核電池

核電池

核電池核電池,又稱同位素電池,它是利用放射性同位素衰變放出載能粒子(如α粒子、β粒子和γ射線)并將其能量轉換為電能的裝置。2核電池核電池,又稱同位素電池,它是利用放射性同位素衰核電池的應用核電池體積小、重量輕、壽命長、抗干擾性強、使用簡便可靠性高等優點，在各個領域都有非常重要的作用。1、醫學領域

體積小重量輕的長壽命的核電池心臟起搏器保證患者不必冒著生命危險,忍受極大痛苦,反復進行開胸手術，更換不能再工作的化學電池。3核電池的應用核電池體積小、重量輕、壽命長、抗干擾性2、航天領域：

美國好奇號火星車抵達火星核電池壽命達14年阿波羅12,14,15,16及17號相繼安裝了核電池,設計輸出功率為63.5W,整個裝置重量為31kg,設計壽命為1年,但實際上,其壽命遠遠超過設計時的1年,并能連續供70W以上的電力。42、航天領域：43、航海、航空導航等領域海底設施,如海下聲納、各種海下科學儀器與軍事設施、海底油井閥門的開關和海底電纜中繼器等,所用核電池既能耐5—6km深海的高壓,安全可靠地工作,花費成本又少。地面上的氣象站和導航站若用核電池,可以建成自動氣象站或自動導航站,實現自動記錄和自動控制,常年無須更換和維修電源。4、手機等電子產品手機第一次使用后能夠連續提供1年以上待機時間的電量,從而使廠商節省了生產充電器的成本。53、航海、航空導航等領域55、電動汽車目前電動汽車所用的電池多為化學電池,體積龐大，充電后使用時間短、壽命短。核電池長期工作不需維修、高效大功率、小體積、低成本。65、電動汽車6核電池在MEMS的應用

微機電系統和納米技術的研究在過去20年取得了巨大的進展，研究者們開發了各種類型的微米和納米尺度的器件。然而，能量供給裝置很

難微小型化到相應尺度，常規微型電池都有各自缺陷。傳統電池

整個系統體積增大、頻繁充電或電池單元組布置的困難微型燃料電池需要外部的微流體結構和外部能源驅動發動機供給燃料到工作腔中，或者促成化學反應實現能量轉換。7核電池在MEMS的應用

微機電系統和納米技術的研微型鋰電池目前能量密度低,壽命短。微型太陽能電池陣列需要光作為原始能源。8微型鋰電池微型太陽能電池陣列8微型核電池由于具有能量密度大、壽命長、受環境影響小、與MEMS工藝兼容等優點，成為了為MEMS和微／納器件供電的重要選項。9微型核電池由于具有能量密度大、壽命長、受環境影響微型核電池按換能原理不同可分為間接式和直接式兩種。

