標準解讀

《GB/T 34085-2017 電子工業用氣體 三氟甲烷》是一項國家標準，旨在規范電子工業中使用的三氟甲烷氣體的質量要求、試驗方法以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的規定。該標準適用于半導體器件制造過程中作為刻蝕氣體或清洗氣體的三氟甲烷。

根據此標準，對三氟甲烷的要求主要包括純度指標、雜質含量限制等技術參數。例如，對于主成分三氟甲烷的體積分數有明確的規定值；同時，也設定了包括水分、酸性物質在內的多種潛在有害雜質的最大允許濃度。這些規定確保了產品在使用過程中的安全性和有效性，避免因雜質過多而影響最終產品的質量或者造成設備損壞。

此外，《GB/T 34085-2017》還詳細列出了用于檢測上述各項指標的方法，如氣相色譜法測定純度及特定雜質含量等。通過嚴格遵循這些測試程序，可以準確地評估三氟甲烷是否符合標準要求。

在包裝方面，本標準提出了關于容器材質的選擇、密封性能的要求等具體指導原則，并且明確了標簽上必須包含的信息內容，比如產品名稱、生產批號、生產廠家信息等，以便于追溯管理和用戶識別。


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....

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  • 正在執行有效
  • 2017-07-31 頒布
  • 2017-11-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T34085—2017

電子工業用氣體三氟甲烷

Gasforelectronicindustry—Trifluoromethane

2017-07-31發布2017-11-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34085—2017

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心福建廣東華特氣體股份有限公司

:()、、

浙江巨化股份有限公司高麥儀器公司浙江省化工研究院中昊光明化工研究設計院有限公司大連大

、、、、

特氣體有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司東莞市聯臣電子科技有限公司天津長蘆華信化工

、、、

股份有限公司西南化工研究設計院有限公司

、。

本標準主要起草人陳熔林宇巍傅鑄紅杜漢盛葉紅艷牛艷東史婉君孫福楠曲慶方華

:、、、、、、、、、、

王鴻崔學文周朋云

、、。

Ⅰ

GB/T34085—2017

電子工業用氣體三氟甲烷

1范圍

本標準規定了電子工業用三氟甲烷的技術要求試驗方法以及包裝標志貯運及安全

、、、。

本標準適用于以二氟一氯甲烷三氯甲烷和氟化氫為原料制備的三氟甲烷產品它在電子工業等

、。

離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體

。

分子式

:CHF3。

相對分子質量按年國際相對原子質量

:70.013(2011)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB/T5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規定

GB/T14193

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

特種氣體儲存期規范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全技術監察規程

TSGR0006

危險化學品安全管理條例版

(2002)

特種設備安全監察條例版

(2009)

3技術要求

三氟甲烷的質量應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

三氟甲烷純度體積分數-2

(CHF3)()/10≥99.999

氧氬含量體積分數-6

+(O2+Ar)()/10<1

氮含量體積分數-6

(N2)()/10<3

一氧化碳含量體積分數-6

(CO)()/10<

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