ICS1704020

J04..

中華人民共和國國家標準

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術測定氣體配送系統部件

表面粗糙度的方法

Standardtestmethodfordeterminationofsurfaceroughness

byscanningtunnelingmicroscopyforgasdistributionsystemcomponents

2014-09-30發布2015-04-15實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

掃描隧道顯微術測定氣體配送系統部件

表面粗糙度的方法

GB/T31226—2014

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20149

*

書號

:155066·1-49575

版權專有侵權必究

GB/T31226—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國科學院提出

。

本標準由全國納米技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標準起草單位上海交通大學納米技術及應用國家工程研究中心

:、。

本標準起草人李慧琴梁齊路慶華何丹農張冰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31226—2014

引言

半導體凈化室需要高純氣體配送系統的保障本標準提供了一種用于此氣體配送系統中一種或多

,

種部件的表面粗糙度評價方法是一種非接觸的表面輪廓測試方法能夠在納米尺度范圍內測試

。STM,

樣品的三維表面形貌并能夠表征表面結構和提供其評定參數這種表面結構作為一種依據的測試方

,。

法的應用期望能得到不同部件表面粗糙度的比較數據以得到高質量的氣體體系凈化配件

,,。

定向刻蝕或導體涂層可以改善氣體在表面的潤濕性本標準沒有涉及本標準假設操作人

,。STM

員已經掌握了儀器的原理操作和假象

、。

本標準定義了一種標準數據表示格式并提出了用得到的數據來分析三維表面結構的評定

,STM

參數

。

Ⅱ

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術測定氣體配送系統部件

表面粗糙度的方法

1范圍

本標準規定了一種使用掃描隧道顯微鏡來分析氣體配送系統部件表面粗糙度的方法

(STM)。

本標準適用于測定Ra小于的不銹鋼表面粗糙度的表征

0.25μm。

本標準不適用于不能產生隧道效應的厚氧化層鋼鐵

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測定試驗方法精密性進行實驗室間研究的標準實施規范

ASTME691(PracticeforConducting

anInterlaboratoryStudytoDeterminethePrecisionofaTestMethod)

表面結構表面粗糙度波紋度和扭轉度

ANSIB46.1:1985(、)[SurfaceTexture(SurfaceRough-

ness,Waviness,andLay)]

3術語和定義符號和縮略語

、

31術語和定義

.

下列術語和定義適用于本文件

。

311

..

假象artifact

非真實的表面形貌包括震動電子噪音熱漂移或不理想探針影響而形成的形貌

,,,。

312

..

中心線centerline

圖像中心線graphicalcenterline

平行于測試輪廓方向的線使得它和輪廓之間的面積在中心線兩側相等

,。

313

..

截取長度cutofflength

l

c

針對于本文中的輪廓線即取樣長度也就是一個掃描長度單位為納米

,,,(nm)。

314

..

電流current

本標準中指在特定條件下流過探針和樣品表面任何方向的隧道電流

,(nA)。

315

..

特征高度fea