ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

代替GB/T28893—2012

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強度的

方法和報告結果所需的信息

Surfacechemicalanalysis—Augerelectronspectroscopyand

X-rayphotoelectronspectroscopy—Methodsusedtodeterminepeak

intensitiesandinformationrequiredwhenreportingresults

ISO209032019IDT

(:,)

2024-03-15發布2024-10-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

測定直接譜峰強度的方法

5………………1

通則

5.1…………………1

非彈性本底的選擇和扣除

5.2…………2

峰強度的測量

5.3………………………3

用計算機軟件測量峰強度

5.4…………4

重疊峰譜圖的峰強度測量

5.5…………4

峰面積的測量不確定度

5.6……………5

俄歇電子微分譜的峰強度測定方法

6……………………5

通則

6.1…………………5

俄歇電子微分譜強度的測量

6.2………………………6

俄歇電子微分譜強度測量的不確定度

6.3……………6

測量峰強度方法的報告

7…………………8

一般要求

7.1……………8

測定直接譜峰強度的方法

7.2…………8

獲得和測定俄歇電子微分譜峰強度的方法

7.3………9

附錄資料性儀器對測量強度的影響

A()………………10

附錄資料性確定譜峰強度時可用的積分限值

B()XPS……………11

參考文獻

……………………12

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定峰強

GB/T28893—2012《X

度的方法和報告結果所需的信息與相比除結構調整和編輯性改動外主要技術

》,GB/T28893—2012,,

變化如下

:

更改了術語和定義見第章年版的第章

a)(3,20123);

更改了的內容替換為包括處理共存化學態的現代方法見年版的

b)6.3,(6.3,20126.3)。

本文件等同采用表面化學分析俄歇電子能譜和射線光電子能譜測定峰

ISO20903:2019《X

強度的方法和報告結果所需的信息

》。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位廈門荷清教育咨詢有限公司廈門大學

:、。

本文件主要起草人徐富春時海燕岑丹霞湯丁亮劉芬王水菊

:、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發布情況為

:

年首次發布為

———2012GB/T28893—2012;

本次為第一次修訂

———。

Ⅰ

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜的重要特征是能獲得固體樣品表面區域深度

X(≈1nm~10nm)

的定量分析結果這樣的分析需要測定譜峰的強度

,。

有幾種峰強度測量方法適用于和實際上方法的選擇將取決于所分析樣品的類型所

AESXPS。,、

用儀器的性能以及可用的數據采集與處理方法

。

Ⅱ

GB/T28893—2024/ISO209032019

:

表面化學分析俄歇電子能譜和

X射線光電子能譜測定峰強度的

方法和報告結果所需的信息

1范圍

本文件規定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜的峰強度測量的分析結果報告中所要求的必要

X

信息也提供了峰強度測量方法和導出的峰面積不確定度的信息

,。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

表面化學分析詞匯第部分通用術語及譜學術語

ISO18115-11:(Surfacechemicalanalysis—

Vocabular—Part1:Generaltermsandtermsusedinsectrosco)

注y表面化學分析詞匯第部分p通用術語p及y譜學術語

:GB/T22461.1—20231:(ISO18115-1:2013,IDT)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

ISO18115-1。

4符號和縮略語

下列符號和縮略語適用于本文件

。

A峰面積

:(peakarea)

俄歇電子能譜

AES:(Augerelectronspectroscopy)

b用于強度平均獲得基線的通道數

: