1、星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司項目有限公司項目 環境影響報告書環境影響報告書 ( ( (簡寫本簡寫本簡寫本簡寫本) ) ) 委托單位委托單位委托單位委托單位: : : 星科金朋集成電路星科金朋集成電路(上海上海)有限公司有限公司 環評單位環評單位環評單位環評單位: : : 上海市環境科學研究院上海市環境科學研究院上海市環境科學研究院上海市環境科學研究院 證書編號證書編號證書編號證書編號: : :國環評證甲字第國環評證甲字第國環評證甲字第國環評證甲字第180118011801號號號號 200620062006 年年年年 101010 月月月月 星科金朋集成電路星科金朋集成電

2、路(上海上海)有限公司項目有限公司項目 環境影響報告書簡寫本環境影響報告書簡寫本 1 建設項目概況建設項目概況 1.1 項目名稱和項目名稱和位置位置 星科金朋集成電路(上海)有限公司項目 選址上海市松江試點園區西區臺積電公司內，臺電積公司廠址位于文翔路 北側，屬于上海市黃浦江上游水源保護區范圍。 松江區位于上海市區西南部，黃浦江上游，與閔行、金山、奉賢、青浦區接壤。 地處長江三角洲東北部，與“岡身”以西，是長江三角洲平原成陸較早的部分，松 江區城位于北緯 31，東徑 12114，距上海市中心約 40km。 項目所地的松江試點園區西片規劃范圍為西至斜塘，東靠油墩港，北到花辰 公路，南至滬杭鐵路。

3、 建設項目在上海市的地理位置見圖 1-1。 項目在松江工業區西區的地理位置和周邊環境見圖 1-2。 1.2 項目性質和規模項目性質和規模 本項目為新建項目，為外資獨資經營。以臺積電生產的 8 英寸芯片為原件， 在其上面的無數的集成電路上制作金凸塊，8 英寸芯片金凸塊月產 15000 片，其 中 4000 片再在金凸塊的上面電鍍鎳凸塊。 1.3 主要建主要建設設內容：內容： 表表 1-1 星科金朋集成星科金朋集成電電路路(上海上海)有限公司主要建有限公司主要建設設內容內容 序號設施名稱建設內容建設狀態 1生產設施金凸塊生產設施，包括電鍍金、鎳設施新建 2動力設施 純水制備、循環冷卻水、暖通及空調

4、凈化、化學品配制 與輸送、高（低）壓變配電 依托臺積電 3輔助設施 更衣室、技術管理、質量管理及產品開發、設備維修、備 品備件庫、原材料庫、成品庫及化學品庫等 新設 4環保設施廢水處理、廢氣處理、廢液、固體廢物回收、綠化維護依托臺積電 5安全設施消防設施、職業安全防護設施依托臺積電 6服務設施辦公樓、食堂、停車場依托臺積電 7室外工程排水管線、蒸汽管線、工藝物料外管線、高壓輸電線依托臺積電 、 n 圖圖 1-1 本本項項目在上海莘莊工目在上海莘莊工業業區的地理位置和周區的地理位置和周邊環邊環境境 星科金朋上海星科金朋上海項項目目 臺臺 積積 電電 本項目 長長 興興 港港 打打 鐵鐵 浜浜 佘

5、山國家旅游度假區佘山國家旅游度假區 彩色濾光片是液晶顯示器關鍵配套件之一，為配合上海廣電-nec 液晶顯示 器有限公司的投產，項目擬于上海市閔行區莘莊工業區（市級）上海廣電-nec 液 晶顯示器有限公司南側空地上建設。閔行區位于上海市中部，莘莊工業區位于閔 行區的顓橋鎮，中心城區外，本項目位于莘莊工業區的西南面，廠區西側為林地， 東距華寧路 200m，北與上海廣電-nec 液晶顯示器有限公司相鄰，南與聯農路相 接。廠區總占地面積 7.794ha，其中綠化面積 2.32ha。建設地點距上海中心城區邊 界外環線尚有約 7km 距離，地理位置優越。 1.2 公司股東公司股東 上海廣電富士光電材料有限

