標準解讀

《YS/T 1068-2015 制備釕靶用釕粉》是一項針對用于制備釕靶材的釕粉的技術標準。該標準規(guī)定了釕粉的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。

根據(jù)此標準，釕粉需滿足一定的化學成分要求，主要關注的是釕含量以及其他可能存在的雜質元素的最大允許量。此外，對于釕粉的物理性能也有明確的規(guī)定，比如粒度分布、松裝密度等參數(shù)，這些都直接關系到最終制備出的釕靶的質量。

在試驗方法部分，標準詳細描述了如何通過特定的方法來檢測釕粉的各項指標是否符合規(guī)定的要求。這包括采用何種儀器設備、遵循怎樣的操作步驟以及對測試結果進行評價的標準等。

檢驗規(guī)則方面，《YS/T 1068-2015》明確了產(chǎn)品出廠前必須經(jīng)過哪些項目的檢查，并且規(guī)定了抽樣方案及判定準則，確保每一批次的產(chǎn)品都能達到相應的質量水平。

最后，在包裝、標志、運輸和貯存章節(jié)中，則是給出了關于如何妥善處理釕粉的具體指導，旨在防止材料在物流過程中受到污染或損壞，保證其安全有效地送達用戶手中并保持良好的狀態(tài)直至使用。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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文檔簡介

ICS7715099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1068—2015

制備釕靶用釕粉

Rutheniumpowderforrutheniumsputtteringtarget

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國有色金屬

行業(yè)標準

制備釕靶用釕粉

YS/T1068—2015

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

201510

*

書號

:155066·2-28953

版權專有侵權必究

YS/T1068—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司有色金屬技術經(jīng)濟研究院

:、。

本標準起草人譚志龍郭俊梅張俊敏向磊王傳軍畢珺聞明管偉明陳松朱武勛

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1068—2015

制備釕靶用釕粉

1范圍

本標準規(guī)定了硬盤及集成電路行業(yè)釕系濺射靶材用釕粉的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包裝

、、、、

運輸貯存質量證明書和合同或訂貨單內(nèi)容

、、()。

本標準適用于制備硬盤及集成電路行業(yè)釕系濺射靶材用釕粉以下簡稱釕粉

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬粉末振實密度的測定

GB/T5162

金屬粉末粒度分布的測量重力沉降光透法

GB/T6524

釕粉化學成分分析方法鉛鐵鎳鋁銅銀金鉑銥鈀銠硅量的測定輝光

GB/T23275、、、、、、、、、、、

放電質譜法

高溫合金化學分析方法第部分高頻感應燃燒紅外線吸收法測定碳含量

HB5220.33:-

高溫合金化學分析方法第部分脈沖加熱紅外熱導法測定氧氮含量

HB5220.4949:-、、

3要求

31產(chǎn)品分類

.

釕粉按純度分為四個牌號

:SMP-Ru-99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.995、SMP-Ru99.99、

SMP-Ru-99.999。

32化學成分

.

釕粉的化學成分應符合表的規(guī)定釕粉中釕的含量為減去表中雜質元素實測總和的余

1。100%1

量牌號中總雜質元素計算不包括元素

。SMP-99.999Si。

表1釕粉的化學成分

%

產(chǎn)品牌號

SMP-99.95SMP-99.99SMP-99.995SMP-99.999

釕含量

不小于99.9599.9999.99599.999

Ag0.00040.00040.00020.00005

金屬雜質含量

Al0.0050.0010.00050.00005

不大于

Au0.005

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