買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 1 目錄 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 2 摘要 .一章 緒論 .硬材料的一些簡介 .4 內外研磨和拋光的歷史及其發展現狀 .二章 工作原理及基本要求 .光機理 .面研磨機的工作原理 6 面研磨機 的主要特點 7 次設計的主要方向 三章 研磨與拋光的主要工藝因素 .9 藝因素及其選擇原則 .磨盤和拋光盤 10 面研磨使用的研具 13 粒 工液 .藝參數 .13 第四章 結構設計及相關強度校核 .件保持架的選擇 .14 齒輪的選擇 .齒圈的選擇 .持架、內齒圈、小齒輪組成的輪系中各齒輪運動速度的確定 .16 他齒輪的選擇 . 齒輪 1 的選擇 .17 輪 2 的選擇 . 齒輪 3 和齒輪 4 的確定 .承的選擇及其參數 .19 動機的選擇 .20 的設計及強度校核計算 .結 .考文獻 .錄 .文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 3 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 4 硬脆材料雙面研磨 /拋光機的設計 摘要： 雙面平面研磨是在傳統研磨機構的基礎上，通過改變研磨平面的數目從而來提高研磨精度和效率的一種研磨方式。其加工原理 就是 利用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒，通過研具與工件在一定壓力下的相對運動對加工表面進行精整加工 ，從而來實現加工精度的要求。 本文通過對平面研磨機構多種運動方式的分析，以及研磨精度要求，并結合現有研磨機，從而設計出一種新型的行星式雙面平面研磨機構，并對其運動軌跡做了具體研 究。這種研磨方式不僅解決 了 傳統研磨存在加工效率低、加工成本高、加工精度和 加工質量 不穩定等缺點，提高了研磨技術水平，保證研磨加工精度和加工質量 ，而且還可以實現在一定范圍內不同直徑圓柱工件的研磨，提高了加工效率，降低了加工成本，使研磨技術進一步實用化。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 5 f is on of of by to of a of is to or in on in of to of to of a to of is of of 文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 6 第一章 緒論 脆材料的一些簡介 硬脆材料例如陶瓷、白寶石單晶、微晶玻璃等以優良特性得到廣泛的應用。微晶玻璃用 于天文望遠鏡、光學透鏡、火箭和衛星的結構材料等，而且同時可以作標準米尺；白寶石因為其良好的透光性和耐磨性等特點用于激光器的反射鏡和窗口、異質外延生長的半導體材料或金屬材料的基片等。對硬脆材料進行超精密加工方法的研究，將其進一步擴大應用范圍并且提高其使用性能。 由于微晶玻璃中無數微小品粒的存在、白寶石硬度高，大都認為很難得到超光滑高平面度的表面。通常的光學拋光機都是動擺式的，即工件相對于磨盤既轉動，又沿一定的弧線擺動：工件在拋光的同時也不斷地進行修整拋光模。但是，當拋光參數設定時，工件和拋光模的那個面形 始終處于非收斂的變化中，即面形朝凹或凸的方向單調改變，不斷檢查面形，修改拋光參數，對操作員的技術水平要求很高。我們一般使用中國航空精密機械研究所研制的超精密研磨機 500 進行實驗。其上下主軸均為液體靜壓主軸，并且還能夠實現研磨盤的超精密車削，平面度小于 l m/ 500，用高精度的研磨盤來保證高精度的工件，不需要拋光中工件對其修整。當工件與錫磨盤定偏心、同方向、同轉速運動時工件表面的材料除去相同，而且工件每個點在研磨盤周光滑高平面度的表面奠定了基礎。 研磨和拋光基本都是利用研磨劑使工件與研具進行單純的對 研而獲得的高質量、高精度的加工方法。 國內外研磨和拋光的歷史及其發展現狀 在國內外研磨和拋光的歷史很悠長，比如：玉器和銅鏡的制作；眼鏡的應用、 1360年的繪畫上就有發現、在文藝復興時期的望遠鏡和顯微鏡發明。 