1、低溫泵相關知識交流浙江博開機電科技有限公司（徐玉峰）2013年7月3日浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司1、低溫泵的構造、低溫泵各部件的功用及工作原理、低溫泵實用案例 4、 低溫的維護保養及特點目次浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司2什么是低溫泵 利用小型氦制冷機作為冷源，產生10K（-263)左右的低溫，通過冷凝和吸附被抽容器的氣體來獲得和保持高真空的設備。浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司3采用技術 浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司低溫技術 低溫的獲得（即降溫）、保持與應用技術真空技術 真空的獲得、保持與應用技術4 *壓縮機將氦氣壓縮之后送

2、到制冷機里 *制冷機使被壓縮的氦氣在制冷機里壓縮，膨脹，持續降溫，達到冷卻作用 *泵體泵體內（障板處）將氣體凝固，使氣體被吸附獲得更高真空上述的三個系統組成一個整體的低溫泵系統運轉。低溫泵的構成浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司5低溫泵的構造10k制冷機低溫泵內部結構（氦）壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司67障板因為表面不光滑輻射出來的熱量將被吸住，使溫度上升因為表面光滑將輻射出來的熱量反射掉，防止溫度上升浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司77 冷屏黑漆處理層面如果脫落了，輻射的熱量被反射，增加15 K冷板的負載。熱輻射浙 江 博 開 機 電 科 技

3、 有 限 公 司8如果表面污染了將吸收輻射出來的熱量，使溫度上升成為可能輻射熱20 冷板吸附陣浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司9制冷裝置制冷機、壓縮機制冷機的物理學依據 根據熱力學第二定律，封閉系統內部熱能自發的流動方向是單向的，即只能從高熱流向低熱。 低溫泵的熱負載主要是氣體的凝結熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。 氣體在低溫泵內遇冷從而凝華變成固態，凝華的過程中釋放熱量。熱量被一級、二級冷凝頭吸收，再通過熱交換從壓縮機轉移出去。一級冷頭50-70k二級冷頭10-20k浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司10氦氣循環原理浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司11

4、低溫泵的抽氣方式抽氣的主要方式低溫冷凝 氣體分子冷凝在表面上或冷凝板在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫吸附氣體分子以一個單分子層厚 (10-8厘米數量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。低溫捕集在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司12溫度的換算制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司13低溫泵抽氣原理H2ON2ArNe65 - 100 K15 K15 KH2通過這層，水蒸汽被冷凝，其

5、它氣體被預冷N2、Ar等氣體通過這層被冷凝H2, He和Ne氣體通過這層被低溫吸附 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司14氣體成分第一層次為 水氣類第二層次為 氮氣、氬氣等第三層次為 氫氣等制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司15制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司低溫泵的抽速16氣體吸附效果圖 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司17 低溫泵應用案例制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司博開DZB500低溫泵在無錫某微電子公司鍍膜機上

6、的應用18 實用案例制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司 博開DZB500低溫泵在南京某光電公司紅外鏡片鍍膜機上的應用19 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司博開DZB550低溫泵在浙江某裝鈽品鍍膜機上的應用20 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司博開DZB300在某LCD顯示屏鍍膜線上的的應用21 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司博開DZB250在昆山某臺資企業EMI膜磁控濺射生產線上的的應用22 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限

7、 公 司博開DZB400低溫 泵與分子泵組合使用在多弧離子鍍膜機上23 制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司為長春某研究所研制的液氮輔助制冷型1250mm口徑低溫泵24低溫泵的再生什么是低溫泵的再生 低溫泵的再生是使泵內吸附凝結所貯存的氣體解析和脫附的過程，再生的方式有多種，其所需時間和再生效果也有所不同。再生的方式自然加熱再生 它是利用泵壁與周圍空氣的熱交換來使泵升溫的，這個升溫過程相當緩慢。氣體沖洗再生 氣體沖洗再生是普遍的一種方法，它利用沖入泵內的室溫或加熱的干燥的惰性氣體（N2 或Ar）對泵進行加熱，因為能夠進行有效的對流熱交換，所以可以縮短再生時間，而

8、且氣體沖洗有利于水蒸氣從活性炭中脫附出來，提高了低溫泵的再生質量。電加熱再生 電加熱再生是一種經濟的再生方法，目前有兩種不同的加熱方式，一種是利用加熱帶裹在泵壁外表進行加熱，另一種是利用泵內冷頭上的加熱板進行加熱。由于低溫泵中的部分元件不能承受高溫，因而需要對加熱過程進行控制。浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司25 低溫泵的優勢-真空度制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司 一臺標準型的低溫泵，其極限真空度可達10-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa，而理論上，甚至于達到更高。26 低溫泵的優勢-抽速制冷裝置制冷機、壓縮機浙

9、 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司 。在同口徑的情況下差不多比分子泵和油擴散泵大1/3 。對水具有超高的抽速 。大多數情況下，水蒸氣是真空系統的主要負荷，低溫泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快，可以大大提高產品產出量。27 低溫泵的優勢-潔凈制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司 。 真空室無任何運動部件；真正意義上的“無油”真空泵 。切換壓力高。減少抽氣時間，不會產生返油28 低溫泵的優勢-成本低制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開 機 電 科 技 有 限 公 司 。節約電力；。無需液氮。維護費用低；。低溫泵工作，前級泵休息。29 低溫泵的優勢-安全可靠制冷裝置制冷機、壓縮機浙 江 博 開