光電檢測應用中的基礎知識第一頁，共四十二頁，2022年，8月28日隨著現代信息檢測技術的發展，光子技術與微電子技術結合，相互交叉、相互滲透與補充已經成為信息科學技術的主體之一,具有越來越大的競爭力.序信息檢測技術光學檢測技術電子檢測技術易與物質發生聯系，傳播速度快,頻帶寬，信息容量大易存儲，可轉移，好控制光電檢測技術第二頁，共四十二頁，2022年，8月28日本課程所討論的主要內容第一章：光電檢測應用中的基礎知識第二章：光電檢測中的常用光源第三章：結型光電器件第四章：光電導器件第五章：真空光電器件補充：光電測試技術的一些簡單應用第六章：真空成像器件第七章：固體成像器件第八章：紅外輻射與紅外探測器第9章：光導纖維與光纖傳感器第三頁，共四十二頁，2022年，8月28日第一章光電檢測應用中的基礎知識被測對像光學系統光電轉換被測對象的信息加載光源信息載體光電探測器信息處理光電檢測系統組成：放大邊緣檢測電動機驅動門控處理主振激光外徑掃描儀原理圖例：第四頁，共四十二頁，2022年，8月28日§1.1輻射度學和光度學基本概念紫外輻射可見光輻射X光輻射紅外光輻射光波：波長10納米~1毫米（頻率3*1011~3*1016HZ)范圍的電磁輻射紅、橙、黃、綠、青、藍、紫(100~380nm)(380~780nm)（10~100nm)(780nm~1mm)第五頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.輻射度學對各種電磁輻射進行定量評價的一門科學工具：光接收器件結果：與光能量相關的各種物理量評價對象：電磁輻射2.光度學工具：人眼對象：可見光輻射對可見輻射作用于人眼所引起的“光”感覺進行定量評價，是一種生理效應結果：對人眼刺激大小的各種物理量用下標(e)用下標(v)第六頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.1.1輻射度學基本物理量1.輻射功率（輻射通量）對于輻射源說----單位時間內向空間各個方向發射的總能量。單位：W（瓦特）對于電磁波的傳播----單位時間通過某一截面的電磁波能量對于電磁波的接收----單位時間內某一截面接收到的電磁能發射A1A2傳播A接收如果是多波長輻射，則有：光譜功率譜密度第七頁，共四十二頁，2022年，8月28日

點光源:在某一方向上，在單位立體角內發出的輻射通量（描述輻射體在不同方向上的輻射特性）。2、輻射強度單位：向空間各個方向輻射均勻的點光源：如果輻射是多波長的電磁波則：如果輻射不均勻，則θ方向上的輻射強度，可表示為：dΩθ第八頁，共四十二頁，2022年，8月28日3、輻射亮度單位：----表征發光面發光強弱并與發光面特性有關的物理量。面元dS在θ方向的光亮度定義為：此面元在θ方向dΩ體積角內的的輻射通量dΦe

除立體角的大小dΩ

和此面元在觀測方向上的表觀面積cosθ(dS)。如果是多波長輻射則：如果輻射不均勻，則θ方向上的輻亮度，可表示為：N第九頁，共四十二頁，2022年，8月28日4、輻射出射度----光源單位時間由單位表面積輻射出的電磁能（包括所有方向），或者說單位輻射面發出的輻通量。用來描述輻射體表面不同位置的輻射特性。dA1dA2單位：W/m2----受照面上單位時間單位表面積接受的輻射能，或單位表面積接受的輻通量。5、輻照度單位：W/m2dA1dA2同樣有：同樣有：第十頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.1.2光度學基本物理量（一）光度學量和輻射度學量的關系1.