間接式:自震蕩懸臂梁輻射-熒光-電輻射-熱-電

直接式:PN結式肖特基結式10微型核電池按換能原理不同可分為間接式和直接式兩種。

間接式用于微型電池的放射性同位素

11用于微型電池的放射性同位素

11自震蕩懸臂梁式核電池

12自震蕩懸臂梁式核電池

12彈性變形的懸臂粱放于距離放射源一段間隔的位置，當懸臂粱收集了來自放射源的帶電荷粒子后．放射源剩余負電荷。因此．產生了靜電力，將懸臂粱吸引向放射源：當懸臂粱接觸到放射源，懸臂粱放電從而回到初始位置，再次進行下一循環周期的電荷收集。因此．實現了自主往復式懸臂粱．或稱直接收集型電荷運動轉換裝置。13彈性變形的懸臂粱放于距離放射源一段間隔的位置，當核電池原理大多數核電池是基于β輻射伏特效應，將入射到半導體內的粒子的動能轉換成電能。1、PN結式14核電池原理大多數核電池是基于β輻射伏特效應，將入射到半導體內（1）半導體兩面經過摻雜形成PN結時，結內就存在了內建電場，放射性同位素輻射出β粒子，其中動能大于半導體材料電離能的β粒子能使半導體原子電離產生電子-空穴對；（2）當電子或空穴運動到PN結時，在這個內建電場作用下，可實現對電子空穴對的分離，即電子向N區、空穴向P區運動；（3）半導體p-n結的兩側分別聚集了大量的電子和空穴，形成電勢差，連接上外部負載就能形成電流對外輸出能量。15（1）半導體兩面經過摻雜形成PN結時，結內就存在了內建電場，PN結式同位素微電池結構倒三角直槽型轉換結構是在表面呈倒三角直槽的N型硅上摻雜形成一層厚度均勻的倒三角直槽型的p型硅。16PN結式同位素微電池結構倒三角直槽型轉換結構是在形成倒金字塔型能量轉換結構：1717為了增加輸出功率,可以在p-n結上加工出垂直側壁方孔陣列,以增大接觸面積。1818PN結式同位素微電池的工藝流程19PN結式同位素微電池的工藝流程19(a):采用摻雜濃度為1017/cm3晶向為<100>的n型硅片為襯底;(b):在n型硅片表面熱氧化生成2μmSiO2掩膜層,在SiO2表面用LPCVD淀積2μmSi3N4掩膜層；(c):用掩模版光刻。RIE干法刻蝕掉多余的Si3N4與SiO2形成濕法刻蝕的窗口；20(a):采用摻雜濃度為1017/cm3晶向為<10(d):用KOH濕法腐蝕出深度為200μm,側壁均為<100>晶向的垂直側壁的方孔陣列；(e):RIE除去Si3N4掩模層,用掩模版光刻,RIE除去多余SiO2掩膜層,形成摻雜p型區的窗口,此摻雜窗口避開了n型區的金屬電極區,并為其留出了電極面積5倍以上的間隙。(f):濃硼擴散形成結深為1μm,p型區濃度為1020/cm3的p-n結；21(d):用KOH濕法腐蝕出深度為200μm,側壁均為(g):HF緩沖液除去SiO2掩膜層。濺射金屬銅(h):用掩模版光刻出n型區的金屬電極區,p型區的金屬電極區與電鍍區,FeCl3的酸溶液刻蝕掉多余的金屬銅。2222對加工好的能量轉換結構進行放射源電鍍,采用含有次磷酸根的鎳鹽水溶液通過化學鍍層的方式形成63Ni。電鍍后,在微電池表面進行密封處理,避免放射源在工作時受到外界影響。23對加工好的能量轉換結構進行放射源電鍍,采用含現有的硅基PN結式微型核電池輸出功率已達到納瓦級，但其結構的局限性導致電荷收集區域狹小，少子壽命短，能量轉換效率低下。西北工業大學微/納米系統實驗室，設計出一種具有保護環結構的PIN復合結換能結構(其中I代表高阻N－型硅)：24現有的硅基PN結式微型核電池輸出功率已達到納

依次包括上電極金屬層、SiO2鈍化層、P+硅區、N－(I)硅區、N+硅區和下電極金屬層.P+硅區和N－硅區中間形成寬度為W的耗盡層。2525(a)注入雜質P和B(b)使用40%HF溶液去除二氧化硅層，快速熱退火激活注入雜質.低壓化學沉積二氧化硅并濕法腐蝕形成鈍化層。(c)制作正面電極和背面電極26(a)注入雜質P和B262、碳化硅(4H-SiC)肖特基結式微型核電池肖特基結是一種簡單的金屬與半導體的交界面。硅加工工藝發展的相當成熟，以硅為基底的p-n結式、p-i-n結式和肖特基結式這三種放射性同位素微電池的發展已經具有一定的應用前景，但硅屬于窄禁帶半導體材料，禁帶寬度相對較小，而禁帶寬度是器件性能的關鍵指標，制約了以硅為基底的放射性同位素微電池在某領域的應用。以GaN、金剛石、SiC為代表的寬禁帶半導體材料被引入到放射性同位素微電池的研究當中。272、碳化硅(4H-SiC)肖特基結式微型核電池肖特基結是一種碳化硅(4H-SiC)肖特基結式微型核電池是一種利用輻生伏特效應，直接將輻射能轉化為電能的供能裝置。2828結語微型核電池具有壽命長、能量密度高、輸出特性穩定等特點而成為未來能源發展的重要分支。國內的西北工業大學，大連理工大學，北京理工大學和廈門大學都相繼開展了相關的研究。與國外相比，國內在微型同位素電池研究方面還有較大差距，在采用新材料提高能量轉換效率、采用新型結構提高結對入射粒子的收集效率、以及中高能放射源技術方面都是空白。隨著研究的深入和制造成本的降低，微型放射性同位素電池必將在國防、電子、通訊等領域獲得廣泛的應用，從而帶動國民經濟的高速發展。29結語微型核電池具有壽命長、能量密度高、輸出特性穩核電池

