演示文稿無塵室相關標準目前一頁\總數二十一頁\編于十二點（優選）無塵室相關標準目前二頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室原理無塵室衡量標準無塵室驗收標準Contents目前三頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室原理無塵室概念:以工業鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風機濾網機組FFU送風,四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內部凈化級別可達100～100K級,適用局部凈化級別要求高的區域。對微粒控制、溫度、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。目前四頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室原理依據送風方式的不同：可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。Class1～100均采用單向流送風方式，即在同一截面的任一點，氣流的方向和速度均保持一致，將室內的塵埃粒子以最快的速度帶走。靠送風氣活塞般的擠壓作用。新風量不小于總風量的2%~4%。Class1000～100000采用非單向流送風方式，以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內空氣，將室內的污染逐漸排出，以實現凈化。靠氣流擴散來稀釋。新風量不小于總風量的10%~30%。測量單位：微米(micrometer),1um=1m的百萬分之一。目前五頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室衡量標準潔凈度——參照STD-209E目前六頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室衡量標準AirChange&HEPA遮蔽率無塵等級AirChange(次/hr）HEPA遮蔽率Class100240~48050%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU的表面積*風速*FFU數量/CleanRoom體積HEPA遮蔽率：FFU的表面積*FFU數量/CleanRoom面積目前七頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室衡量標準風速、溫濕度

氣流速度為：0.3~0.5m/s(60~100ft/min)。

一般之溫度控制范圍：T=(21±2)℃

一般之濕度控制范圍：(45±5)﹪RH

目前八頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室衡量標準壓差

在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。目前九頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準用ParticleCounter(MetOne）測空氣中之粒子總數及大小(離作業面為30公分)。依據ISO14644-1可分為三種操作狀態：⑴完工狀態-無制程設備、原料或工作人員。⑵完工后停止生產狀態-室內有制程設備，不含工作人員。⑶運轉狀態-三者皆在工作狀態。目前十頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準取樣次數要求單一方向氣流的測試數量方法一、氣流的流入體積/25方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根選數字小者

非單一方向氣流的測試數量方法：氣流的流入體積/潔凈度等級的平方根例如：計算iMac所使用的潔凈室的測試數量

(1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次例如：計算M97所使用的潔凈室的測試數量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次目前十一頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準潔凈度取樣要求取樣需兩點以上測試點要平均分布各測試點須一個以上的取樣數全體需5個以上的取樣數各測試點的取樣數不一樣也可以

目前十二頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準潔凈度判斷標準

兩個條件需同時滿足：在每個測試點的粒子濃度平均值應在CLASS上限值以下這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下目前十三頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準實例說明在RingRoom空態下，共取3個點，每個點測量0.5um的粒子，測量記錄如下：第一點8、0

第二點20、8

第三點11、23、14

判斷依據一、在各測試點的粒子濃度平均值應在CLASS上限值以下第一點的平均值（8+0)/2=4

第二點的平均值（20+8)/2=14

第三點的平均值（11+23+14)/3=16小結：滿足目前十四頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準

判斷依據二、

這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下上限值UCL=M+SE*UCL系數

M：平均值的平均

M=(4+14+16)/3=11.3

SE：標準誤差

SE=SD/SD：標準偏差L：測試點數量

SD==6.429SE=6.429/=3.71目前十五頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準UCL系數：95%信賴界限的UCL系數

上限值UCL=M+SE*UCL系數

=11.3+3.71*2.9=22.1

總結：滿足目前十六頁\總數二十一頁\編于十二點無塵室驗收標準其余要求序號驗收項目驗收標準尺寸備注1立柱/橫梁鐵方通噴塑100*100mm

2托框/盲板冷軋鋼板噴塑1200*670mm

3黑色網格狀防靜電PVC窗簾/門簾靜電阻值：106~109

4無塵室鎮流器/鎮流器飛利浦/T8燈管1200mm

5FFU美埃/米河1175*575*250風機檔位：3檔6高效過濾器美埃1170*570*70mm

7初效過濾器米河495*495*45mm

8電線（電路圖另附）無錫滬安國標

9配電箱/開關斯奈德

注：1.PVC窗簾與地面高度為15~20cm，且應該在立柱內側。

2.配電箱是三相電，電壓380V。