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文檔簡介
《真空技術真空泵性能測量標準方法第6部分：低溫真空泵》編制說明（征求意見稿）項目名稱“真空技術真空泵性能測量標準方法第6部分：低溫真空草案的編寫和進度控制。該項目等同轉化ISO21360-6：2023，工作組廣泛調研了低溫真空泵的相關標討論與研究，提出了修改意見，對草案初稿作了進一步的補充完善，形成標準征求意見稿，于2025年草規則》和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為經濟、社會效益，充分體現了標準在技術上的先進性和技術上的本標準等同采用ISO21360-6：2023《Vacuumtech標準的內容包含：本標準規定了低溫真空泵性能參數測試方法實施的適用范圍、術語定義、準備、測試方法（含抽氣速率的測量、抽氣容量的測量、渡越容量的大抽氣能力的測量、降溫時間的測試等）及測試程序、測試報告等相了我國《十四五發展綱要》中微納電子、集成電路、生命科學、空天科技等重點領域的發本標準的制定進一步推進了真空泵產業結構的優化升級，推動了我國低溫真空泵先進裝備制造技代與性能突破，有利于支撐相關重大科學工程、基礎前沿科學的研究和發本標準
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