現在，除了已經實現大批量生產透鏡和棱鏡外，其加工水平已能夠完成光學鏡面和保證高形狀精度的光學平晶、平行平晶以及具有特定曲率的球面等標準件的加工。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 7 就實施超精密加工而言，在各種各樣的加工方法中，研磨和拋光方法最為有力。 為適應零件加工的要求，應該不斷進行技術改造和開發新加工原理的超 精密研磨和拋光技術。 精密和超精密加工現在已經成為在國際競爭中取得成功的關鍵技術，許多現代技術產品需要高精度制造。發展尖端的技術和發展國防工業，發展微電子工業等都需要精密和超精密加工制造出來的儀器設備。當代的精密工程、微細工程和納米技術是現代科技技術的前沿，也是明天技術的基礎。 現代機械工業之所以要致力加強提高加工精度，其主要的原因在于：提高制造精度后可有效的提高產品的性能和質量，提高其穩定性和可靠性；促進產品的小型化；增強零件的互換性，提高裝配生產率，并促進自動化裝配。 超精密加工技術發展至今天，已經獲得 重大的進展，超精密切削加工已不再是一種孤立的加工方法和單純的工藝問題，而是成為一項包含內容極其廣泛的系統工程。實現超精密加工，不僅需要超精密的機床設備和刀具，也需要超穩定的環境條件，還需要運用計算機技術進行實時監測，反饋和補償。只有把各個領域的技術成就集結起來，才有可能實現超精密加工。 根據我國的當前實際情況，參考國外的發展趨勢，我國應開展超精密加工技術基礎的研究，其主要內容包括以下五個方面： 1. 超精密切削磨削的基本理論和工藝 2. 超精密設備的精度，動特性和熱穩定性 3. 超精密加工精度檢測及在線檢測和誤差補償 4. 超精密 加工的環境條件 5. 超精密加工的材料 參考國外精密加工技術的經驗和我國實際情況，如果能夠對精密和超精密加工技術給予足夠的重視，投入相當的人力和物力進行研究與開發，在八五期間生產中穩定微米級加工技術的基礎上，開始亞微米加工；九五期間在生產中穩定亞微米級加工并開始納米級加工的實驗研究。即將在 15內達到美國等發達國家目前的水平，并在某些主要單項技術上達到國家先進水平。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 8 第二章 工作原理及基本要求 光機理 由于拋光過程的復雜性和不可視性，往往是在通過特定的實驗條件下獲得的實驗結果來說 明拋光的機理。對于硬脆性材料的拋光機理，歸納一下主要有如下解釋： 拋光是一磨粒的微削塑性切削生產切屑為主體而進行的。在材料切除過程中都會由于局部高溫、高壓而使工件與磨粒、加工液及拋光盤之間存在著直接的化學作用，并且在工作表面產生反應生成物。由于這些作用的重疊，以及拋光液、磨粒及拋光盤的力學作用，使工件表面的生成物不斷被去除而使表面平滑化。 采用工件、磨粒、拋光盤和加工液等的不同組合，可實現不一樣的拋光效果。工件與拋光液、磨料及拋光盤間的化學反應有助于拋光加工。 面研磨機的工作原理 在進行高質量平 行平面研磨時需要使用雙面研磨，該雙面研磨拋光機的工作原理示意圖如下： 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 9 圖 2雙面研磨拋光機工作原理圖 如圖所示，研磨的工件放在工件保持架內，上，下均有研磨盤。下研磨盤有電動機帶動旋轉，為了在工件上得到均勻而不重復的研磨軌跡，工件保持架制成行星輪的形式，外面和內齒輪嚙合，里面和小齒輪嚙合。所以工作時工件將同時有自轉和公轉，作行星運動。上研磨盤一般情況不轉動（有時也轉動），上面可加載并有一定的浮動以避免兩研磨盤不平行造成工件兩研磨面不平行。 由工件與研具的相對運動軌跡對工件面形精度有都重要影響，對其基 本要求如下： 1） 工件相對研具做平面平行運動，能使工件上各點具有相同或相近的研磨行程。 2） 工件上任意一點，盡量不要出現運動軌跡的周期性重復。 3） 研磨運動平穩，避免曲率過大的運動轉角。 4） 保證工件走遍整個研具表面，使研磨盤得到均勻磨損，進而保證工件表面的平面度。 