1、防靜電檢測規范1、目的:2、適用范圍:3、定義4、職責目錄錯誤!未定義書簽。錯誤!未定義書簽。錯.誤.未定義書簽。錯.誤.!未定義書簽。5、程序151.56、相關文件和記錄 7、附錄5、程序5.1 測試方法：5.1.1 測試環境：環境溫度23石C ,相對濕度40% 70%5.1.2 測試儀器使用方法5.1.2.1 靜電場測試儀（TREK520靜電場測試儀是感應式的，該儀器表面有2個按鍵：POWER'、RANGE/ZERO'、HOLD”,按POWER'鍵開機/關機。該儀器有兩個量程：02KV、020KV,可通過按RANGE/ZERO鍵進行切換。當顯示3位小數時，量程范圍為

2、02KV;當顯示2位 小數時，量程范圍為020KV。每次測試時都應進行讀數清零工作， 方法為：將sensor對準一個已知的電壓 為0V的導體上，按 RANGE/ZERO'鍵至少3秒鐘。為保證測試值的準確性，測試時人體必須戴靜電環或穿防靜電鞋。測試前，先將待測物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每 分鐘120次的速度，施加適當的壓力（24千克力），單向摩擦待測物表面 20 次，然后用儀器測量電壓（senor距離被測物表面的距離為2.54CM及兩個紅燈重 合在一起），將顯示的讀數乘以1000即得實際的電壓值，例如讀數為.018”，則 實際電壓為18V。5.1.2.

3、2 表面電阻測試儀（ACL-385）ACL-385為簡易表面電阻測試儀，該儀器兩個測試電極間距根據標準不變，測試時將被測物放于絕緣的平面上，表面電阻測試儀平置在材料表面上，手指施加適當壓力（24KG）于測試按鈕上，使測試電極與材料表面接觸良好，指示燈發亮檔即為讀 數。如果被測材料為軟性材料，可施加 46kg的壓力進行測試。5.1.2.3 接地電阻測試儀（EMI-20780）EMI-20780可以測試點對點電阻（RTT）,接地電阻（RTG、體積電阻，和表面電 阻率，配套兩點測試電極可測量微小物體表面電阻.測試范圍為：1x 103? - 1012?; 測試電壓為：10V或100V+/-5%;測試精

4、度為：+/-10%;測試時間為15秒；測試時： 把2條連接線分別插入測試表上端的“ A”插口注意白色連接線和黑色連接線的插 頭不同，不要插錯.然后連接線另一端分別插入點對點重錘電極；按下“ D”測試按 鍵15秒，這時LCD屏幕按順序顯示如下：華氏溫度攝氏溫度相對濕度電阻值所采用的測試電壓電阻測試結果由“B”顯示屏和C”冥教ED指示燈共同顯示，例如電阻值為175, 000,000 Q,顯示如下:1.75顯示在B”顯示屏上同時C” LED旨示燈的8會亮，表示測試結果為：1.75 x 102。如果LCD顯示屏顯示“1 1,說明超過該儀器測試范圍。測試電壓為10V或100V,按下F”鍵采用10V電壓測

5、試，如果不按下“F”鍵儀器會根 據不同測試材料自動選擇測試電壓.阻值在105。以下時采用10V測試電壓，阻值在106 Q以上時采用100V測試電壓5.1.2.4人體綜合電阻測試（腕帶測試、鞋測試）測試步驟：1 .員工進入車間前應首先確認靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測試儀的左右兩個金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測試儀面板的手環插口。2 .掃描工卡后，電腦會顯示你的身份資料，同時儀器的LCD面板提示“請您按 下測試鍵”。手指按下測試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸）開 始測試，3秒后儀器將測試完畢。3 .如果受測對象合格，儀器“嘟”長響一聲，同時儀器的

6、LCD面板顯示“通過”， 如果測試不合格，儀器”嘟嘟嘟嘟”短8聲，同時儀器的LCD面板顯示“不 通過”嚇通過時可連續測試4次，若還是不合格，員工立即到IPQA處更換。4 . IPQA應維持測試秩序并監督每位員工的測試過程。5.1.2.5接地樁電阻測試儀（ZC29B型號）1 .沿被測接地極E'使電位探棒P'和電流探棒C'依直線彼此相距20米，且電位探棒P'系在E和C之間。2 .國鈕接5m導線，訓鈕接20m導線，C端鈕接40m導線。3 .將儀表放置水平后檢查檢流計是否指零，否則可將零位調正器調節零位。4 .將“位率標度”置于最大倍率慢慢轉動發動的搖把，同時旋動電位器

