ICS3108099

L55..

中華人民共和國國家標準

GB/T32817—2016

半導體器件微機電器件MEMS總規范

Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

GenericspecificationforMEMS

(IEC62047-4:2008,Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

Part4:GenericspecificationforMEMS,MOD)

2016-08-29發布2017-03-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32817—2016

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

標準環境

4…………………1

標識

5………………………2

器件識別

5.1……………2

器件可追溯性

5.2………………………2

包裝

5.3…………………2

質量評定程序

6……………2

總則

6.1…………………2

質量和或性能合格認定

6.2()…………2

鑒定批準程序

6.3………………………3

試驗和測試程序

7…………………………6

標準條件和通用預防措施

7.1…………6

物理檢查

7.2……………7

氣候和機械試驗

7.3……………………7

替代試驗方法

7.4………………………7

附錄規范性附錄抽樣程序

A()…………8

附錄資料性附錄工藝與器件的分類

B()MEMS………9

附錄資料性附錄規范性引用文件中標準一致性關系

C()……………13

參考文獻

……………………16

Ⅰ

GB/T32817—2016

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用重新起草法修改采用國際標準半導體器件微機電器件第部

IEC62047-4:2008《4

分總規范

:MEMS》。

本標準與相比主要技術變化如下

IEC62047-4:2008,:

刪除半導體器件微機電器件第部分總規范第章中表

———IEC62047-4:2008《4:MEMS》1“

分類和術語該分類與我國現行國家標準微機電系統技術

1MEMS”,GB/T26111《(MEMS)

術語不完全統一

》;

將名稱及對應的章節修改為

———IECQC001002-3:2005IECQ03-3:2013。IECQC001002-3:

已經廢止由替代

2005,IECQ03-3:2013;

將中按要求提交給修改為按要求提交給有關部門因為為美國機構

———6.3.1“NSI”“”,NSI;

刪除中的此縮略語容易引起歧義

———B.3.1AS,;

將規范性引用文件中半導體器件微機電器件第部分術語和定義修改為

———IEC62047-1《1:》

微機電系統技術術語確保此標準與現行國家標準相協調

GB/T26111《(MEMS)》,;

關于規范性引用文件本標準做了具有技術性差異的調整以適應我國的技術條件調整的情況集

,,,

中反映在第章規范性引用文件中具體調整如下

2“”,:

用代替所有部分標準各部分之間的一致性程度見附錄

●GB/T2423IEC60068-2(),C;

用代替所有部分標準各部分之間的一致性程度見附錄

●GB/T2424IEC60068-2(),C;

所有部分代替所有部分標準各部分之間的一致性程度見附錄

●GB/T4937()IEC60749(),C。

為便于使用本標準做了下列編輯性修改

,:

增加了第章其他條款順延

———6.1,6;

把國際標準中的改為懸置段提取標題作為其他章條號順延

———A.1.1A.2,A.2.1,;

將與互換位置

———B.3.1B.3.2;

將標準名稱修改為半導體器件微機電器件總規范

———“MEMS”。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準主要起草單位中機生產力促進中心中國電子科技集團公司第十三研究所中北大學南京

:、、、

理工大學大連理工大學

、。

本標準主要起草人李海斌崔波劉偉石云波裘安萍施芹楊擁軍劉沖

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32817—2016

半導體器件微機電器件MEMS總規范

1范圍

本標準描述了用半導體制造的微機電系統的總規范規定了用于體系質量

(MEMS),IECQ-CECC

評定的一般規程給出了電光機械和環境特性的描述和測試的總則

,、、。

本標準適用于各類器件如傳感器射頻但不包括光生物微全分

MEMS[、MEMS,MEMS、MEMS、

析系統和微能源

(Micro-TAS)MEMS]。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工電子產品環境試驗第部分所有部分

GB/T24232[IEC60068-2()]

環境試驗所有部分

GB/T2424[IEC60068-2()]

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

(GB/T2828.1—2012,ISO2859-1,IDT)

國際單位制及其應用

GB3100(GB3100-1993,eqvISO1000)

所有部分電氣簡圖用圖形符號

GB/T4728()(IEC60617,IDT)

所有部分半導體器件機械和氣候試驗方法所有部分

GB/T4937()[IEC60749()]

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

所有部分電子技術用字符

IEC60027()(Lettersymbolstobeusedinelectricaltechnology)

半導體器件第部分總則

IEC60747-1:20061:(Semiconductordevices—Part1:General)

質量評定體系第部分電子元件和包裝檢驗的抽樣方案選用

IEC61193-22:(Quality

assessmentsystems—Part2:Selectionanduseofsamplingplansforinspectionofelectronic

componen