5） 及時變更工件的運動方向，使研磨紋路復雜多變，有利于降低表面粗糙度，并保證表面均勻一致。常用的運動軌跡有：次擺線、外擺線和內擺線軌跡等。 面研磨機 的主要特點 雙面研磨機主要用于兩面平行的晶體或其它機械零件進行雙面研磨，特別是薄脆性材料的加工。適用 于各種材質的機械密封環、陶瓷片、氣缸活塞環、油泵葉片軸承端面及硅、鍺、石英晶體、石墨、藍寶石、光學水晶、玻璃、鈮酸鋰、硬質合金、不銹鋼、粉灰冶金等金屬材料的平面研磨和拋光。 其主要特點有： 1、采用無級調速系統控制，可 以 輕易調整出適合研磨各種部件的研磨速度。采用電 氣比例閥閉環反饋壓力控制，可 以 獨立調控壓力裝置。上盤設置 的 緩降功能，有效的防止薄脆工件的破碎。 2、通過一個時間繼電器 與 一個研磨計數器，可 以 按加工要求準確設置和控制研磨時間和研磨圈數。工作時可調整壓力模式，達到研磨設定的時間或圈速 的時候 就會自 動停機報警提示，實現半自動化 的 操作。通過增加厚度光柵尺形成閉環控制，達到設定的厚度會自動停機，實現在線控制生產。 3、主機 一般 采用調速電機驅動，配置大功率減速系統，軟啟動、軟停止，運轉平穩。 4、通過上、下研磨盤、太陽輪、游星輪在加工時形成四個方向、速度相互協調的研磨運動，達到上下表面同時研磨的高效運作。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 10 5、下研磨盤可升降，方便工件 的 裝卸。氣動太陽輪變向裝置，精確控制工件兩面研磨精度和速度。 6、隨機配有修正輪，用于修正上下研磨盤的平行誤差。 7、工件研磨的效率與磨料密切相關，目 前主要兩種磨料方式加入研磨過程，一種是外加磨料，也稱為游離磨料，它的缺點是上磨盤磨料供應不足，研磨盤上磨料分布不均勻，大部分研磨料未參與研磨，成本較高，工藝穩定性較差。另一種是 磨料固定在研磨盤中，也稱為固著磨料，成功解決了上磨盤磨料供應不足，研磨盤上磨料分布不均勻的工藝問題，研磨成本大幅度下降。 次設計的主要方向 本設計為 2 方向型運動方式的雙面加工機，由一臺電動機帶動兩根驅動軸進行研磨工作。上下研磨盤不動，太陽齒輪和內齒輪轉動。主要用于晶體、金屬和陶瓷等工件的研磨和拋光。 1、 上研磨盤的直徑： 630 2、工件研具相對速度： 5500m/續可調 ； 3、 運動形式：上研磨盤固定，下研磨盤與太陽齒輪、內齒輪轉動 4、 整機形式：立式，要求構造簡單、成本低 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 11 第三章 研磨與拋光的主要工藝因素 藝因素及其選擇原則 精密研磨與拋光加工的主要工藝因素包括加工設備、研具 、磨粒、加工液、工藝參數和加工環境等，見表 3些因素決定了最終加工精度和表面質量。在保證加工環境的前提下，各工藝因素的選擇原則如圖 3示。 表 3精密研磨拋光的主要工藝因素 工藝因素 實例 加工設備 加工方式 運動方式 驅動方式 單面研磨、雙面研磨 旋轉、往復擺動 手動、機械驅動、強制驅動、從動 研具 材料 形狀 表面狀態 硬質、軟質（彈性、粘彈性） 平面、球面、非球面、圓柱面 有槽、有孔、無孔 磨粒 種類 材質、形狀 粒徑 金屬氧化物、金屬碳化物、氮化物、硼化物 硬度、韌性、形 狀 幾分之一微米 幾十微米 加工液 水性 油性 酸性 堿性、表面活性劑 表面活性劑 加工參數 工件、研具相對速度 加工壓力 加工時間 1100m/00 10h 加工環境 溫度 塵埃 室溫變化 利用清潔室、凈化工作臺 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 12 圖 3工藝因素的選擇原則 研磨盤和拋光盤 常用的研磨盤、拋光盤材料及部分使用實例見表 3用的研磨盤材料有鑄鐵、玻璃、陶瓷等。研磨盤是用于涂敷或嵌入磨料的載體，是磨粒發揮切削作用，同時又是研磨表面的成形工 具。研磨盤本身在研磨工程中與工件是相互修整的，研磨盤本身的幾何精度按一定程度“復印”到工件上，故要求研磨盤的加工面又高的幾何精度。對研具的要求主要有： 1） 材料硬度一般比工件材料低，組織均勻致密、無雜質、異物、裂紋和缺陷，并有一定的磨料嵌入性和浸含性。 