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Headline Acery LS1500 基于B1500A/1505A的FET器件測試自動測試系統解決圓片級半導體器件直流參數全自動測試問題北京航天新銳科技有限責任公司IMAGE OF SOLUTIONBody Copy系統概述隨著市場對半導體功率器件需求量的增加，傳統的測試封裝功率器件的方法已經不能滿足市場量的需求，功率器件的測試逐步延伸至晶圓片級的測試，從而為半導體器件生產質量提高及生產工藝改進提供大量測量數據。LS1500系列圓片級半導體器件直流參數全自動測試系統有兩個系列型號：LS1500A和LS1505A。LS1500A和LS1505A系統典型配置見表1：型號LS1500ALS1505A測量儀器B1500A半導體器件分析儀B1505A功率器件圖示儀/分析儀B1510A高功率模塊B1510A高功率模塊B1511A中功率模塊B1512A大電流模塊E5250A低泄漏矩陣開關E5250A低泄漏矩陣開關E3631A程控電源E3631A程控電源LS1500-00系統電纜LS1500-05系統電纜其它設備探針臺（第三方產品）探針臺（第三方產品）B1505A功率器件圖示儀/分析儀和B1500A半導體器件分析儀是是德公司生產的在半導體測試領域的功能強大的測試儀器，可以根據需要選配不同的測試模塊，以適應不同器件的測試需要。E5250A低泄漏矩陣開關在LS1500自動測試系統中的作用是實現了多通道的自動切換功能，使得B1505A/B1500A的高品質特性得到完美延伸。LS1500自動測試系統將B1505A/B1500A、低泄漏開關矩陣E5250A及探針臺完美地結合在一起，客戶僅在EasyFET軟件上設置一個或多個測試項目，即可完成整個圓片的直流參數的全自動測試，測試結果形成測試報告，并完成圓片的打點工作。系統特點通過系統輸出的高電壓、大電流，精確評估功率器件的輸出特性隨輸入電壓電流的變化情況；測試參數涵蓋了半導體線性工作特性和其截止區工作特性，直流條件和脈沖條件下的工作特性；測試過程中，可以根據每個參數不同的測試特點，切換系統中不同模塊的輸出參數，從而保證全部測試參數連續測試，提高了測試效率；系統具有數據回放功能，方便測試數據分析；參數測試、測試報告、圓片打點可以全自動完成；EasyFET生成的圓片圖與探針臺圓片圖一致，并能在測試過程中明確顯示當前測試狀態和測試結果；航天新銳科技提供定制服務，概據客戶在研發與生產不同階段的特點進行二次開發，使得客戶無

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