6、公司由上海廣電電子股份有限公司、占本項目 注冊資金比例為 75%；日本富士膠片株式會社，占本項目注冊資金比例為 25%等 2 家著名的中外大型公司投資組成。 工程總投資為 21.36 億元。注冊資本金額：1.0 億美元。 總投資中，設備投資 10.96 億元，環保投資 3000 萬元，環保投資占總投資 的 1.40%。 1.3 規模和規模和組成組成 (1) 生產規模 主要為上海廣電-nec 液晶顯示器有限公司第 5 代 tft-lcd 顯示面板生產 線配套，并承擔 oem 委托加工。 產能：彩色濾光片加工能力：玻璃基板 8 萬張/月。每張基板玻璃 1100mm1300mm，厚度：0.7mm。

7、(2) 建設項目組成 建設項目組成見表 1-1。 圖圖 1-2 本本項項目在松江工目在松江工業業區西區的地理位置和周區西區的地理位置和周邊環邊環境境 1.4 主要工藝方法 本工程采用的工藝路線簡化后如圖 1-3 所示。污染主要來自于電鍍金和電鍍 鎳。 圖圖 1-3 芯片金凸芯片金凸塊塊生生產產工工藝藝流程流程簡圖簡圖 2 建設項目對環境可能造成的影響建設項目對環境可能造成的影響 2.1 對環對環境空氣境空氣的影響的影響 2.1.1 環境空氣質量現狀 按照上海市環境空氣質量功能區劃，當地環境空氣執行環境空氣質量標 準(gb3095-1996)二級標準。 利用松江工業區區域環評資料描述當地環境空氣

8、質量現狀。項目區域環境 空氣質量良好，除徐莊監測點 pm10濃度略有超標外，其余監測點 so2、no2 、pm10、氟化物指標均達到國家環境空氣質量二級標準， hcl 濃度符合tj36- 79 工業企業設計衛生標準中的“居住區大氣中有害物質的最高容許濃度”一次 濃度限值要求，均符合項目區域環境空氣功能區要求。 芯片薄膜濺鍍光阻覆蓋曝光顯影電鍍金 光阻剝離光阻覆蓋曝光顯影 電鍍鎳 光阻剝離ti/w 蝕刻 檢查產品 2.1.2 擬采取的廢氣污染治理措施 星科金朋集成電路(上海)有限公司的環境保護措施，廢氣中有機廢氣利用臺 積電沸石轉輪濃縮、燃燒的方法進行處理后經 32m 排氣筒外排；酸性廢氣利用臺

9、 積電堿性噴淋洗滌塔處理后經 32m 排氣筒外排。 2.1.3 對環境空氣的影響預測 (1) 預測因子：本項目特征污染物 nmhc、voc、氰化物和鎳。 (2) 預測內容: 風速為 2.5m/s、1.5m/s 以及靜風時，b、d、e 穩定度下單個污 染源各污染物最大落地濃度及落地距離；東南風，風速為 2.5 m/s、1.5m/s 以及靜 風時，b、d、e 穩定度下各污染物一次濃度分布；熏煙條件下，各污染物一次濃度 分布；各環境敏感點的濃度增量。 (3)預測結果： 建設項目各排放源可能造成的污染物最大一次濃度貢獻值比較小。氰化 氫、鎳、nmhc、voc 的最大落地濃度分別為 5.7210-6mg

10、/m3、3.7610- 7mg/m3、5.8710-5 mg/m3、5.8710-5mg/m3，hcn、ni 最大落地濃度分別 占前蘇聯標準的 0.02%和 0.01%，nmhc 最大落地濃度占大氣污染物 綜合排放標準gb16297-1996 新污染源二級無組織排放監控濃度限值 的 0.001%，voc 最大落地濃度為室內環境空氣質量標準gb18883- 2002 中“8 小時均值限值的 0.01%。 氰化物、鎳一次濃度貢獻值遠遠低于前蘇聯標準的一次值和日均濃度要 求。 熏煙條件下氰化物最大落地濃度為 8.9310-7mg/m3，僅占前蘇聯標準的 0.003%，鎳最大落地濃度為 5.8610-

