ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測到的樣品面積的測定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

hotoelectronsectrosco—Determinationoflateralresolution

pppy,

analsisareaandsamleareaviewedbtheanalser

y,pyy

(ISO/TR19319:2003,IDT)

2013-07-19發布2014-03-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

前言

本標準依據和給出的規則起草

GB/T1.1—2009GB/T20000.2—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子

ISO/TR19319:2003《X

能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定

、》。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位廈門愛勞德光電有限公司清華大學化學系中國科學院化學所

:、、。

本標準起草人王水菊岑丹霞姚文清李展平劉芬

:、、、、。

Ⅰ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

引言

本標準適用于以下四個方面

:

提供測定俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率的指導這里測量的是與樣品表面上

a)X,

的位置相關聯的俄歇電子或射線光電子的峰強度

X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應用中測定分析面積的指導

b)X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應用中測定分析器所能檢測到的樣品面積的

c)X

指導

。

為制定測量俄歇電子能譜和射線光電子能譜的橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到

d)X、

的樣品面積的新國際標準和國家標準提供基礎

。

Ⅱ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測到的樣品面積的測定

1范圍

本標準規定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到的樣

X、

品面積的測量方法

。

本標準適用于俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器的檢測

X、。

2術語和定義

[1]界定的術語和定義適用于本文件為便于使用下面給出了[1]中分析面

ISO18115。,ISO18115“

積適用于樣品和橫向分辨率的定義

<>”“”。

21

.

分析面積analysisarea

適用于樣品在樣品平整表面內檢測到全部分析信號或該信號特定百分數的該平整表面的二維

<>

區域

。

22

.

橫向分辨率lateralresolution

在樣品平整表面內或在與成像光學軸成直角的平面內能可信地分別確定組成改變時所測試的

,

距離

。

注1應說明平面的選取

:。

注2實際中橫向分辨率可以理解為

:,:

從樣品上非常小的發射點的強度分布的半高寬或

a)(FWHM);

穿越含有與要分辨性質相關的明顯臺階函數信號的樣品部分進行線掃描時強度為和兩點間的

b),12%88%

距離對高斯型強度分布而言這兩個值是相同的對其他分布而言選擇其他參數可能更合適對臺階

,,。,。

函數在線掃描中常使用強度為和的兩點間或強度為和的兩點間的距離后一對是

,20%80%16%84%。

高斯分辨函數的σ寬度

2。