光譜靈敏度Kλ

及視見函數Vλ相同波長（λ）不同產生對人眼不同的刺激程度人眼對光的感受是光波長的函數單位時間內發射、傳播或接收的光量K

λ

光譜靈敏度(lm/W)(1)光譜靈敏度光通量(lm流明)第十一頁，共四十二頁，2022年，8月28日定義:視見函數明視0.55μmλ

10.380.7明視暗視0.55μm0.52μmλ

Km=683（lm/W）0.380.7不同波長的光譜靈敏度，如圖所示：C(2)視見函數第十二頁，共四十二頁，2022年，8月28日（二）光度學量A1A2A1A2輻射通量單位時間內發射、傳播或接收的輻射能量。復色光時----單位時間內發射、傳播或接收的光量。復色光時1、光通量A

lm(流明）W（瓦特）第十三頁，共四十二頁，2022年，8月28日----點光源在某一方向上，單位立體角內發出的輻射通量。----點光源在某一方向上，單位立體角內的光通量。2、發光強度單位：輻射強度單位：（cd坎德拉）dΩ第十四頁，共四十二頁，2022年，8月28日----面元dS在θ方向dΩ體積角內的的光通量dΦv

除立體角的大小dΩ

和此面元在觀測方向上的表觀面積cosθ(dS)。3、光亮度單位：輻射亮度----面元dS在θ方向dΩ體積角內的的輻通量dΦe

除立體角的大小dΩ

和此面元在觀測方向上的表觀面積cosθ(dS)。N第十五頁，共四十二頁，2022年，8月28日4、光出射度----光源單位時間由單位表面積輻射出的光量（包括所有方向），或者說單位輻射面發出的光通量。dA1dA2單位：lm/m2輻射出射度----光源單位時間由單位表面積輻射出的電磁能（包括所有方向），或者說單位輻射面發出的輻通量。單位：W/m2第十六頁，共四十二頁，2022年，8月28日----受照面上單位時間單位表面積接受的輻射能，或單位表面積接受的輻通量。5、輻照度單位：lm/m2dA1dA2----受照面上單位時間單位表面積接受的輻射能，或單位表面積接受的輻通量。輻照度單位：W/m2(lx勒克斯）第十七頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.1.3其它基本概念1.點源dA⊥θdA某面元上的照度與面元到光源的距離的平方成反比---平方反比定律同時也與面源的方向有關Ir對于沿各方向勻均輻射的點源點源對面的照度-----光源S總輻射通量為：第十八頁，共四十二頁，2022年，8月28日2.擴展源---有一定面積的輻射源朗伯源或稱為余弦輻射體向空間各個方向的輻射亮度相同，理想化的擴展源發光強度I