11、7mg/m3，僅占前蘇聯標準的 0.02%。 由預測結果可見，本項目的投產運行，不會改變各環境敏感點的大氣質 量等級。 2.2 廢水廢水 2.2.1 地表水環境質量現狀 根據上海市水環境功能區劃要求，長興港面丈港橋斷面屬于黃浦江上游水 源保護區，執行國家地表水環境質量標準(gb3838-2002)的 ii 類標準；而油墩港 老油墩港斷面執行 iv 類標準。對項目區域長興港面丈港橋斷面和油墩港老油墩 港斷面進行了水環境質量現狀監測結果表明，長興港面丈港橋水質參數超過了 規定的水質標準，已經不能滿足相應功能使用要求；油墩港水質參數符合規定的 水質標準，可以滿足相應功能使用要求。 2.2.2 廢水擬

12、采取的治理措施 廢水中含鎳廢水擬采用聚乙烯亞胺基乙酸陽離子環氧樹脂離子交換樹脂吸 附回收鎳，然后調節ph后與其他廢水一起再排向松江西部污水處理廠作進一步 的處理。含氰廢水擬先采用環氧樹脂回收廢水中的貴金屬金，接著用陽離子環氧 樹脂吸附氰，然后返回到水洗槽繼續作循環清洗水。其他清洗廢水因污染物濃度 極低，與其他廢水一起直接排向松江西部污水處理廠作進一步的處理。 2.2.3 對當地地表水的影響 本項目的廢水經處理達標后最終全部納入松江西部污水處理廠，對當地地 表水不產生污染影響 2.3 噪聲噪聲 2.3.1 環境噪聲現狀 按照城市區域環境噪聲標準適用區劃，當地環境噪聲執行城市區域環境 噪聲標準(g

13、b3096-93)iii 類標準。 根據臺積電廠界驗收監測資料，臺積電所在區域基本符合 3 類功能區要求， 只是在北廠界夜間出現超標現象，超標 1.7db(a)。 2.3.2 噪聲擬采取的控制措施 本項目借助臺積電的廠房，車間為房中房。工藝設備全部安裝在室內，噪聲 源低于 65laeq(db)，公輔設施全部依托臺積電，不會對廠界產生污染影響。 2.3.3 對廠界噪聲的影響 本項目為廠中廠，本身噪聲值不高，經車間建筑隔聲，噪聲值更低。經預測， 本項目新增噪聲源對東廠界和北廠界基本不產生影響，因此，本項目投產后，各 廠界晝間噪聲仍符合工業企業廠界噪聲標準iii 類標準要求；夜間噪聲由于北 廠界現狀

14、噪聲超標，造成本項目投產后北廠界夜間仍超標，北廠界北面為工業區 預留工業用地，1000m 范圍內已無敏感目標，因此基本不會對周邊環境造成污染 影響。 2.4 固體廢物固體廢物 對于各類固體廢物，本著資源化、無害化、減量化的理念進行處置。對于危 險廢物，分類收集后委托給經上海市環保局審核確定有危險廢物處理資質的上 海潔申實業有限公司、蘇州順惠公司和蘇州貴金屬回收有限公司集中處置。生活 垃圾由松江工業區環衛部門清運，可回收的 ti/w 靶材、au 靶材等交光洋化學 材料回收。 3 預防或者減輕不良環境影響的對策和措施預防或者減輕不良環境影響的對策和措施 3.1 環環境空氣境空氣污污染防治染防治對對

15、策建策建議議 項目產生有機廢氣、及酸性廢氣，工程設計上采取相應的沸石濃縮轉輪吸附 +燃燒和濕式酸堿洗滌的處理凈化技術，有關廢氣污染物的排放濃度遠低于國家 排放標準，其技術上是可行的，但在工程設計和運行時必須確保濕式酸堿洗滌塔 水流的連續性，均勻性及保證廢氣與吸收液接觸時間氣、液接觸時間；在有 機氣體燃燒裝置重要保證有足夠的燃燒溫度和氣體在爐內的充分停留時間，以 確保有機廢氣能在燃燒爐內充分燃燒變為無害的 co2和水。對于排氣中殘留的 有機污染物，要根據他們的熱分解或燃燒溫度，適當地控制燃燒爐溫度和氣體流 速，以保證排氣中各類有機污染物濃度達標。 對廢氣凈化裝置處理，應制定管理規程，定期檢修，確