核電池

核電池核電池,又稱同位素電池,它是利用放射性同位素衰變放出載能粒子(如α粒子、β粒子和γ射線)并將其能量轉換為電能的裝置。2核電池核電池,又稱同位素電池,它是利用放射性同位素衰核電池的應用核電池體積小、重量輕、壽命長、抗干擾性強、使用簡便可靠性高等優點，在各個領域都有非常重要的作用。1、醫學領域

體積小重量輕的長壽命的核電池心臟起搏器保證患者不必冒著生命危險,忍受極大痛苦,反復進行開胸手術，更換不能再工作的化學電池。3核電池的應用核電池體積小、重量輕、壽命長、抗干擾性2、航天領域：

美國好奇號火星車抵達火星核電池壽命達14年阿波羅12,14,15,16及17號相繼安裝了核電池,設計輸出功率為63.5W,整個裝置重量為31kg,設計壽命為1年,但實際上,其壽命遠遠超過設計時的1年,并能連續供70W以上的電力。42、航天領域：43、航海、航空導航等領域海底設施,如海下聲納、各種海下科學儀器與軍事設施、海底油井閥門的開關和海底電纜中繼器等,所用核電池既能耐5—6km深海的高壓,安全可靠地工作,花費成本又少。地面上的氣象站和導航站若用核電池,可以建成自動氣象站或自動導航站,實現自動記錄和自動控制,常年無須更換和維修電源。4、手機等電子產品手機第一次使用后能夠連續提供1年以上待機時間的電量,從而使廠商節省了生產充電器的成本。53、航海、航空導航等領域55、電動汽車目前電動汽車所用的電池多為化學電池,體積龐大，充電后使用時間短、壽命短。核電池長期工作不需維修、高效大功率、小體積、低成本。65、電動汽車6核電池在MEMS的應用

微機電系統和納米技術的研究在過去20年取得了巨大的進展，研究者們開發了各種類型的微米和納米尺度的器件。然而，能量供給裝置很

難微小型化到相應尺度，常規微型電池都有各自缺陷。傳統電池

整個系統體積增大、頻繁充電或電池單元組布置的困難微型燃料電池需要外部的微流體結構和外部能源驅動發動機供給燃料到工作腔中，或者促成化學反應實現能量轉換。7核電池在MEMS的應用

微機電系統和納米技術的研微型鋰電池目前能量密度低,壽命短。微型太陽能電池陣列需要光作為原始能源。8微型鋰電池微型太陽能電池陣列8微型核電池由于具有能量密度大、壽命長、受環境影響小、與MEMS工藝兼容等優點，成為了為MEMS和微／納器件供電的重要選項。9微型核電池由于具有能量密度大、壽命長、受環境影響微型核電池按換能原理不同可分為間接式和直接式兩種。