2） 結構合理，有良好的剛性、精度保持性喝耐磨性。其工作表面應具有較高的幾何精度。 3） 排屑性喝散熱性好。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 13 表 3 研磨盤、拋光盤材料及部分使用實例 分類 對象材料 部分使用實例 硬質 材料 金屬 鑄鐵、碳鋼、工具鋼 一般材料研磨、金剛石拋光 非金屬 玻璃、 陶瓷 化合物半導體材料研磨 軟 質 材 料 軟質金屬 料 陶瓷拋光 天然樹脂 松脂、焦油、蜜蠟、樹脂 光學玻璃拋光、光學結晶拋光 合成樹脂 硬質發泡聚氨酯、 四氟乙烯、聚碳酸酯、聚氨酯橡膠 光學玻璃拋光、一般材料拋光 天然皮革 麂皮 金屬拋光 人工皮革 軟質發泡聚氨酯、氟碳樹脂發泡體 硅晶片拋光、化合物半導體拋光 纖維 非織布、織布紙 金屬材料拋光、一般材料拋光 木材 桐、杉、柳 金屬模拋光 為了獲得良好的研磨表面，有時需在研具表面上開槽。槽的形狀 有放射狀、網格狀、同心圓狀和螺旋狀等，如圖 4示。槽的形狀、寬度、深度和間距等根據工件材料質量、形狀及研磨面的加工精度來選擇。在研具表面開槽有如下的效果： 1） 可在槽內存儲多余的磨粒，防止磨料堆積而損傷工件表面。 2） 在加工中作為向工件供給磨粒的通道。 3） 作為及時排屑的通道，防止研磨表面被劃傷。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 14 圖 3常用研磨盤的開槽形式實體圖 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 15 平面研磨使用的研具 在研磨、拋光中，通過研磨使研具的平面狀態復印到工件上，這涉及到如何保證幾何形狀精度問題。特別是研磨小面積的高精度平面工件時要使用彈 性變形小的研具，并始終使用能保證平面度的研具。 符合上述要求的研具，除用特種玻璃外，也可以用工作加工成平面的金屬板上涂一層四氟乙烯或鍍鉛和銦，都可以實現研磨與拋光，并能得到高精度的平面加工結果，但其缺點是薄的研具層壽命短。 為獲得高的研磨表面質量，在工件材料較軟時，如加工光學玻璃時，有時使用半軟質研磨盤（如錫盤）或軟質研磨盤（如瀝青盤）。使用這種研磨盤最主要的問題是研磨盤不易保持平面度，因而影響加工件的平面度。使用軟質研磨盤的優點是研磨出的表面變質層很小，表面粗糙度也很小。 磨粒 磨粒按硬度可分 為硬磨粒和軟磨粒兩類。研磨用磨粒具有下列性能： 1） 磨粒形狀、尺寸均勻一致。 2） 磨粒能適當的破碎，使切刃鋒利。 3） 磨粒熔點要比工件熔點高。 4） 磨粒在加工液中容易分散。 加工液 研磨拋光加工液通常由基液（水性或油性）、磨粒、添加劑三部分組成，作用是供給磨粒、排屑、冷卻和潤滑。對加工液有以下要求： 1） 能有效地散熱，以避免研具和工件表面熱變形。 2） 粘性低，以提高磨料的流動性。 3） 不會污染工件。 4） 化學物理性能穩定，不因放置或溫升而分解變質。 5） 能較好地分散磨粒。 研磨拋光時，伴隨有發熱，除了工件和研具因溫度上升而發生形變 。難以進行高精度研磨外，在局部的磨粒作用點上也會產生相當高的溫度，使加工變質層深度增加。適當地供給加工液，可以保證研具有良好的耐磨性和工件的形狀精度及較小的加工變質層。添加劑的作用是放置或延緩磨料沉淀，并對工件發揮化學作用以提高研磨拋光加工效率和質量。 工藝參數 加工速度、加工壓力、加工時間以及研磨液和拋光液的濃度是研磨與拋光加工的主要工藝參數。在研磨拋光設備、研具和磨料選定的條件下，這些工藝參數的合理選擇是保證加工質量和加工效率的關鍵。 加工速度是指工件與研具的相對運動速度。加工速度增大使加工 效率提高，但當速度過高時，由于離心力作用，使加工液甩出工作區，加工平穩性降低，研具磨損加快，從而影響研磨拋光加工精度。一般粗加工多用較低速、較高壓力；精加工多用低速、較低壓力。