犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１４８５１—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３

電子工業用氣體磷化氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犘犺狅狊狆犺犻狀犲

２００９１０３０發布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１４８５１—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３《電子工業用氣體磷化氫》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３相比主要變化如下：

———修改規范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內容（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加電子工業用磷化氫采樣安全要求（本版的４．１．２）；

———增加尾氣處理的要求（本版的４．３）；

———修改砷化氫、氮、氧（氬）組分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．２、４．５、４．６，本版的４．３）；

———刪去氫的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．４）；

———修改二氧化碳、總烴含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．３，本版的４．５、４．６）；

———增加一氧化碳的分析方法（見４．５）；

———增加標準樣品的規定（見４．７）；

———修改水分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．７，本版的４．８）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———刪去ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的附錄Ａ；

———增加規范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用磷化氫中的砷化氫、氮、氧

（氬）組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。

本標準主要起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４８５１—２００９

電子工業用氣體磷化氫

１范圍

本標準規定了電子工業用磷化氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質磷與水或堿反應等方法獲得并經精制得到的磷化氫

產品。它主要用于半導體器件和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。

分子式：ＰＨ３。

相對分子質量：３３．９９７５８（按２００５年國際相對原子質量計算）。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業用化學產品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規定

氣瓶安全監察規程

３技術要求

電子工業用氣體磷化氫的質量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

－２

磷化氫（ＰＨ３）純度（體積分數）／１０≥９９．９９９７９９．９９９９９．９９

－６

砷化氫（ＡｓＨ３）含量（體積分數）／１０＜０．１２１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數）／１０＜１３５０

－６

氧（氬）（Ｏ２／Ａｒ）含量（體積分數）／１０＜０．５１５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數）／１０－６＜０．５０．５１

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數）／１０＜０．５１１０

總烴（以甲烷計）含量（體積分數）／１０－６＜０．２１４

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數）／１０＜１１１

雜質總含量（體積分數）／１０－６≤３１０１００

金屬離子