7、刻度盤，使 檢流計指針指“0”。5 .當檢流計的指針接近平衡時，加快發電機搖柄轉速，使其達到每分鐘150轉。再轉支電位器刻度盤，使檢流計平衡，此時刻度盤的讀數乘以倍率檔即為被測接地電阻數值。6 .當刻度盤讀數小于1時應將倍率開關置于較小倍率，重新調整刻度盤以得正確 讀數。7 .當測量小于1歐的接地電阻時，應將2個嗣的聯結片打開，分別用導線聯接到 被測接地體上，以消除測量時聯接導線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8 .當檢流計的靈敏度過高時，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當檢流計靈敏度 過低時，可沿探棒注水使其濕潤。5.1.2.6 離子風機測試儀（3M-718 /3M-718A ）1、打開測試儀（

8、718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產生儀“ +”按鈕和測試儀HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應大于+1000V” 。2、在離子風機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯示 值應大于-40V小于+40V。3、打開測試儀（718）電源，將測試儀（718）金屬板一端與靜電產生儀（718A）金屬端相連接，同時按下靜電產生儀“-”按鈕和測試儀HOLD”鍵，測試儀顯靜電值應小于-'1000V” 04、離子風機下不超過30cm處水平移動靜電測試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測試儀顯示值 應大于-40V小于+40V。5

9、、在檢測表中記錄顯示值，注明檢測日期，調節后的值。注意：要求平衡電壓為-400平衡電壓0 40V5.1.2.7 手腕監視器電容測試儀（SAML1800）:測試時，開關旋轉至“1801 FALL"卞3, SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發出報 警聲響；旋轉開關至“1801 PASS'卞3,SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發出報 警聲響。此為合格。5.2 測試項目5.2.1 靜電接地極電阻測試每半年使用ZC29B進行一次測試，要求靜電接地極對地電阻小于1Q將測試結果記 錄在ESD點檢記錄表格 中。5.2.2 設備、儀器接地電阻測試每月由ESM員或指

10、定人員用萬用表測試設備儀器接地電阻一次（新建工位或工位調整后 要立即測試）測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。1 .設備儀器接地電阻：設備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于 10Q。測試 頻率：每月。2 .電烙鐵：對使用中的電烙鐵進行接地電阻測試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10QO測試頻率：每天。5.2.3 靜電接地線接地電阻：每半年由廠務或指定人員對靜電接地線的接地電阻進行檢測。要求每條線都要測。測試方法：在每條靜電接地線上任意找一個點，將萬用表的一端連在這個點上，另一端 插在電源地線孔里。要求電阻值小于10 Q。測試結果記錄在ESDK檢記錄表格 中。5.2.4 防靜電工服P曰

11、程師或指定人員，每季度對員工的工衣用 EMI-20780測試儀進行測試，要求表面電阻 1X105?WR< 1 M09?（上衣做點對點、袖對袖、片對片測試，褲子做褲腳對褲腳、 點對點測試），每次全檢，測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。如檢測到 不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章，并郵件通知 該員工經理讓其當天之內到庫房更換。IPQA監督有無不合格靜電服流入產線。5.2.5 防靜電工作臺PEX程師或指定人員負責 每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻在 1 X1051 X109歐姆和接地電阻在1X1061 X109歐姆。每塊工作臺面測試3個點，將

12、測試結果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.6 地板由ESD#員負責每 季度使用EMI-20780測試儀測試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在1*1051*109?之間。每100平米地面測5個點（對于面積小于100平方米的獨立區 域如：IQC、RD實驗室、來料倉，每個區域要測5個點）。測試時兩個電極距離 為0.6米1米，測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。同時由廠務或指定人員每半年測試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*105-1*10 9Q之間。測試方法：將EMI-20780的一個電極放在地板上，另一端插入電源地線 插孔里。每100平米測試1個點。測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。5.

13、2.7 物流器具（如：周轉箱、周轉車、貨架）5.2.7.1 由ESM員負責每半年使用TREK52方口 EMI-20780測試儀測試一次，要求摩擦電壓小 于100V,周轉箱表面電阻：1X103?-1 X109?,每次每種器具抽檢，每1條線抽檢 10Pcs,如果有1Pcs不合格則全檢。測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。5.2.7.2 由ESM員負責每季度使用EMI-20780測試儀測試一次，要求周轉車，貨架 表面電阻小于1X109?,接地電阻在1X103?-1 X109?之間。測試結果記錄在ESD 點檢記錄表格中。5.2.8 腕帶、工鞋性能檢測操作類員工每日進入車間前要進行手環、工鞋測試，測試結

