zo凡om選擇琴圖像輕中的攔合適養(yǎng)區(qū)域駐進行段放大嘴掃描攝；B.調(diào)節(jié)[s沿ca謊n榨co銀nd焰it敵io蓄n]中的[Z屑r毅an龜ge講]使沿Z方向杏波動艦的范界圍縮惑小相剪應的辯倍數(shù)就；C.當圖寬像出吐現(xiàn)豎煙道時便，將Da指ta從25為6*25動6先設(shè)破置為51濁2*51熄2，再爛設(shè)置面為25僅6*25逢6；D.有時注候出崖現(xiàn)的爛掃描毯圖形輔可能局是偽圖，因腐此應伙該回做針再鵝重新班掃描器；E.要看泰掃描儀圖像頸中測少得的愈某處敵樣品旱的高逮度先欺按住Sh班if減t，再瞧用鼠低標在泥樣品豬處劃涉線。（7）保存灘圖像在工潔具欄體內(nèi)點貞擊[S宵av廟e]按鈕逆，選條擇要尿保存淺的圖鍛片信吧息，悟然后版再點陜擊[O疼K]。當役掃描喂到底牧或在狡頂時喪，本體次保蹤蝶存才庸能結(jié)貌束。砌保存倍的文厭件以紀當前蓋日期柔和時辮間命洪名。連當圖渴像上需出現(xiàn)SA肝VE效T錘HI電S時不崗能改流變檢鐵測的君各參盈數(shù)。點擊去任何真抬針糠按鈕斤，都塔可以蓮停止賽掃描辣。（8）結(jié)束秘測試（9）處理躬圖像A.在[S尸PM寫M猶an闖ag動e]窗口竄下點盒擊[O羽ff悼li牽ne隱]按鈕失，出瞧現(xiàn)[S跡PM土O柱ff銹li膠ne杯]操作棵窗口稈；B.在[S改PM梳O賄ff脈li矛ne憤]窗口京的工濤具欄釀內(nèi)，途點擊踏文件拿夾樹翻按鈕[B齊ro墓ws客er咳]，出宅現(xiàn)圖霞片庫摧窗口恥；C.在圖欄片庫薄窗口盞內(nèi)，倆雙擊寇要處緞理的合圖片善，會會出現(xiàn)除它的尋單獨厘的[S侄PM麗O牢ff冰li齒ne全]窗口壺；對于飯已經(jīng)鮮平滑疫好的別圖片普，如木果希賞望看抹到樣溜品信沃息的票三維徑信息漲，點盈擊3D顯示莫按鈕柿。然歇后在3D設(shè)置載內(nèi)可勤以選亮擇3D視角翻。D.在[S山PM后o摘ff埋li霧ne淹]圖片嘆處理輸窗口暖的工腹具欄挺內(nèi)，就點擊午平滑袋按鈕效，選須擇[l奴in櫻e支fl構(gòu)at僚te沉n]按鈕桿，平堅滑圖肥片。E.三維爸圖像崖顯示抓操作（10）結(jié)束挺試驗(a塔)關(guān)閉SP紋M蜻on彩li粱ne軟件碑；(b尤)關(guān)閉SP河M主機尤；(c紡)關(guān)閉題電腦絞；(d喘)關(guān)閉SP今M控制網(wǎng)器妨；(e嬸)蓋好碧防塵伙布。*9.注意俗事項（1）各小參數(shù)愈設(shè)置絕好后滔要按癥回車峽鍵，瓶檢測晝中改觀變參餓數(shù)后讓也要夏按回愧車鍵吉；（2）開雜始檢移測要旁關(guān)閉凝空調(diào)金，防琴止空料氣流脅動對備檢測鬼造成萄影響探；（3）檢售測中步，實熔驗員吐不能藏碰觸嫂儀器斷桌面獻，不赴能在活儀器虧附近燒來回扁走動淘；（4）未使抬針務(wù)堅決棵不能加放樣欺品，敏每次嗓更換鎖樣品欲及試塞驗結(jié)澡束后旁都必野須抬針，每陳次抬亮針大憤約5、6次；（5）RE界AD暮Y鍵不汪亮時慰可能盒死機焰（死親機時炊會發(fā)索出聲扒響，炭在垂贏直于稻水平猾旋鈕古互相落切換剛時也糧會發(fā)勿出聲亡響）授，此冒時要先關(guān)葛閉SP罩M軟件時再按PO觀WE宰R鍵關(guān)盆閉主饞機，等壟待穩(wěn)盲定后粥再按PO應WE仍R鍵重疊新啟生動主淋機。10伙.A肺FM優(yōu)缺植點優(yōu)點但：（1）AF得M具有竭超高界的空胖間分曬辨率婆，放覽大倍盒數(shù)遠四遠超惱過以膜往的教顯微而鏡：譯光學床顯微宰鏡的曉放大羨倍數(shù)視一般捧不超但過10嚇00倍；耗電子址顯微霧鏡的貌放大委倍數(shù)遇的極們限是10莖0萬倍蕩；而AF杏M的放泊大倍迫數(shù)是谷電子爹顯微抬鏡的10蓬00倍，檢高達10億倍賺，可煮以直毒接觀戚察到驕物質(zhì)錢的分并子和乞原子爭。（2）AF眉M的制辦樣過墻程簡派單易排行：不需本要對器樣品披做特光殊處燭理，靜如鍍嘗銅或趣碳等專；只需團對樣欣品稍濾加固敲定便瘦可進似行觀饒察。（3）AF洋M還具膠有多姥樣的頌試驗翅環(huán)境新：既屈可以土在真安空中窗試驗鄰，也全可以支在大黑氣中姓，甚循至還末可以逗在溶扛液中棕觀察筐樣品白，同帥時對愈溫度閉沒有腦特殊拖要求忌，高賽溫低暢溫皆前可以局進行莊。（4）AF仔M具有座廣泛話的研互究對帶象：五可研串究生忙物、躁物理茫、化機學等課領(lǐng)域疼，并裁能研究跨生物金宏觀懲分子雖，甚錄至活副的生元物組尖織。（5）AF兆M不僅裁提供進二維挺圖像抱，而菌且提麻供真家正的箏三維盞表面蠢圖。缺點渾：AF燈M的成奔像范艙圍太牧小，粘速度愛慢，沫受探千頭的乎影響怪太大帖。10需.A客FM應用犬領(lǐng)域在各覺種樣竊品上腦獲得搏的結(jié)鏈果已灣經(jīng)證酷實，歪原子蠢力顯被微鏡劍已經(jīng)祥在很半多科竊學領(lǐng)懸域中蓄得到敢成功柴應用戀，如電化竹學、帝物理同學、庫生命釘科學等領(lǐng)杰域。原子黃力顯岡微鏡血可對例導體懸、半甲導體侍和絕肚緣體積材料夢進行樣研究柿，如估金屬資、陶暢瓷、都半導障體材梢料；