ICS31200

L55.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34894—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)

應(yīng)變梯度測(cè)量方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Measuringmethod

forstraingradientmeasurementsofMEMSmicrostructures

usinganopticalinterferometer

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34894—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

測(cè)量方法

4…………………1

影響測(cè)量不確定度的主要因素

5…………6

附錄資料性附錄光學(xué)干涉顯微鏡的典型形式和主要技術(shù)特點(diǎn)

A()…………………7

Ⅰ

GB/T34894—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心天津大學(xué)國(guó)家儀器儀表元器件質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心

:、、、

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所南京理工大學(xué)

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人胡曉東郭彤程紅兵于振毅李海斌崔波朱悅裘安萍

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T34894—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)

應(yīng)變梯度測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取的微懸臂梁結(jié)構(gòu)表面形貌進(jìn)行應(yīng)變梯度測(cè)量的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于表面反射率不低于且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微懸臂梁結(jié)構(gòu)

4%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語(yǔ)定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

GB/T3505(GPS)、

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T26111(MEMS)

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)微幾何量評(píng)定總則

GB/T26113(MEMS)

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)基于光學(xué)干涉的微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長(zhǎng)度測(cè)量

GB/T34893—2017(MEMS)MEMS

方法

3術(shù)語(yǔ)和定義

和界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T3505、GB/T26111GB/T34893—2017。

31

.

應(yīng)變梯度straingradient

結(jié)構(gòu)內(nèi)部單位長(zhǎng)度的應(yīng)變變化值

。

4測(cè)量方法

41總則

.

411懸臂梁是薄膜力學(xué)特性測(cè)量中最常用的測(cè)量結(jié)構(gòu)如基于表面工藝制作的微懸臂梁通

..,MEMS,

過(guò)去除犧牲層釋放結(jié)構(gòu)層實(shí)現(xiàn)可動(dòng)結(jié)構(gòu)在殘余應(yīng)力作用下釋放的微懸臂梁結(jié)構(gòu)將產(chǎn)生彎曲變形如