16、保凈化系統正常運行。 3.2 廢廢水水污污染治理染治理對對策建策建議議 本項目金電鍍廢水采用離子交換后循環使用，但后續清洗廢水因污染物含 量低而直接排入松江西部污水處理廠。清洗廢水中含有少量的重金屬 pb 和氰離 子，這兩種物質均能使微生物中毒，從而影響污水廠處理效果，因此對這兩種物 質都有進水限制濃度。根據工程分析，這股廢水的 pb 和氰離子濃度均低于污水 廠進水限值。為保證污水廠正常運行，建議對這部分廢水進行監測，以保證這兩 種污染物濃度不超過進水限值。 為確保污染防治設施正常運行，建議設置中央監控控制和傳感器系統，整個 廢水處理系統的自動控制均應由 plc 程序控制，ph 及流量自動控制

17、，以嚴格控 制處理后的廢水排放要求，避免人工操作可能產生的人為污染事故。 為避免廢水處理站的機電設備在運行中發生故障，導致水污染事故的發生， 廢水處理站中的有關機電設備擬采用一用一備方式。工程設計時應考慮回流處 理緩沖能力。 廢水處理應急措施設計時，應合理確定工藝參數，在主要水工建筑物的容積 上留有緩沖池并配備優質處理設備。 3.3 固體固體廢廢物、物、廢廢液液污污染染對對策建策建議議 推行清潔生產，實施廢物減量化是當今國際上工業污染預防和企業推行環 境保護工作的趨勢，符合我國環境保護的現行政策和總體戰略目標，是實行源頭 削減和全過程控制的主要措施和基本發展方向。本項目排放的固體廢物、廢液有

18、17 種，每年產生 84.86t，其中危險廢物占了大部分，種類多且量大，一定要加強 管理，并制定減量化計劃。 4 環境影響評價環境影響評價結論結論 4.1 與國家與國家產業產業政策的一致性政策的一致性 星科金朋集成電路(上海)有限公司的主產品為 8 英寸芯片 0.35 微米集 成電路制作金凸塊，屬于國家發改委 2004 年 11 月 30 日公布的第 24 號令外商 投資產業指導目錄確定的鼓勵類“集成電路設計與線寬 0.35 微米及以下大規模 集成電路生產”和 2005 年 12 月 2 日公布的第 40 號令2005 年版產業結構調整 指導目錄中確定的鼓勵類“線寬 1.2 微米以下大規模集成

19、電路設計、制造”，因此 本項目與國家相關產業政策是相符的。同時也符合上海市 2003 年修訂的上海 工業產業導向及布局指南中鼓勵類：“一、電子信息產品制造業”中的“線寬 0.35 微米以下超大規模集成電路”。因此，本項目建設符合國家技術進步和工業發展 產業政策要求。 同時，為 8 英寸芯片 0.35 微米集成電路制作金凸塊的工藝之一氰化金 鉀電鍍，為含氰電鍍工藝，屬于2005 年版產業結構調整指導目錄中確定的淘汰 類“一、落后生產工藝裝備”中“含氰電鍍工藝（電鍍金、銀、銅基合金及予鍍銅打 底工藝，暫緩淘汰）”。 要求星科金朋集成電路(上海)有限公司承諾僅過渡性采用氰化金鉀鍍金工 藝，一旦有成熟

