標準解讀

《GB/T 37030-2018 電子級三甲基銦》是一項國家標準，主要針對用于半導體制造過程中的高純度三甲基銦產品。該標準規定了電子級三甲基銦的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存的要求。

根據標準內容，對于電子級三甲基銦而言，其純度是關鍵指標之一，需要達到特定水平以滿足半導體行業的嚴格需求。此外，還對其中可能存在的雜質種類及其最大允許含量進行了詳細限定，包括但不限于金屬雜質和其他有機或無機化合物。這些雜質限制旨在確保最終產品的性能不受影響，并能夠適用于各種精密的半導體工藝中。

在檢測方面，《GB/T 37030-2018》提供了具體的分析測試方法來驗證產品質量是否符合上述技術規范，涵蓋物理性質測定（如密度）、化學成分分析等多方面內容。通過采用高效液相色譜法(HPLC)、氣相色譜-質譜聯用(GC-MS)等先進儀器進行精確測量，保證數據準確可靠。

同時，此標準也明確了出廠前及入庫后的質量控制流程，包括取樣方式、驗收標準等內容，確保每一批次的產品都能達到統一的質量水平。最后，在產品的標識、包裝形式、運輸條件等方面也有相應指導性說明，以便于用戶正確處理并保存這類敏感化學品。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。

....

查看全部

  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-04-01 實施
?正版授權
GB/T 37030-2018電子級三甲基銦_第1頁
GB/T 37030-2018電子級三甲基銦_第2頁
GB/T 37030-2018電子級三甲基銦_第3頁
GB/T 37030-2018電子級三甲基銦_第4頁
免費預覽已結束，剩余8頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 37030-2018電子級三甲基銦-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T37030—2018

電子級三甲基銦

Electronicgradetrimethylindium

2018-12-28發布2019-04-01實施

國家市場監督管理總局發布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子級三甲基銦

GB/T37030—2018

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

201812

*

書號

:155066·1-61411

版權專有侵權必究

GB/T37030—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術標準化研究院

:、。

本標準主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37030—2018

電子級三甲基銦

1范圍

本標準規定了三甲基銦的技術要求試驗方法檢驗規則包裝標志運輸儲存和安全

、、、、、、。

本標準適用于銦鎂合金法三氯化銦法格式試劑法三種化學合成法制備并經精制純化的三甲基

、、

銦該產品主要用于生長化合物半導體薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9In

相對分子質量按年國際相對原子質量計算

:159.92(2013)

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

固體化工產品采樣通則

GB/T6679

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術條件

GB12463

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

常用化學危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設計規范

GB50073

3技術要求

三甲基銦的技術指標應符合表要求

1。

表1技術指標

項目指標

三甲基銦純度質量分數-2

(C3H9In)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.3

砷含量

(As)/(g/g)<0.5

金屬元素μ

硼含量

及其他元(B)/(μg/g)<0.2

鋇含量

素含量(Ba)/(μg/g)<0.1

鈹含量

(Be)/(μg/g)<0.02

鉍含量

(Bi)/(μg/g)<

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
  • 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
  • 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。

評論

0/150

提交評論