T-CSTM 01024-2023 導電陽極絲熱成像輔助定位失效分析方法_第1頁
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Failureanalysismethodofthermalimaging-assistedpositioningforconductive2023-06-21發布2023- 1 1 1 2 2 3 3 3 3 3 39.3切片分析 5 6請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別專利的責任。本文件由中國材料與試驗標準化委員會電子材料標準化領域委員會（CSTM/FC5本文件由中國材料與試驗標準化委員會電子材料領域覆銅板材料標準化技術委員會導電陽極絲熱成像輔助定位失效分析方法導電陽極絲conductiveanodic金屬離子在電場的作用下，沿玻纖/樹脂間隙移動，析出金屬和化合物，形成漏電通道的現象，漏a)鍍覆孔到鍍覆孔b)鍍覆孔到內層導體c)內層導體到內紅外傳感器收集到樣品表面熱發射數據后，呈現的圖像即紅外熱點CAF失效導致絕緣電阻降低，通電時會因為發熱產生微弱的紅外能量，高靈敏度的紅外探測器能品表面溫度分布將發生周期性變化，結合算法可以2d)分析軟件具有鎖相熱成像（Lock-否則，需要重新模擬試驗直至阻值低于108Ω,然后再按照9.2～9.3進行試驗。9.2.1連接電源9.2.2選擇鏡頭9.2.3調節鏡頭測試電壓和限流初始值應設置較低數值，防止CAF被高電流破壞，建議初始測試電壓設置為9.2.5調節測試參數電阻越大，設置的測試電壓越大，設置電壓建議不超過CAF9.2.6設置電源方波周期9.2.7開始測試4a)熱量聚集初期b)熱量聚集末期c)熱量擴散初期d)9.3.1水平研磨分析9.3.2垂直研磨分析水平研磨分析找到CAF的層次位置后，可以開始垂直的研磨分析，垂直研磨5c)當CAF呈細小的絲狀時，平行細絲方向研磨時容易損壞細絲，可跳過9.3.2a）步驟，直接進行e）分析結果：包含但不限于紅外熱點與樣品外觀疊加圖和

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