1、中國大陸已有100多家從事微米納米技術研發的組織。同時,有超過50家的MEMS 企業在近五年里成立和發展。其中,有兩家具有代表性的企業:1、重慶金山科技(集團開發了無線膠囊內窺鏡系統,年銷售量達到數萬臺,并且銷售數百臺大尺寸的生產設備。該公司擁有多項高技術方案,包括硅基微泵,膠囊內窺鏡等,年產值達數億人民幣。2、位于江蘇無錫的美新半導體有限公司(MEMSIC發明了基于標準CMOS工藝的ME MS-IC加工工藝及相關測試技術,開發了20多種加速度傳感器并已大規模生產,月產量達500萬并應用了30多項專利。美新公司已于2007年12月15日在納斯達克上式,融資1億美元,市值達到2億3千萬美元。3、

2、作為本土MEMS公司的典型代表,蘇州敏芯微電子技術有限公司以其先進的技術、強大的資源整合能力以及新穎的商業模式尤其值得被關注。與多數MEMS初創公司采取獨立設計、制造外包的Fabl ess(無生產線IC設計公司模式不同,敏芯始終把自己定位為本土MEMS技術的輸出者及MEMS產業資源的整合者。敏芯的核心技術從硅麥克風器件模型的建立、工藝制程到封裝及測試均為獨立研發。技術研發而非組織生產是敏芯的靈魂,所以敏芯樂于與傳統的半導體廠商分享其技術成果,共同培育MEMS產業鏈。國內MEMS 現狀(zz今天在網上看到一篇文章,把國內MEMS發展現狀總結了一下。個人感覺他總結的比較全面,但是具體對不對,有沒有

3、參考價值,我就真不太知道了。1、國內MEMS界的第一牛人當數復旦大學的鮑敏杭鮑老師。鮑老師做傳感器做了十多年了,有深厚的理論基礎和實際經驗,目前是S&A和JMM兩本雜志的refree吧,不知道是不是JMEMS的refree。印象中記得好像當過MEMS conference的審委。復旦現在是國內壓阻方面的大拿,出了很多壓阻方面的人才。想想復旦的條件和他們做的成果,很是讓人佩服。2、國內目前(MEMS工藝條件最好的當數北大,尤其是深槽刻蝕技術,已經張大成老師摸的很透徹,是世界水平。但是別的就一般了。北大的幾樣法寶:深槽刻蝕機,雙面光刻機,和一套鍵和設備。目前已經開發出國內很流行的兩套體硅工

4、藝和一套單層多晶硅的表面硅工藝。但是北大做MEMS比較晚,97年才開始做 MEMS。所以基礎還比較薄弱,沒有深厚的功底。北大目前在MEMS CAD方面也做了很多的工作,主要是973項目的任務。但是它的主要優勢還是在加工工藝上。3、清華做MEMS的有微所和精儀的兩撥人,都做的不錯。清華微所和東南大學是國內最早做MEMS的單位之二,所以基礎比較雄厚。但是清華的硬件設施很好,所以也就能做出一些比較好的東西。象Microphone發表在JMEMS上,據我所知那是大陸唯一一篇發表在JMEMS上的文章。清華的主要目標好像是系統集成方面,在這方面投入的精力比較多。雖然清華微所沒有專門的mems工藝線,但是清

5、華微所的IC工藝線就是國外的大學也羨慕不已。所以清華微所有深厚的根基,良好的設備,充足的人才,前途遠大。至于清華精儀系,周兆英老師做的微泵也很厲害,發表在MEMS Conference上。另外精儀系在測試方面也很有一套。也屬于很牛的級別。補充一下,清華的高鐘毓老師也是很牛的,這篇文章里面沒有提。我的導師曾經帶領我們去高老師那里參觀過。高老師是一個很謙虛的人,我的論文評閱人就包括高老師。4、上海冶金研究所和北大一樣,都是MEMS方面的暴發戶,尤其抱上了江公子這條粗腿,近來在國內要風有風,要雨有雨,很是讓人嫉妒。目前該所在 MEMS方面發展飛快,也有一定的加工能力,測試也搞的不錯。將來有可能成為國

