1、微納中心超凈間培訓超凈間就是達到一定標準的潔凈度的實驗室，是微納加工的重要平臺。對于潔凈度的標準，美聯邦的209E標準的定義是將“室內懸浮粒子濃度控制在一定水平的房間”；潔凈室分級：習慣上的稱呼為一級-十級-百級千級萬級-十萬級（美國209E標準），這些級別的劃分是由房間內空氣的潔凈度（空內懸浮粒子的濃度）來實現的。百級、千級、萬級定義單位立英尺空氣含直徑于0.5m塵埃粒數。超凈間概述超凈間工作原理潔凈度不達標的后果超凈間內的主要污染源是人，包括人體衣服表面附著物、纖維、體表脫落物（皮屑、頭屑、唾沫）、走路揚起的塵埃等。有數據顯示：人員著不同的衣服和各種動作都會對無塵室的空氣質量產生影響，見下

2、表：不同衣著、不同動作時的人體產塵超凈間污染源控制門禁2門禁3門禁1C405C40610萬級內走廊緩沖走廊千級區不銹鋼柜子新舊鞋柜Research Center for Micro/Nano System 外部掛衣架(門禁1外走廊)10萬級走廊 C409 C412 C410 C407 C411 C414超凈間平面布局圖鞋柜區更衣室凈化間FilterFilterFilter鞋柜凈化服存貯架風淋室凈化間桌子，工作臺，椅子，貨架，推車及設備超凈間結構圖Step 1進入鞋柜區，在該區域：1.將限制物品除去(非凈化紙、背包等)2.將個人物品存放在分配的鞋柜里，禁止放到地面或者柜子上。3.超凈間內不準穿拖

3、鞋，進入凈化區域必須穿白色凈化鞋（臨時參觀人員穿一次性鞋套），禁止穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內外進進出出 。凈化鞋不能直接與日常鞋放在一起,否則會交叉污染! 應該將凈化鞋用塑料袋套好，再放在儲物柜內。進出超凈間基本操作存放鞋子入柜更換防塵白鞋進出超凈間基本操作Step 2進入一更換衣區，在該區域：1.穿一更防塵白大褂2.準備進入超凈間進出超凈間基本操作注意事項：1.防塵白大褂一人一件，請勿亂穿他人的2.取放防塵白大褂時候，按照規定放好防塵白大褂3.請及時清洗防塵白大褂4.衣架上寫上自己的標簽，衣服標上自己姓名的牌子進出超凈間基本操作 1. 進入前在粘塵墊上踩過. 2. 在風淋室進行風淋, 時間

4、30秒, 風淋時舉起雙手, 緩慢轉身3-4圈. 3. 從更衣室進凈化間的風淋室,每次最多進入兩人. 4. 如果發現風淋室不吹風,可以按“急停”, 再按“風淋”. 如果還有問題,通知管理人員維修. 5. 禁止從超凈間的后門 （萬級間走廊及412房間都有后門）進進出出，走廊后門是用于運輸氣瓶和垃圾廢液等物品的.Step 3 進入風淋室 進出超凈間基本操作 1. 出超凈間：只從指定超凈間出口走出。 2. 脫及存放一更白大褂：將一更防塵白大褂掛在分配的衣架上，注意不要將一更防塵白大褂的內側翻到外面存放 3. 更換、存放防塵白鞋 進入鞋柜區，更換防塵白鞋，將防塵白鞋存放到鞋柜里Step 4 出超凈間 進

5、出超凈間基本操作穿鞋子1.進入超凈間一定要更換超凈間專用鞋子或者換鞋套，不允許穿同一雙鞋子/鞋套在超凈間內外進進出出；穿衣服2.進入超凈間一定更換防塵服，出超凈間一定將一更防塵服留置在對應的衣柜，嚴禁將防塵服穿出超凈間；不走后門3.禁止從超凈間的后門 （萬級間走廊及412房間都有后門）進進出出，走廊后門只限于運輸氣瓶和垃圾廢液等物品；不帶外人4.禁止隨意帶其他沒有門禁的人員進入超凈間實驗室做實驗，有需求的人可以申請門禁開通，并接受超凈間基本守則的培訓。保持清潔5.不得長期把垃圾堆放在走廊，要及時通知清潔阿姨來清理。超凈間的基本規范對于上述超凈間守則，如有違規者，視情節輕重進行處罰。發現一次違反超凈間守則的，提出口頭批評；違反兩次以上的，檢討教育，并加以公示；情節嚴重者將在知會轉化中心主任的情