ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強度的

方法和報告結果所需的信息

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Methodsusedtodeterminepeakintensities

andinformationrequiredwhenreportingresults

(ISO20903:2006,IDT)

2012-11-05發布2013-06-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

符號和縮略語……………

41

直接譜的峰強度測定方法………………

51

概述…………………

5.11

非彈性本底的選擇和扣除…………

5.22

峰強度的測量………………………

5.33

峰高度的測量……………………

5.3.13

峰面積的測量……………………

5.3.23

用計算機軟件測量峰強度…………

5.44

重疊峰譜圖的峰強度測量…………

5.54

峰面積測量的不確定度……………

5.64

俄歇電子微分譜的峰強度測定方法……………………

65

概要…………………

6.15

俄歇電子微分譜強度的測量………………………

6.25

俄歇電子微分譜強度測量的不確定度……………

6.36

測量峰強度方法的報告…………………

76

一般要求……………

7.16

測定直接譜峰強度的方法…………

7.26

單峰的強度測量…………………

7.2.16

擬合峰的強度測量………………

7.2.26

獲得和測定俄歇電子微分譜峰強度的方法………

7.37

獲得微分譜的方法………………

7.3.17

測定峰強度的方法………………

7.3.27

附錄資料性附錄儀器對測量強度的影響…………

A()8

參考文獻………………………

9

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜

ISO20903:2006《X

測定峰強度的方法和報告結果所需的信息

》

為了方便使用本標準做了下列編輯性修改

,:

用本標準代替本國際標準

———“”“”。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位廈門愛勞德光電有限公司廈門大學化學化工學院

:、。

本標準起草人王水菊時海燕岑丹霞姚文清劉芬沈電洪

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜的重要特征是能獲得固體樣品表面區域的定量分

(AES)X(XPS)

析此分析需要測定某些窄譜的強度

。。

和有若干種測量峰強度的方法方法的選擇取決于所分析樣品的類型所用儀器的性

AESXPS。、

能和所用數據采集和處理的方法

。

本標準有兩個主要應用領域一本標準表述了測定譜圖中某一元素峰強度的方法給出了處理中

。,,

原始不確定度及如何減小這些不確定度的信息二本標準規定了報告所用峰強度測量方法的要求使

。,,

其他分析人員可自信地使用發表的結果

。

Ⅱ

GB/T28893—2012/ISO209032006

:

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強度的

方法和報告結果所需的信息

1范圍

本標準規定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜的峰強度測量的分析結果報告中所要求的必要

X

信息提供了峰強度測量方法和所得峰面積的不確定度信息

。。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析詞匯

GB/T22461—2008,(ISO18115:2001,IDT)

3術語和定義

中界定的術語和定義適用于本文件

GB/T22461—2008