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 16 第四章 結構設計及相關強度校核 4工件保持架的選擇 根據以上工藝因素以及設計任務的要求： 采用齒數 z=115 模數 m=2 壓力角 = 20 的齒輪 分度圓直徑 302115 齒頂圓直徑 3 42)121 1 5()2( * 齒根圓直徑 252)22( * 頂隙 * 總體輪厚 h=12為了保證工件能充分接觸到研磨盤在游輪上下兩面設有 2此實際輪厚為 8輪上對稱分布有 12 個 40 的圓孔，用于放置工件 此外，游輪的工件孔可以根據工件的形狀、尺寸而設計，可設計多種樣式。參考圖樣如圖 4. 圖 4工件保持架的多種形式 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 17 4齒輪的選擇 根據游輪的尺寸參數而定 模數 m=2 壓力角 = 20 選擇分度圓半徑為 r=88圓柱齒輪 可得： 齒數 z=d/m=176/2=88 齒頂圓直徑 8 02)1288()2( * 齒根圓直徑 712)22( * 頂隙 * 齒輪厚 h=20于游輪充分接觸 為節省材料，中間開有凹槽 選擇齒輪內徑 d=40據此尺寸選擇寬、高分別為： 128平鍵連接，鍵長 L=16 4內齒圈的選擇 由之前確定的游輪和外齒輪的尺寸可以確定內齒圈的齒根圓半徑 88223022 * 外游 由 22( * ， m=2，可得： z=318 齒頂圓直徑 322)12318()2( * 分度圓直徑 d=*318=636隙 * 選擇齒圈外部邊緣直徑為 d=700從而可保證齒圈寬度在 40右 便于安裝螺紋。 在齒圈半徑為 335圓周上均勻分布 6 個 8 的螺紋孔，將齒圈固定在可轉動的支座上。 根據需要，齒圈厚度選擇 h=15文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 18 4持架、內齒圈、小齒輪組成的輪系中各齒輪運動速度的確定 選擇原則：研磨運動平穩，避免曲率過大的運動轉角，保證工件走遍整個研具表面，使研磨盤得到均勻磨損，進而保證工件表面的平面度。及時變更工件的運動方向，使研磨紋路復雜多變，有利于降低表面粗糙度，并保證表面均勻一致。 考慮以上因素：選擇游輪速度 游外齒輪運動速度 外動方向如圖所示： 圖 4 工作臺運動示意圖 計算內齒圈速度： 外游游外 n z 內游游游內 n 得： n 游內買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 19 4其他齒輪的選擇 輪 1的選擇 取分度圓直徑 d=160 模數 m=2 壓力角 = 20 的圓柱齒輪 得：齒數 802/160/ 齒頂圓直徑 6 42)1280()2( * 齒根圓直徑 552)22( * 頂隙 * 根據齒輪內徑尺寸 d=56擇鍵寬 b、鍵高 h 分別為： 1610平鍵連接，鍵長 L=28 齒輪厚度選擇 h=30 齒輪 2的選擇 取分度圓直徑 d=250 模數 m=2 壓力角 = 20 的圓柱齒輪 得：齒數 1252/250/ 齒頂圓直徑 5 42)121 2 5()2( * 齒根圓直徑 452)22( * 頂隙 * 根據齒輪內徑尺寸 d=46擇鍵寬 b、鍵高 h 分別為： 149平鍵連接，鍵長 L=32 齒輪厚度選擇 h=35以上齒輪 1、齒輪 2 的選擇可確定主動軸的轉速： m 2112 m i n/4011 為小齒輪軸轉速 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 20 輪 3和齒輪 4的確定 選定齒輪 1 和齒輪 2 時，齒輪 3 和齒輪 4 此時已經確定了，可計算出來： 052 )(143432 ；中心距內 n 內 = 求得 14560205; 齒輪 3 的參數 ： 分度圓直徑 d=*60=120頂圓直徑 2 42)1260()2( * 齒根圓直徑 152)22( * 頂隙 * 根據齒輪內徑尺寸 d=30擇鍵寬 b、鍵高 h 分別為： 108平鍵連接，鍵長 L=20 齒輪厚度選擇 h=25輪 4 的參數： 分度圓直徑 d=*145=290頂圓直徑 9 42)121 4 5()2( * 齒根圓直徑 852)22( * 頂隙 * 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 21 4承的選擇及其參數 根據所設計的驅動軸的尺寸，選用的的軸承及其參數如下： 滾動軸承 6016 d=80D=125=22718動軸承 6010 d=50D=80=1664動軸承 6011 d=55D=90=1823動軸承 6008 d=40D=68=1562推軸承 51307 d=351d 37=681D 68=24B=108推軸承 51217 d=851d 88D=1251D 125T=31B=12動機的選擇 根據工作環境選擇立式三相交流異步電動機。 