14、果由電腦自動保存，產線專門人員進行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進入車間前要進行工鞋測試，對于有可能接觸產品的職員（如生產主管、工藝、設備、質控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測試儀，測試記錄由電腦自動保存。如有測試不合格者需 立即到IPQA處更換。測試合格后方能進入產線腕帶系統電阻：800KQ10M Q;工鞋系統電阻：100KQ-35M Q。5.2.9 靜電場檢測由ESD#員負責每 季度使用靜電場測試儀（TREK520對車間各工位的靜電場強進行一次 測試，并將測試結果記錄在ESD點檢記錄表格中。測試要求：距工作臺30CM范圍內，靜電值要小于+/- 100 V5.2.10 離子風機測

15、試由ESD#員負責每季度使用3M-718與3M-718A對車間的離子風機性能進行測試，測試內容包括 平衡電壓”、消電時間”，并將結果記錄在ESD點檢記錄表格中測試要求：測試儀器距離離子風扇正前方30厘米；合格標準：1000V降到100V的消電時間小于3秒，平衡電壓絕對值小于40V。注：CPM要分別在正、負兩種充電狀態下測試5.2.11 防靜電工作椅子由ESM員負責每月使用EMI-20780測試儀測試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1 X105-1 X109歐姆之間，。將測試結果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中5.2.12 傳送帶測試由ESD專員負責每季度使用表面阻抗測試儀測試一次，要求表面電阻

16、在1 X105-1 X109歐姆之間。每條傳送帶測試3個點，將測試結果平均值記錄在ESD點檢記錄表格中5.2.13 手腕監視器測試由ES貝員負責每半年使用SAML1800校正儀對手腕監視器的電容進行一次。 測試不合格 立即更換。5.3 防靜電包裝材料的測試5.3.1 認證測試：首先要求供應商送樣給PE確認，同時附上產品的相關參數說明書或產品相關性能指標認定書，經PE驗證合格后方可采購。防靜電性能測試環境要求：溫度23i5C,濕度15S%測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環境模擬測試ESDB志PEgVVVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有機保護屏VVV緩沖材料VV屏敝袋VVVV

17、V防靜電膠帶VVVV防靜電防塵布VV打“避必測項目高溫測試：在溫度為60c ,濕度為15%的干燥箱內烘烤12天或在溫度為70c ,濕度為15%的干燥箱內烘烤8天，然后放于室溫存放24小時再進行表面電阻、摩擦電壓測試5.3.2 接收測試PE部門對所有無物料代碼的ESDffi料進行來料檢驗。不定期全檢。檢驗要求如下：防靜電性能測試環境要求：溫度23i5C,濕度4070%測試項目材料表面電阻摩擦電壓屏敝泄漏電壓高溫環境模擬測試ESDfc志PEgVV吸塑盒、物料盒Vp/pypy 汽珠袋、泡棉VV有機保護屏VVo緩沖材料VVo防靜電膠帶VVVV屏敝袋VVVV防靜電防塵布VV5.3.3 點檢測試由ESD、

18、組人員每個月使用表面阻抗測試儀對各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機玻璃屏進行抽檢。要求表面電阻在 1X104-1 X1011歐姆之間，摩擦電壓小于100V。每條線測試5Pcs,若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應物料。以上這些物料必須有防靜電標識才可投入產線使用，一經IPQA發現將沒收，找替代品或者做防靜電加工。5.4 各類防靜電物品、設施檢測指標測試項目摩擦電壓表向電阻系統電阻防靜電工服、工帽5_1 X10 ?WRs<91X10 ?工鞋1 M05?WRs<1 m 09?0.1 M06?wr<3.5X 107?麗,_.5 一內面V 1 X10 外面 > 1

19、X107 0.8X106?wR<3.5X 107?防靜電地板0.1 X106?<Rs<1 X109?0.1 X106?wr< 1X109?工作臺一 6-1X10 ?<Rs<91X10 ?0.75X106?wr<91X10 ?周轉箱、周轉 盒、托盤、料 盒、防靜電刷 子、防靜電鐐 子、防靜電推<100V3八 -1X10 ?<Rs<1 X109?車傳送帶1X106?<Rs<1 X109?防靜電工作椅1 X105?<Rs<1 X109?1 X106? < R<1 X109?PE<100V41 X10 ?<Rs< 1X1011?吸塑盒<100V4_1X10 ?<Rs<1X1011?汽珠袋、泡棉<100V4_1 X10 ?<Rs<1X1011?緩沖材料<100V1 X104?<Rs<1 m11 Q屏蔽型防靜電袋<100V4_1X10 ?<Rs<1X1011?防靜電膠帶<100V1 X104? & Rs< 1X1011?防靜電有機玻璃板<100V4-1X10 ?<Rs&