標準解讀

《GB/T 16523-1996 圓形石英玻璃光掩模基板規范》作為一項技術標準，為圓形石英玻璃光掩模基板的生產、檢驗及應用提供了詳細要求和指標。然而，您提供的對比項似乎不完整，沒有明確指出要與哪個具體的標準或版本進行比較。因此，直接列出該標準的具體變更內容而不涉及對比的情況下，可以概述其主要規定和要求，但無法直接闡述相對于某一特定標準的差異。

《GB/T 16523-1996》主要涵蓋了以下幾個方面的內容：

  1. 尺寸與外形：規定了圓形石英玻璃光掩模基板的直徑、厚度及其公差范圍，確保了產品的一致性和互換性。
  2. 材料與制造：明確了基板使用的石英玻璃類型及其純度要求，同時對制造過程中的平整度、內部應力等有嚴格規定，以減少缺陷和提高光學性能。
  3. 光學性能：包括透光率、均勻性等關鍵指標，確保光掩模在半導體制造過程中的精確曝光。
  4. 表面質量：詳細描述了表面粗糙度、潔凈度等要求，避免污染物影響集成電路圖案的轉移精度。
  5. 機械強度與穩定性：規定了基板需承受的機械應力測試條件及其合格標準，保證其在使用過程中的穩定性和耐久性。

若要了解與另一具體標準相比的具體變更，需要提供該對比標準的詳細信息。例如，如果比較的是新舊兩個版本的標準，通常變更可能涉及技術指標的更新（如更嚴格的尺寸公差、更高的光學性能要求）、新增測試方法、環保要求的加入或是生產流程的優化指導等。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 1996-09-09 頒布
  • 1997-05-01 實施
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文檔簡介

ICS31.200L90中華人民共和國國家標準GB/T16523一-1996圓形石英玻璃光掩模基板規范Specificationforroundguartzphotomasksubstrates1996-09-09發布1997-05-01實施國家技術監督局發布

GB/T16523-1996本標準等效采用SEMI標準的SEMIP4-92《圓形石英玻璃光掩模基板規范》。本標準第3章要求全部按SEMIP4-92制定，標準格式按GB/T1.1一1993《標準化工作導則標準編寫的基本規定》編制。SEMI標準是半導體設備和材料國際標準，具有較高的科學性和先進性，內容全面，標準配套。本標準與已經轉化為我國標準的SEMIP1-92《硬面光掩模基板》(GB/T15871一1995)、SEMIP2-86《硬面光掩模用鉻薄膜》(GB/T15870－1995)、SEMIP3-90《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規范》GB/T16527一1996)、SEMIP6-88《光掩模對準標記規范》GB/T16524一1996)及準備轉化為我國標準的SEMIP21—92《掩模瞬光系統準確度表示準則》SEMIP22—93《光掩模缺陷分類和尺寸定義的指南》、SEMIP19一92《用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規范》等項標準形成一個微型構圖標淮系列。本標準附錄A是提示的附錄本標準由中華人民共和國電子工業部提出。本標準由電子工業部標準化研究所歸口。本標準起草單位：長沙韶光微電子總公司，電子工業部標準化研究所。本標準主要起草人：談仁良、吳保華、王亦林、韓艷芬，

中華人民共和國國家標準GB/T16523-1996圓形石英玻璃光掩模基板規范Specificationforroundquartzphotomasksubstrates范圍本標準規定了圓形石英玻璃光掩模基板的技術要求、試驗方法等內容。本標準適用于圓形石英玻璃光掩模基板、2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性.GB191—90包裝儲運圖示標志GB2828—87逐批檢在計數抽樣程序及抽樣表(適用于連續批的檢查)GB2829—87周期檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于生產過程穩定性的檢查)GB7238—87玻璃及鉻版表面平整度的測試方法GB9622.2-88電子玻璃平均線熱膨脹系數的測試方法要求和測量方法3.1外形尺寸3.1.1圓形石英玻璃光

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