1、中圖儀器 三維光學輪廓測量儀綜述三維光學輪廓測量儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數數據處理，實現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。三維光學輪廓測量儀典型特點：1）使用白光干涉測量技術，非接觸式、非破壞性、快速表面形貌測量與分析；2）臺階高度測量分辨率達0.1 nm ；3）可搭配黑白或彩色相機進行2D、3D顯示和測量功能；4）配置電動鼻輪，可同時掛載多種物鏡并程序化控制切換使用；5）采用雙光源模式，適應特殊樣品測量；6）測量范圍1

2、00 x 100mm（可按客戶定制尺寸）；7）配置低倍率物鏡（2.5 x和5X倍率），可進行大面積3D測量；8）提供多種表面參數測量功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗糙度、波紋度、 薄膜厚度及平面度；9）提供超過250多種各類參數（含 2D、3D ）計算；10）友好的人機界面，簡便的圖形化控制系統及3D圖型顯示;11）多種交換文件格式，可儲存與讀取多種3D輪廓文件格式；三維光學輪廓測量儀典型應用：對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進行測量和分析。行

3、業領域應用對象備注材料、精密加工行業合成材料、柔軟材料、易腐蝕材料蝕刻加工如硅納米線樣品化學蝕刻深度和面積測量非金屬表面如玻璃、砂輪、有色金屬如軸承鋼球、軋制鋁膜表面形貌特征測量分析汽車行業曲軸表面的粗糙度、腐蝕和磨損表面形貌、噴油嘴、機械密封特征測量分析液晶、平板顯示行業液晶顯示器、液晶間隔、液晶棱鏡薄片、藍寶石襯底、手機顯示屏生物醫學行業人造牙齒、人造皮膚、手術刀的表面粗糙度、腐蝕和磨損紋理等能源器件行業太陽能電池半導體、微電子行業薄膜和涂層厚度測量、晶元、大高深比硅通孔（TSV測量硅納米線表面形貌、芯片、PCB電子元器件、LEDSMEM微機電行業微機電硬盤讀頭、微機電打印機噴嘴光學行業光

4、學鏡片及鍍膜、微透鏡陣列、光學鏡面激光拋光信息存儲行業光盤、硬盤表面印刷造紙行業紙幣印刷和紙張表面應用范例:材料、精密加工能源器件3中圖儀器 IMIS 1 om#中圖儀器 生物醫學吧丫呂muz帀r-半導體、微電子莊表面蝕弼舞板分布“-hi-ii tn I. tIki F-.-r. T.啊亍：丁FZ' T'V； UK卜五障北酗kMEMS造紙印刷光學4中圖儀器 #中圖儀器 三維光學輪廓測量儀主要技術指標:光源白光LED;綠光LED影像系統1280X1024普通物鏡IX、2.5 X、5X、10 X、20 X、50 X、100 X、150 X干涉物鏡5X、10 X、20X、50 X、100X坡度小于42o物鏡座電控5孔物鏡轉盤光學ZOOM1 X 或 0.5 XXY移動平臺測量范圍：100 X 100mm （可根據客戶需要定制）精度：0.5卩m分辨率：0.01卩m負載：10kg控制方式：自動水平調整手動調整，土 4 °Z軸移動范圍：100mm 分辨率：0.01卩mPZT掃描行程：100（1 m分辨率：0.8 nm重復性：5nm掃描速度：w 301 m/s測量模式與精度垂直掃描VS；準確度（4.43 im臺階高）：0.75%重復性（4.43 im臺階高）：0.1%