1、第九章：第九章：dust的舉動和測定的舉動和測定9.1 dust(Particle)的舉動9.1.1 重力落下運動9.1.2 慣性的運動9.1.3 靜電的附著9.1.4 與空氣分子沖突的布朗運動9.2 dust的測定9.2.1 particle counter9.2.2 測定的原理影響CR內的粒子運動的力有室內的氣流、重力、移動時的慣性力、帶電后的靜電產生的吸引力和阻力、與空氣分子的沖突等。挙動左右。浮力影響受力違。一般小重力影響受、気流乗浮遊。大、重力左右受、落下。、空気抵抗受、落下、空気抵抗空気圧力関係圧力高、抵抗大、落下。隨著氣流浮游的粒子中，氣流改變方向時，由于慣性力，其變化很難推定，

2、有些則和氣流分離。比如說，垂直流向wafer的氣流改變方向時，小而輕的粒子就會隨著氣流而改變方向，相反大而重的粒子由于慣性力，沒能隨著改變方向而是直接附著到wafer上面了。在日常生活中我們經常可以看到，dust會被帶電的物體所吸引粘在一起。周圍物體的帶電性越強，粒子越小，就越容易受到靜電的影響而變得容易附著。另一方面，粒子本身和空氣分子沖擊后也很容易帶電。粒子帶電的情況下，會受到很強的靜電影響。粒子越小，由于受到熱運動的周圍空氣分子的影響，與其沖突，就與四處擴散。這種現象稱之為布朗運動。；粒子越小，其擴散的范圍越大，越容易和氣流分離附著到wafer上。另外，由于布朗運動粒子會互相沖突，連接在

3、一起而變大。布朗運動中的粒子隨著擴散會漸漸地聚集在房間的四角。那么不同大小的粒子又會進行什么樣的運動呢？在本章中，主要是將布朗運動的擴散速度和重力落下速度進行比較。粒子越大，越容易受到重力影響快速的下降，相反粒子越小受到重力的影響很小，卻容易受到布朗運動影響而容易擴散。在維持管理CR的潔凈度方面，需要CR內粒子的信息，也就是說要正確地掌握粒子的大小和個數。在此我們學習測量空氣中粒子的方法。測量空氣中浮游粒子的裝置叫做particle counter。這種裝置是將所要測量空間的空氣吸入，采用光散亂的方式來測量粒子的大小和個數。能夠顯示counter的性能的代表性指數有三個，分別是粒子的大小，sa

4、mpling的空氣流量和計數效率。最近有一種可以每分鐘0.1立方英尺的吸引速度來測量0.05 的高性能的counter。但是人們卻多使用以每分鐘1立方英尺的吸引速度來測量0.1 的counter。其實在高性能的CR中，想要正確的測量粒子，就需要吸入更多的空氣。光散亂式particle counter，首先照射吸入進來的空氣，測定空氣中的粒子發出的散亂光。析出的散亂光被轉換為電子信號得出輸出脈沖，從而計算出粒子的個數和大小。作為光源一般多使用雷射光，多采用波長為633納米的helium neon laser 光。粒子的個數是根據輸出脈沖的個數，粒子的大小是根據輸出脈沖的強度來計算的。此時，計算粒

5、子大小時，需要一個根據曲折率決定的基準粒子，也就是通常所說的PSL，是曲折率為1.595的polystyrene latex 的球形粒子。也就是說和這個粒子產生的散亂光進行比較，來推定粒子的大小。實際上，每個粒子的曲折率是不一樣的，而且有著復雜的形狀，所以此時推定出來的大小未必與實際一致。Particle counter得出的測定值是將粒子看作某個大小的球狀粒子，得出來相對直徑。問題-1CR內的（ ）混亂后，CR中浮游的dust就會附著到wafer上。A；氣流B：人的活動C：溫度調整D：濕度調整問題-2管理CR內的dust所需要的信息有dust的大小和（ ）。A：重量B：形狀C；個數D：空間分布問題-3大的粒子受到（ ），開始重力落下運動。A：靜電B；空氣抵抗C：浮力D：慣性力問題-4Particle越小，受到周圍空氣分子沖擊后，就會四處擴散。這種活動稱之為（ ）。A：慣性運動B：散亂運動C；布朗運動D：沖突運動問題-5Particle越（ ），越容易受到靜電的影響互相吸附。A