與方向角θ滿足余弦定律的發光體。大部分發光體都有此性質dSθII0余弦定律常數第十九頁，共四十二頁，2022年，8月28日根據輻出度的定義根據亮度的定義朗伯源向空間各個方位的總輻射通量的計算---dSdAd222d第二十頁，共四十二頁，2022年，8月28日3.漫反射面----把入射光向各個方向均勻的散射的各種表面設某一漫反射面dS所受的光照度為E，則此面接收到的光通量為：設此反射面的反射系數為K，則它反射的光通量為：朗伯輻射體不透明漫反射體透明漫反射體亮度減半第二十一頁，共四十二頁，2022年，8月28日4.定向輻射體--光線的發射方向比較集中如：激光器太陽的輻射亮度只有3*108W/(sr.m2)第二十二頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.2半導體的基礎知識1.電子的共有化運動2.能帶的形成能級3s2p1.2.1固體的能帶結構允帶禁帶允帶允帶禁帶第二十三頁，共四十二頁，2022年，8月28日3.能帶的結構價帶導帶禁帶物質的導電性：價帶導帶禁帶價帶中的空穴導帶中的電子價帶導帶內層能帶禁帶禁帶內層能帶禁帶滿帶：被電子填滿的能帶空帶：沒有電子占據的能帶第二十四頁，共四十二頁，2022年，8月28日4.N型半導體和P型半導體價帶導帶禁帶低溫下低溫下硅晶體中的價帶中所有的能級都被電子占據，即被填滿，價帶以下的能帶被內層電子填滿，而導帶的能級是空的，所以不導電。價帶導帶禁帶本征激發常溫下被激發到共價鍵之外不導電弱導電性1）本征半導體第二十五頁，共四十二頁，2022年，8月28日2）摻5族元素時------N型半導體的能級處于共價鍵之外低溫下價帶導帶禁帶雜質能級第二十六頁，共四十二頁，2022年，8月28日價帶導帶禁帶施主能級本征激發+雜質激發價帶導帶禁帶雜質能級低溫下常溫下被激發至導帶第二十七頁，共四十二頁，2022年，8月28日3）摻3族元素時-----P型半導體低溫下B價帶導帶雜質能級第二十八頁，共四十二頁，2022年，8月28日價帶導帶雜質能級常溫下B低溫下受主能級價帶導帶雜質激發+本征激發第二十九頁，共四十二頁，2022年，8月28日熱平衡下的載流子濃度本征半導體中的載流子價帶導帶禁帶本征激發開始時：激發>復合復合一段時間后：激發=復合（載流子濃度增大）（載流子濃度穩定）熱平衡狀態設由低溫到高溫的過程第三十頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.2.3半導體中的非平衡載流子非平衡載流子---通過注入或光激發方式使載流了濃度超出熱平衡時的濃度，這些超出的載流子通常稱為非平衡載流子，或過剩載流子。1.半導體材料的光吸收效應1）本征吸收價帶導帶常溫光照時價帶導帶常溫無光照時Eg要發生光電導效應，必須滿足：單位是μm第三十一頁，共四十二頁，2022年，8月28日2）雜質吸收N型半導體：價帶導帶低溫無光照時Ed價帶導帶低溫有光照時價帶導帶低溫無光照時Ea工作時溫度要低---防止熱激發價帶導帶低溫有光照時P型半導體：第三十二頁，共四十二頁，2022年，8月28日2.非平衡載流子濃度光照射半導體時：載流子的濃度增加停止光照射后：由于復合，載流子的濃度不斷的減少，直到熱平衡復合方式有直接復合---導帶中的電子直接回到價帶填充空位間接復合---通過“缺陷、錯位、雜質”等形成的復合中心復合價帶導帶價帶導帶第三十三頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.2.4載流子的擴散和漂移1.擴散------在某種作用下（如光照），使材料中的局部位置的光生載流子濃度高于其它地方和載流了濃度，這時載流子就從濃度高的地方向濃度低的地方運動，這種現象稱為擴散擴散形成電流的大小：2.飄移------在電場做用下電荷的移動對于空穴導電第三十四頁，共四十二頁，2022年，8月28日2.總電流電子空穴總電流第三十五頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.3基本定律1.3.1黑體輻射定律黑體：有一類物體其表面不反射光，它們能夠在任何溫度下吸收射來的一切電磁輻射，這類物體就叫絕對黑體。吸收比:模擬黑體：反射比:第三十六頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.基爾霍夫定律2.普朗克輻射公式常數光譜發射率短波區或溫度不高的情況下------吸收能力強，發射能力也強第三十七頁，共四十二頁，2022年，8月28日3.斯忒藩-玻耳茲曼定律700K900K400Kλ(μm）2Me(λ,T)468短波區或溫度不高的情況下一定溫度下總的輻射出射度4.維恩位移定律Me(λ,T)第三十八頁，共四十二頁，2022年，8月28日1.響應率電壓響應率(V/w)：電壓/單色輻射通量電流/單色輻射通量電流響應率(A/w)：1.4.2光電探測器的特性參數探測器的輸出信號電壓/探測器接收的所有波長光的總輻射通量探測器輸出的信號電流/探測器接收的所有波長光的總輻射通量電壓光譜靈敏度：2.光譜響應率電流光譜靈敏度：S（λ）1相對光譜靈敏度第三十九頁，共四十二頁，2022年，8月28日4、探測度D與比探測度D*3、等效噪聲功率如果探測器所接收到的輻射功率所引起的信號輸出，正好等于探測器本身產生的噪聲，則探測器此時所接收到的輻射功率稱為等效噪聲功率又稱為最小可探測功率。設輸出信號為電流信噪比探測率第四十頁，共四十二頁，2022年，8月28日歸一化等效澡聲功率：比探測率（歸一化探測率）Ad：cm2Δf:Hz:ASI:A/WD*:cm