6、內MEMS的第一牛。因為有錢,就買的起設備,加上冶金所本來做IC的基礎,和充足的人才,我估計他以后會很牛的。5、交大從一開始就比較悲慘,選了LIGA做研究方向,注定了他的坎坷命運。我去過他們的實驗室,條件不是很好。不過他們的陳笛老師還是想了很多辦法,也做了很多事情。但是我不看好交大,我認為他們的LIGA做不下去,他們可能會向別的方面轉移。6、該說說東南了。東南大學是國內最早做MEMS的單位之一。想必大家都知道黃慶安老師的小黃書了,到目前為止還是國內最好的MEMS中文參考書。據說當年黃老師貼了1萬元出版此書。不能不說黃老師是國內MEMS的先驅。但是東南大學沒有資金,這也是東南一直也沒有在MEMS

7、方面發展的很壯大的原因。據說,東南現在把重點放到了不太耗資金的MEMS CAD方面。不能不說黃老師眼光獨具。7、說了東南,再說說西安交大。西安交大也有在做MEMS的,做的也比較早,但是一直也沒有做起來。我只知道他們在壓電方面做過一些不錯的東西。8、再說說別的學校。哈工大也在做MEMS,但是給我印象比較深的是他們在電化學腐蝕方面好像在國內比較領先,別的沒有什么很深的印象。中科大也在做 MEMS,但是我對它一點也不了解。另外還有很多學校在做MEMS,北理工,北工大,華南理工等等,但是都不是很成氣候。好像北理工在軍事方面說話比較有份量。以前的電子工業部的幾個所也在做MEMS,做的最好的就是13所,有

8、一定的加工能力。比較有名的就是做的那個熱對流式的加速度計,雖然沒有什么新意,但是據說比加拿大做的好。也是目前為止好像國內MEMS器件里離市場最近的。另外,24所也在做集成式的電容器件,目前還沒有令人鼓舞的消息,24所的優勢在于他的電路優勢。26所的壓電研究是國內一流的。長春光機所也在做MEMS的一些東西,不過不是很清楚。中科院聲學所和電子所也開始MEMS了,他們買了鍵和設備,而且電子所本來就有一個氣體傳感器的國家重點實驗室,加上升學所在SAW 方面的實力,他們在SAW傳感器和超聲噴墨打印頭上會有所突破。他們好像還做場發射的東西,這個東西北理工和光機所都在做。未來趨勢:兩大基地,上海和北京。上海

9、冶金所是上海的加工基地,以此為依托,復旦,交大,東南會圍繞上海冶金所做一些東西。北京也許會崛起兩個MEMS工藝線,北大和清華。不過我覺得北大還是最有可能成為國內的MEMS foundry的。將來的綜合實力將是清華和冶金所最牛,北大的加工能力最牛,復旦的理論最牛,東南也是實力派。別的單位就要差一點了。將來國內的標準MEMS工藝肯定會有深槽刻蝕的一席之地,這也是國內工藝水平中唯一一個可以在世界上說說話得東西。中國的一些公司和研究機構多年前便已開始MEMS技術研究并重視其巨大的市場。中國科學工作者在MEMS技術的研究和推廣上也取得了相當大的成就。據有關資料介紹, "九五"期間,通

10、過微齒輪、微泵、微電機、微馬達、微型飛機和微型陀螺等研究,中國科學家提出和發展了由于尺度效應而產生的微機械學。他們發現:有的宏觀脆性材料在納米尺度時具有很強的塑性;流體在微管流動中,液體的表面張力和對管壁的附著力已不可忽略;在納米加工及其表面質量分析中,必須考慮原子間的結合力及量子效應。中國科學家還創造性地發展了微細電火花加工、三維半導體加工和深層刻蝕(LIGA等微細加工工藝,以及掃描遂道、原子力顯微鏡等納米測量技術,部分成果已達到國際先進水平。此外,MEMS技術已開始在中國的社會生活中發揮作用,如微操作機器人已開始用于生物工程中的細胞分割、顯微手術和生物芯片的制造工藝中;微傳感器已經用于飛行

11、器的加速度、壓力等參數的實時測量;納米薄膜潤滑技術已用于"長征三號"火箭和計算機硬盤的制造工藝上。MEMS技術的研究涉及微電子、材料、物理(力學及流體力學等、化學、生物、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、原子、表面等物理學的各分支,乃至化學、生物、醫學和儀器等各領域,學科交叉很強,研究難度較大。盡管MEMS技術有微電子技術支撐,但它必須進行微機械所特有的三維加工,而且要求與集成電路工藝兼容,要完全解決好這一問題也有一定的難度。此外, MEMS器件及系統的設計加工與傳統的設計加工不同。傳統的設計加工思路是從零件到裝配最后到系統,是自下而上的方法。 MEM