標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 4061-1983 硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗(yàn)方法》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范硅多晶材料在斷面上存在夾層時(shí)采用化學(xué)腐蝕方法進(jìn)行檢測(cè)的具體步驟和技術(shù)要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于評(píng)估硅多晶材料內(nèi)部質(zhì)量及其結(jié)構(gòu)完整性。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，首先需要準(zhǔn)備待檢樣品，并確保其表面清潔無污物。接著，使用特定的化學(xué)試劑對(duì)樣品進(jìn)行處理，這些試劑能夠選擇性地與硅多晶中的不同相或雜質(zhì)反應(yīng)，從而在樣品表面上形成可見的圖案或顏色變化。通過觀察這些變化可以判斷出是否存在夾層以及夾層的大致位置和形態(tài)特征。

此外，標(biāo)準(zhǔn)還詳細(xì)規(guī)定了腐蝕液配方、溫度控制范圍、處理時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)的選擇依據(jù)，以保證實(shí)驗(yàn)結(jié)果的一致性和可靠性。同時(shí)，對(duì)于如何正確記錄實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、分析結(jié)果并報(bào)告發(fā)現(xiàn)也給出了指導(dǎo)性意見。

整個(gè)過程強(qiáng)調(diào)操作的安全性與環(huán)境保護(hù)意識(shí)，在執(zhí)行任何化學(xué)處理前都必須采取適當(dāng)?shù)陌踩胧热缗宕鱾€(gè)人防護(hù)裝備、在通風(fēng)良好的環(huán)境中工作等。


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  • 被代替
  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替
  • 1983-12-20 頒布
  • 1984-12-01 實(shí)施
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UDC669.782：548:2：620.193.4中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB4061-83硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗(yàn)方法Polyerystallinesilicon-Examinationmethod--AssessmentofsandwichesonCross-sectionbychemicalCorrosion1983-12-20發(fā)布1984-12-01實(shí)施家標(biāo)準(zhǔn)局批準(zhǔn)

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)UDC669.782:548：2:620.193.4硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗(yàn)方法GB4061-83Polycrystallinesilicon-Examinationmethod-AssessmentofsandwichesonCross-sectionbychemicalcorrosion本標(biāo)準(zhǔn)適用于三氯氫硅及四氯化硅氫還原在細(xì)硅芯上沉積硅多晶所生長(zhǎng)出來的硅多晶棒.1方法原理1.1原理根據(jù)氫氟酸硝酸混合液對(duì)硅多晶斷面氧化夾層及溫度夾層腐蝕速率的差別。1.2方法化學(xué)腐蝕法。2試樣制備2.1取樣部位除在橋形硅多晶棒硅芯搭接處或者直的硅多晶棒離石墨卡頭10mm一-段外均可取樣（如圖1）區(qū)樣部位10mm圖國(guó)家標(biāo)

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