間接式:自震蕩懸臂梁輻射-熒光-電輻射-熱-電

直接式:PN結式肖特基結式10微型核電池按換能原理不同可分為間接式和直接式兩種。

間接式用于微型電池的放射性同位素

11用于微型電池的放射性同位素

11自震蕩懸臂梁式核電池

12自震蕩懸臂梁式核電池

12彈性變形的懸臂粱放于距離放射源一段間隔的位置，當懸臂粱收集了來自放射源的帶電荷粒子后．放射源剩余負電荷。因此．產生了靜電力，將懸臂粱吸引向放射源：當懸臂粱接觸到放射源，懸臂粱放電從而回到初始位置，再次進行下一循環周期的電荷收集。因此．實現了自主往復式懸臂粱．或稱直接收集型電荷運動轉換裝置。13彈性變形的懸臂粱放于距離放射源一段間隔的位置，當核電池原理大多數核電池是基于β輻射伏特效應，將入射到半導體內的粒子的動能轉換成電能。1、PN結式14核電池原理大多數核電池是基于β輻射伏特效應，將入射到半導體內（1）半導體兩面經過摻雜形成PN結時，結內就存在了內建電場，放射性同位素輻射出β粒子，其中動能大于半導體材料電離能的β粒子能使半導體原子電離產生電子-空穴對；（2）當電子或空穴運動到PN結時，在這個內建電場作用下，可實現對電子空穴對的分離，即電子向N區、空穴向P區運動；（3）半導體p-n結的兩側分別聚集了大量的電子和空穴，形成電勢差，連接上外部負載就能形成電流對外輸出能量。15（1）半導體兩面經過摻雜形成PN結時，結內就存在了內建電場，PN結式同位素微電池結構倒三角直槽型轉換結構是在表面呈倒三角直槽的N型硅上摻雜形成一層厚度均勻的倒三角直槽型的p型硅。16PN結式同位素微電池結構倒三角直槽型轉換結構是在形成倒金字塔型能量轉換結構：1717為了增加輸出功率,可以在p-n結上加工出垂直側壁方孔陣列,以增大接觸面積。1818PN結式同位素微電池的工藝流程19PN結式同位素微電池的工藝流程19(a):采用摻雜濃度為1017/cm3晶向為<100>的n型硅片為襯底;(b):在n型硅片表面熱氧化生成2μmSiO2掩膜層,在SiO2表面用LPCVD淀積2μmSi3N4掩膜層；(c):用掩模版光刻。RIE干法刻蝕掉多余的Si3N4與SiO2形成濕法刻蝕的窗口；20(a):采用摻雜濃度為1017/cm3晶向為<10(d):用KOH濕法腐蝕出深度為200μm,側壁均為<100>晶向的垂直側壁的方孔陣列；(e):RIE除去Si3N4掩模層,用掩模版光刻,RIE除去多余SiO2掩膜層,形成摻雜p型區的窗口,此摻雜窗口避開了n型區的金屬電極區,并為其留出了電極面積5倍以上的間隙。(f):濃硼擴散形成結深為1μm,p型區濃度為1020/cm3的p-n結；21(d):用KOH濕法腐蝕出深度為200μm,側壁均為(g):HF緩沖液除去SiO2掩膜層。濺射金屬銅(h):用掩模版光刻出n型區的金屬電極區,p型區的金屬電極區與電鍍區,FeCl3的酸溶液刻蝕掉多余的金屬銅。2222對加工好的能量轉換結構進行放射源電鍍,采用含有次磷酸根的鎳鹽水溶液通過化學鍍層的方式形成63Ni。電鍍后,在微電池表面進行密封處理,避免放射源在工作時受到外界影響。23對加工好的能量轉換結構進行放射源電鍍,采用含現有的硅基PN結式微型核電池輸出功率已達到納瓦級，但其結構的局限性導致電荷收集區域狹小，少子壽命短，能量轉換效率低下。西北工業大學微/納米系統實驗室，設計出一種具有保護環結構的PIN復合結換能結構(其中I代表高阻N－型硅)：24現有的硅基PN結式微型核電池輸出功率已達到納

依次包括上電極金屬層、SiO2鈍