20、的無氰電鍍工藝出現，星科金朋集成電路(上海)有限公司將立即 無條件地更換采用無氰工藝。 4.2 規劃相容性規劃相容性 根據上海市城市總體規劃，上海共設有 17 個市級以上開發區，其中松江 試點園區是其中之一。規劃要求松江試點園區西部園區為微電子產業基地，與張 江、金橋、外高橋組成的浦東微電子產業帶和漕河涇新興技術開發區組成核心的 上海微電子產業產業基地，形成軟件設計開發和集成電路生產、封裝、測試等完 整的產業鏈，建成全國規模最大、技術領先、世界水平的集成電路生產和研發基 地。 星科金朋集成電路(上海)有限公司屬于微電子產業，公司選址符合上海市工 業向園區集中的產業布局規劃要求，公司的產業類型與

21、松江試點園區產業功能 劃分是相吻合的。 4.3 清清潔潔生生產產水平水平 本項目的產品為經電鍍形成金凸塊后的芯片，該芯片 95%應用于液晶顯 示器驅動 ic 封裝，5%用于智能卡與大眾卡產品。隨著京東方、上廣電、龍騰、天 馬等 tft-lcd 面板廠的建立和在建，對于 lcd 控制和驅動 ic 的需求數量激增， 電鍍金凸塊后的芯片，是驅動 ic 的核心元件，屬于國家鼓勵類的產品。 本項目的生產工藝和設備是依據星科金朋母公司工廠的工藝和設備，由 臺灣等地引進。采用與星科金朋母公司工廠(簡稱 a 廠)的能源指標、廢氣污染物 排放指標和廢水污染物排放指標進行比較。本項目單位芯片上制金凸塊產品電 用量

22、小于 a 廠，純水用量略大于 a 廠。綜合能耗百片芯片金凸塊產品比 a 廠略 小，是 a 廠的 94.78%。單位產品廢水量本項目大于 a 廠 11%。單位產品廢氣排 放量與 a 廠相同。單位產品固體廢物產生量少于 a 工廠的產生量。 通過對本項目的原材料、產品、資源和污染物產生指標的綜合評價，本 項目建設清潔生產程度能達到清潔生產水平。 4.4 達標排放達標排放 本項目排放的廢氣、廢水污染物采取的各種處理處置措施均為成熟的、可行 的，且預計的污染物排放濃度和總量遠低于排放標準，經分析，全部能做到污染 物達標排放。 4.5 污污染物染物總總量控制量控制 本項目建成后，星科金朋集成電路(上海)有

23、限公司將有下列污染物排放，可 作為環保部門核定排污許可量時的參考。見表 4-1。 表表 4-1 星科金朋集成星科金朋集成電電路路(上海上海)有限公司有限公司污污染物排放量染物排放量匯總匯總(t/a) 項目污染物全公司排放量項目污染物全公司排放量 廢水量10325廢金電鍍液0.2 codcr0.788廢鎳電鍍液22 bod50.396廢金蝕刻液22.8 ss0.788廢光阻剝離液29 nh3-n0.066廢光阻液4 氰化物0.06kg汞燈汞燈9 支 pb1.176gti/w 靶材0.24 ni0.001au 靶材0.08 廢水 b0.172tiw 蝕刻槽濾心0.18 排氣量6912 萬 m3/a

24、顯影機濾心0.03 氰化氫2.64 kg/a金蝕刻機濾心0.18 鎳0.18 kg/a金電鍍機濾心0.03 nmhc24.3 kg/a光阻剝離機濾心0.006 工藝 廢氣 voc24.3 kg/a 固體 廢物 含金環氧樹脂0.27 含氰環氧樹脂0.27 含鎳環氧樹脂0.18 生活垃圾、廚余5.4 星科金朋集成電路(上海)有限公司為新建項目，沒有總量控制指標。污染物 排放總量額度將在“三同時”驗收后向市環保局進行申報。 4.6 環境風險環境風險 根據建設項目環境風險評價技術導則（hj/t179-2004）判定，本項目地處水 源保護區，環境風險評價等級為一級，主要風險源為氰化金鉀等的泄漏。 在廠內

