中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1739—2019

數字式激光球面干涉儀校準規范

CalibrationSpecificationforDigitalLaserSphericalInterferometers

2019-09-27發布2019-12-27實施

國家市場監督管理總局發布

JJF1739—2019

數字式激光球面干涉儀校準規范??

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CalibrationSpecificationforDigitalJJF17392019

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LaserSphericalInterferometers

歸口單位全國幾何量工程參量計量技術委員會

:

主要起草單位中國科學院光電技術研究所

:

中國測試技術研究院

參加起草單位中國計量科學研究院

:

蘇州慧利儀器有限責任公司

本規范委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJF1739—2019

本規范主要起草人

:

侯溪中國科學院光電技術研究所

()

全海洋中國科學院光電技術研究所

()

冉慶中國測試技術研究院

()

宋偉紅中國科學院光電技術研究所

()

參加起草人

:

康巖輝中國計量科學研究院

()

韓森蘇州慧利儀器有限責任公司

()

JJF1739—2019

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和定義

3……………(1)

面形偏差

3.1……………(1)

峰谷值

3.2………………(1)

值

3.3PVr……………(1)

球面元件F數

3.4……………………(1)

概述

4……………………(1)

計量特性

5………………(2)

示值誤差

5.1……………(2)

測量重復性

5.2…………(2)

校準條件

6………………(2)

環境條件

6.1……………(2)

校準用標準器

6.2………………………(2)

校準項目和校準方法

7…………………(3)

示值誤差

7.1……………(3)

測量重復性

7.2…………(5)

校準結果表達

8…………(5)

復校時間間隔

9…………(5)

附錄值

APVr…………(6)

附錄三位置法公式推導

B……………(7)

附錄數字式激光球面干涉儀直接比較法校準不確定度評定示例

C………………(9)

附錄數字式激光球面干涉儀三位置法校準不確定度評定示例

D…(11)

附錄校準證書信息及內頁格式

E……………………(15)

Ⅰ

JJF1739—2019

引言

本規范的編寫以國家計量校準規范編寫規則

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011

通用計量術語及定義和測量不確定度評定與表示為基礎和

《》JJF1059.1—2012《》

依據

。

本規范為首次發布

。

Ⅱ

JJF1739—2019

數字式激光球面干涉儀校準規范

1范圍

本規范適用于數字式激光球面干涉儀的校準

。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

平面等厚干涉儀校準規范

JJF1100—2016

光學零件的面形偏差

GB/T2831—2009

光學和光子學光學元件和光學系統的干涉測量第部分

ISO14999-4:20154:

規定的公差說明和評估

ISO10110(Opticsandphotonics—Interferometricmeasurement

ofopticalelementsandopticalsystems—Part4:Interpretationandevaluationoftoler-

ancesspecifiedinISO10110)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規范

,()。

3術語和定義

界定的及以下術語和定義適用于本規范

GB/T2831—2009、ISO14999-4:2015。

面形偏差

3.1surfaceformdeviation

被測光學表面相對于參考光學表面的偏差

。

峰谷值

3.2peak-to-valley(PV)value

面形偏差最大值減去最小值簡稱值

,PV。

值

3.3PVrrobustpeak-to-valley(PVr)value

面形偏差的項多項式擬合面值加上倍擬合殘差面形偏差減去

36ZernikePV3(

項多項式擬合面的均方根值

36Zernike)。

注:多項式定義按:附錄標準定義。

ZernikeISO14999-4