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文檔簡介

1、燕山大學材料學院2008.12圖1 KYKY-2800型掃描電鏡信號放大器電子槍聚光鏡掃描線圈 物鏡 試樣二次電子探測器顯示器掃描放大器圖2鏡筒V1閥樣品室擋板擴散泵離子泵機械泵離子泵手動閥主閥V5鏡筒閥V4放氣閥V6儲氣瓶熱偶規TC4冷規旁路閥V3TC3TC2TC1擴散泵前級閥V2抽氣管1nm550nm1001000nm5005000nm背散射電子空間分辨率X射線的分辨率背散射電子特征X射線二次電子二次電子俄歇電子連續X射線入射電子束電子束與物質相互作用及產生的信息圖4向冷卻阱中加入液氮。打開樣品室，向冷卻阱中加入液氮。打開樣品室，裝樣，關閉樣品室，抽真空裝樣，關閉樣品室，抽真空當真空指示燈

2、亮時，打開當真空指示燈亮時，打開V1閥，閥，加電壓至加電壓至20kV，電流加至，電流加至60A通過通過Z軸調節工作距離軸調節工作距離(最佳值為最佳值為12mm)調節調節X、Y軸，軸，尋求感興趣的樣品區域尋求感興趣的樣品區域做完后，將電流和電壓值回零，做完后，將電流和電壓值回零，將對比度、亮度值回零，將對比度、亮度值回零，放大倍數降到放大倍數降到100左右，關閉左右，關閉V1閥閥調整放大倍數并調焦調整放大倍數并調焦（要遵循高倍聚焦低倍照的原則）（要遵循高倍聚焦低倍照的原則）調節對比度和亮度，調節對比度和亮度，使樣品在顯示屏上顯示出來使樣品在顯示屏上顯示出來慢速掃描，照相，保存慢速掃描，照相，保存打開樣品室，取出樣品，打開樣品室，取出樣品，關上樣品室，抽真空，關上樣品室，抽真空，當真空指示燈亮時，當真空指示燈亮時，將儀器置于準備狀態，完畢將儀器置于準備狀態，完畢圖5 不同失效形 式的掃描圖像a

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