1、1姓名：姓名： 潘金全潘金全學(xué)號(hào)：學(xué)號(hào)： 14340410061434041006 題目：光纖光柵壓力傳感器題目：光纖光柵壓力傳感器光子信息技術(shù)光子信息技術(shù)1. 壓力傳感器 在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，壓力是進(jìn)行測(cè)量和控制的最基本參數(shù)之一。 力學(xué)傳感器的種類繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。電容式壓力傳感器電感式壓力傳感器壓阻式壓力傳感器工程上常用的幾種壓力傳感器1.1.液柱式壓力計(jì)液柱式壓力計(jì) 液柱式壓力計(jì)是以流體靜力學(xué)原理來(lái)測(cè)量壓力的。它們一般采用水銀或水為工作液，用U型管或單管進(jìn)行

2、測(cè)量，常用于低壓、負(fù)壓或壓力差的測(cè)量。2.2.彈性式壓力表彈性式壓力表 彈性式壓力表是以彈性元件受壓后所產(chǎn)生的彈性變形作為測(cè)量基礎(chǔ)的。它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉，現(xiàn)場(chǎng)使用和維修都很方便，又有較寬的壓力測(cè)量范圍，因此在工程中獲得了非常廣泛的應(yīng)用。3.3.壓阻式壓力傳感器壓阻式壓力傳感器 壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件壓阻元件，是基于壓阻效應(yīng)壓阻效應(yīng)工作的。所謂壓阻元件實(shí)際上就是指在半導(dǎo)體材料上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，當(dāng)它受外力作用時(shí)，其阻值由于電阻率的變化而改變。該傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)是體積小，結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，靈敏度高，能測(cè)出十幾Pa的微壓，它是一種比較理想的壓力傳感器。但是，這

3、種傳感器測(cè)量準(zhǔn)確度受到非線性和溫度的影響，從而影響壓阻系數(shù)的大小。2 光纖壓力傳感器p除了上述幾種傳統(tǒng)的壓力傳感器p光纖光柵壓力傳感器能夠克服傳統(tǒng)電磁類壓力傳感器的應(yīng)用局限性,具有本質(zhì)安全防爆，耐腐蝕,抗電磁干擾能力強(qiáng)，信號(hào)傳輸距離遠(yuǎn)，易于實(shí)現(xiàn)壓力的多點(diǎn)分布式測(cè)量和長(zhǎng)期在線監(jiān)測(cè)等優(yōu)點(diǎn)。2.1光纖光柵的結(jié)構(gòu)p它是利用光纖材料的光折變效應(yīng)光折變效應(yīng)，用紫外激光向光纖纖芯內(nèi)由側(cè)面寫(xiě)入,形成折射率周期變化的光柵結(jié)構(gòu)，這種光柵稱之為布喇格（Bragg）光纖光柵。p根據(jù)光纖光柵的耦合模理論,當(dāng)一束寬帶光入射到光纖光柵中時(shí),折射率的周期性結(jié)構(gòu)使得某特定波長(zhǎng)的窄帶光被反射,反射光的波長(zhǎng)滿足Bragg散射條件：

4、effBn2其中：B為Bragg波長(zhǎng)（即反射光的中心波長(zhǎng)）； 為光柵周期； neff為光纖光柵的有效折射率； 由上式可知,光纖光柵反射光的中心波長(zhǎng)(光纖光柵波長(zhǎng))主要取決于光柵周期和有效折射率neff 。光纖光柵結(jié)構(gòu)示意圖effBn2p當(dāng)光纖光柵感受到外界環(huán)境溫度T或應(yīng)變發(fā)生變化時(shí)，會(huì)引起光柵周期和有效折射率的變化，從而引起反射光波長(zhǎng)的偏移。p因此，通過(guò)檢測(cè)光纖光柵反射光波長(zhǎng)的變化，即可獲知外界溫度或應(yīng)變信息，這就是光纖光柵傳感的基本原理。3. 光纖光柵的應(yīng)力特性當(dāng)外界有應(yīng)力作用于光纖光柵上時(shí)，就會(huì)使光纖光柵被機(jī)械性的拉長(zhǎng)而改變其光柵常數(shù)，可以表示為：式中x為考察點(diǎn)處軸向應(yīng)變。x彈光效應(yīng)使得光

