標準解讀

《GB/T 31058-2014 電子工業用氣體 四氟化硅》是一項國家標準，主要針對用于電子工業中的四氟化硅氣體的質量和技術要求進行了規定。該標準涵蓋了四氟化硅氣體的技術指標、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存等方面的要求。

根據這項標準，四氟化硅氣體應滿足一定的純度要求，包括主含量和其他雜質的最大允許濃度等具體參數。這些參數的設定旨在確保四氟化硅氣體能夠滿足電子行業對于材料高純度的需求，從而保證最終產品的質量和性能。

在試驗方法部分，《GB/T 31058-2014》提供了詳細的檢測流程和技術細節，以便于對四氟化硅氣體進行準確可靠的分析測試。這包括了采用何種儀器設備、具體的實驗步驟、結果計算方式等內容，為生產者和使用者提供了一個統一的操作指南。

此外，標準還規定了產品出廠前需經過的質量控制程序，如抽樣檢查的方法與頻率等，并且明確了當發現不合格品時應采取的處理措施。關于產品的包裝、標簽信息（如安全警告）、運輸條件及儲存環境也都有明確指導，以保障從生產到使用的全過程中產品質量不受損害。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2014-12-22 頒布
  • 2015-07-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T31058—2014

電子工業用氣體四氟化硅

Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride

2014-12-22發布2015-07-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子工業用氣體四氟化硅

GB/T31058—2014

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20154

*

書號

:155066·1-51307

版權專有侵權必究

GB/T31058—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位核工業理化工程研究院華核新技術開發公司佛山市華特氣體有限公司綠菱電

:、、

子材料天津有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司貴州大學西南化工研究設計院有限公司

()、、、。

本標準主要起草人鄧建平李于教傅鑄紅湯有倫崔學文方華唐安江周鵬云

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31058—2014

電子工業用氣體四氟化硅

1范圍

本標準規定了四氟化硅的技術要求試驗方法標志包裝運輸和貯存等內容

、、、、。

本標準適用于螢石硫酸法六氟硅酸鹽熱分解法單質硅直接氟化法制備的四氟化硅它主要用作

、、。

電子工業中等離子蝕刻發光二極管形摻雜離子注入工藝外延沉積擴散的硅源和光導纖維用高純

、P、、

石英玻璃的原料也是生產多晶硅的重要原料

,。

分子式

:SiF4。

相對分子質量按年國際原子相對質量

:104.0786128(2009)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣瓶顏色標志

GB7144

永久氣體充裝規定

GB14194

化學品安全標簽編寫規定

GBl5258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣體分析硫化物的測定火焰光度氣相色譜法

GB/T28727

氣瓶安全監察規程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2002)

特種設備安全監察條例版

(2009)

3技術要求

四氟化硅的技術要求應符合表的要求

1。

表1技術指標

項目指標

四氟化硅純度體積分數-2

()/10≥99.9999.999

氫含量體積分數-6

(H2)()/10<21

氧氬含量體積分數-6

(+)(O2+Ar)()/10

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