1， 選擇電動機的功率 所需電動機的功率可用如下公式計算： 工作機的實際電動機輸出功率 工作機所需要的輸入功率 n 為電動機只工作機之間的總效率。 6 3 5 0 m 02 0 09 5 5 0 齒齒帶帶減 因此，選擇額定功率為 4電動機 2， 選擇電動機的轉速 電動機的轉速可選范圍： m 28040442)( 321 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 22 因此選擇同步轉速為 1500r/電動機 綜上，選擇型號為 電動機。 4的設計及強度校核計算 主動軸 由于此軸主要是承受扭矩，因此按扭矩來計算軸的強度： 軸的扭轉強度條件是 5 0 0 0 03 其中 T 為扭轉切應力； 軸的抗扭截面系數； n 軸的轉速； P 為傳遞的功率； T 為許用扭轉切應力 由上公式可得軸的直徑 3 所設計的軸的最小直徑為 30 該軸的強度合格。 從動軸 由于此軸主要是承受扭矩，因此按扭矩來計算 軸的強度： 軸的扭轉強度條件是 5 0 0 0 03 其中 T 為扭轉切應力； 軸的抗扭截面系數； n 軸的轉速； P 為傳遞的功率； T 為許用扭轉切應力 由上公式可得軸的直徑 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 23 3 所設計的軸的最小直徑為 40 該軸的強度合格。 總結 通過本次畢業設計大體掌握了脆硬材料雙面研磨拋光機的工作原理及其結構設計，非常感謝周后明老師的細心指導，通過本次畢業設計，了解到他是一個非常認真負責的好老師。 現將獲得高質量平面研磨拋光的工藝規律總結如下： 1） 研磨運動軌跡應能達到研磨痕跡均勻分布并且不重疊。這主要 由研磨機的行星運動達到。 2） 硬質研磨盤在精研修形后，可以獲得平面度很高的研磨表面，但要求很嚴格的工藝條件。硬質研磨盤要求材質極均勻，并有微孔容納微粉磨料。 3） 軟質（半軟質）研磨盤容易獲得表面粗糙度值極小和表面質變層甚小的研磨拋光表面，但不易獲得很高的平面度。 4） 使用金剛石微粉等超硬磨料可以獲得很高的要命拋光效率。在最后精研硅片、光學玻璃和石英晶體片是，使用 化鈰微粉和軟質研磨盤容易得到表面質變層和表面粗糙度值極小的優質表面，但不易獲得很高的平面度。 5） 研磨平行度要求很高的零件時，可采用： 1，上研磨盤浮動以 消除上下研磨盤不平行誤差； 2，小研磨零件實行定期 180 度方位對換研磨，以消除因研磨零件厚度不等造成上研磨盤傾斜而研磨表面不平行； 3，對各晶向硬質不等的晶片研磨時，加偏心載荷修正不平行度。 6） 為提高研磨拋光的效率和研磨表面質量，可以在研磨劑中加入一定量的化學活性物質，實踐證明這是極有效的。 7） 高質量研磨時必須避免粗的磨粒和空氣中的灰塵混入，否則將使研磨表面劃傷，達不到高質量研磨要求。 買文檔就送您 紙全套， Q 號交流 401339828 或 11970985 24 致謝 經過半年的 時間 ，本次畢業設計已經接近尾聲， 這次設計，也是大學階段的最后一次設計 ,眼看畢設就要結束了，在這里我感謝所有 那些在我們遇到困難時給予我幫助的老師和同學們。 我在設計時有 許多考慮不周全的地方，如果沒有 指導教 師的督促指導，以及一起工作的同學們的支持，想要完成這個設計是難以想象的 ， 在這里首先要感謝 在整個設計過程中給予我建議和指導的周后明老師，他 平日里工作繁多，但在我做畢業設計的每個階段，從 題目理解 到查閱資料 、 設計草案的確定和修改 、 中期檢查 、 后期詳細設計等整個過程中都給予了我