5、纖光柵折射率光纖光柵折射率發(fā)生變化：xeeffeffPnn其中，Pe為彈光系數(shù)p 上式即為光纖光柵的波長(zhǎng)變化波長(zhǎng)變化與外界應(yīng)變外界應(yīng)變之間關(guān)系的表達(dá)式；p 式中K為纖光柵的應(yīng)變靈敏度系數(shù)，其大小與光纖材料密切相關(guān)，由光纖的彈光系數(shù)、有效折射率和泊松比決定。 fhBFGl2d光柵p下圖的光纖光柵應(yīng)變傳感器是一種懸臂梁應(yīng)變調(diào)諧機(jī)構(gòu)。p當(dāng)光纖的材料確定后，K即為常數(shù)，光纖光柵波長(zhǎng)變化光纖光柵波長(zhǎng)變化與外界應(yīng)變外界應(yīng)變成一次成線性關(guān)系，因此，可以通過(guò)檢測(cè)光纖光柵中心波長(zhǎng)的偏移即可獲知外界的應(yīng)變信息。p也由光纖光柵的應(yīng)變計(jì)算出傳感光柵的波長(zhǎng)變化 光纖光柵波長(zhǎng)懸臂梁調(diào)諧曲線1546.01547.01548

6、.01549.01550.01551.01552.00123456789波長(zhǎng)調(diào)諧曲線y = -0.3710 x+1551.0 R2 = 1.0000刻度波長(zhǎng)(nm)1520253035401537.851537.861537.871537.881537.891537.901537.91波長(zhǎng)/nm高度/cmY = 1537.95814 - 0.00283 * XR=-0.99947FBG中心波長(zhǎng)隨壓強(qiáng)增加的響應(yīng)曲線4. 纖光柵壓力傳感器（1 1）根據(jù)實(shí)際壓力測(cè)量的需要，纖光柵壓力傳感器可分為）根據(jù)實(shí)際壓力測(cè)量的需要，纖光柵壓力傳感器可分為p彈簧管式光纖光柵壓力傳感器p膜片式光纖光柵壓力傳感器；（

7、2 2）共有的特點(diǎn)：）共有的特點(diǎn)：p結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易加工生產(chǎn)；p傳感器間易于串接，方便復(fù)用；p具有溫度補(bǔ)償功能，測(cè)量結(jié)果不受溫度影響;p穩(wěn)定性，可靠性好（1）彈賛管式光纖光柵壓力傳感器彈賛管式光纖光柵壓力傳感器p光纖光柵1和光纖光柵2沿著中心軸線分別粘貼在彈簧管前后表面上。p感應(yīng)彈簧管在被測(cè)壓力作用下產(chǎn)生彈性變形，光纖光柵也會(huì)產(chǎn)生應(yīng)變。p由于溫度變化引起的兩個(gè)光纖光柵的波長(zhǎng)漂移方向相同,以兩個(gè)光纖光柵的波長(zhǎng)變化差作為壓力測(cè)量信號(hào)，不僅可以提高了壓力靈敏度,而且壓力測(cè)量結(jié)果不受溫度變化的影響。p彈賛管式光纖光柵壓力傳感器的固有頻率較低，適用于氣體或液體靜態(tài)壓力的測(cè)量。p將兩個(gè)不同中心波長(zhǎng)的光纖光柵粘貼在膜片的相應(yīng)區(qū)域上；p即其中一個(gè)光纖光柵粘貼在膜片的中心位置,檢測(cè)膜片上的中心正應(yīng)力；p另一個(gè)光纖光柵沿徑向粘貼在距膜片中心點(diǎn)半徑除以 到膜片邊緣之間，檢測(cè)膜片上的徑向負(fù)應(yīng)力，以兩個(gè)光纖光柵波長(zhǎng)差作為測(cè)量壓力的傳感信號(hào)。p由于溫度變化引起的兩個(gè)光纖光柵的波長(zhǎng)漂移方向相同,差動(dòng)式的測(cè)量信號(hào)消除了溫度對(duì)壓力測(cè)量結(jié)果的影響,同時(shí)還提高了傳感器的測(cè)量分辨率。p平面膜片結(jié)構(gòu)光纖光柵壓力傳感器,具有良好的動(dòng)態(tài)特性,可用于氣體或液體靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力的測(cè)量。（2）平面圓膜片的光纖光柵壓力傳感器平面圓膜片的光纖光柵壓力傳感器5. 總結(jié)纖光柵壓力傳感器