25、或正常生產發生泄漏，因危險化學品庫、儲槽外和電鍍機外均建有圍 堰，不會對黃浦江水源保護區造成影響。 如果在化學品即將運入廠區時在運輸過程中運輸車輛發生車禍，則泄漏入 河的化學品會對地表水產生污染影響。臺積電旁的河流為長興港，與油墩港相通， 長興港河寬 20m，深 2m；油墩港，寬 100m，深 4-5m；若化學品落入長興港，再經 油墩港外排(完全稀釋)，則化學品達到地表水 ii 類標準時將污染油墩港水面長度 氰化金鉀為 160m，顯影液為 80-100m，碘化鉀為 30-40m。 4.7 公眾意見公眾意見 按照環境影響評價公眾參與暫行辦法環發200628 號要求進行公眾 參與，首先在上海熱線上

26、進行公示，網絡公示的頁面地址為： http:/ 建設時，周圍的居民均動遷出了工業區外，因此，在作了相關的公示之后，也采 取在網絡上進行公開調查。網絡調查的頁面地址為 http:/ 2006 年 8 月 3 日2006 年 9 月 17 日，總訪問人數達 4170 人，有效調查問卷 92 分。報告書初稿完成后， 編制報告書簡寫本在上海市環科院網站進行 10 天公示。 經調查顯示，項目知曉率為 75%，支持率為 73.91，反對率為 17.39。 反對的原因主要是認為國內芯片企業面臨調整和競爭，行業遭遇周期低谷，市場 前景不如以前樂觀，因此應有所控制。把芯片金凸塊生產和純芯片生產等同起來。 其次是

27、項目選址位于水源保護區，工藝過程中存在有電鍍，因此不符合上海市水 源保護法律法規的要求。 許多公眾提出了很好的建議和一些要求，希望本項目建設方能夠積極采 納這些建議和要求，在項目建設時予以實施。 a. 加強廢氣和廢水的治理工作，做到安全達標排放，萬無一失；同時電鍍廢 水必須做到零排放。 b. 加強安全管理，特別是生產工藝中的危險化學品和劇毒藥品的管理，杜絕 安全事故發生。同時加強新進員工的安全培訓。 c. 在條件許可的情況下，盡量多招聘本地員工。 4.8 總結論總結論 本項目在上海市市級工業區建設，從美國、臺灣引進設備，產品為在 8 英寸 芯片上的集成電路上制作金凸塊，廢氣全部經過處理達標排放

28、，預測顯示，排放 的廢氣污染物對環境不構成污染影響，也不改變當地環境質量等級；含氰廢水、 含鎳廢水不僅處理達標，而且微量，納管排放，不排入當地地表水；房中房內的設 備噪聲經建筑隔聲后不影響廠界噪聲功能區要求；固體廢物全部作資源化、無害 化和減量化處置；本項目具有節能、降耗、污染負荷低的清潔生產特征，符合國家 技術進步和產業發展政策要求的建設工程。因此，本項目從環境上分析是可行的。 5 公眾查閱環境影響報告書簡本的方式和期限，以及公眾認為必要 時向建設單位或者其委托的環境影響評價機構索取補充信息的方式 和期限 在上海市環科院網站上掛本項目環境影響報告書的簡寫本。 公眾查閱環境影響報告書簡本的時間

29、為 10 月 13 日至 10 月 23 日。 公眾認為有必要可向上海市環境科學研究院索取補充信息，其方式可通過電 話傳真和 e-mail，截止時間：10 月 23 日。 6 征求公眾意見的范圍和主要事項 主要征求公眾對于星科金朋集成電路(上海)有限公司項目環境影響報告書 簡寫本中、建設項目概況；、建設項目對環境可能造成的影響；、預防或 減輕不良環境影響的對策和措施；、環境影響報告書提出的環境影響評價結論 等四方面的意見或看法，對本項目環境影響評價工作的建議；對本次報告書簡寫 本公示形式的建議。 7 征求公眾意見的具體形式； 在公眾看到本項目環境影響報告書簡寫本以后，公眾可通過向指定地址發送 電子郵件、電話、傳真、寫信或者面談等方式發表關于該報告書簡寫本及環評工 作結論的意見看法。 上海市環境科學研究院：證書等級：甲；證書編號：國環評證甲字第 1801 號 地址：上海市欽州路 508 號；郵編：200233；傳真：54485031 聯系人：王彪，電話：(021)640851192615