二零二五半導體光刻工藝優化咨詢協議模板?本合同共二部分組成，僅供學習使用，第一部分如下：鑒于甲方（全稱：_________________________，注冊地址：_________________________，法定代表人：_________________________）與乙方（全稱：_________________________，注冊地址：_________________________，法定代表人：_________________________）為優化半導體光刻工藝技術，提升生產效能，依據《中華人民共和國民法典》及相關法律法規，經協商一致，訂立本協議。第一條定義與解釋1.1“半導體光刻工藝優化”指乙方根據甲方需求提供的包括但不限于光刻膠配方調整、曝光參數優化、蝕刻工藝改進等技術服務。1.2“交付成果”指乙方按本協議約定提交的技術方案、實驗數據、分析報告及其他書面或電子形式的成果。1.3“關鍵設備”指甲方提供的用于實施光刻工藝優化的生產設備及檢測儀器，清單見附件一。第二條服務內容2.1乙方負責對甲方現有光刻工藝流程進行全面診斷，識別技術瓶頸并提出優化方案。（1）光刻膠選擇與涂布工藝改進建議；（2）曝光機臺參數優化方案；（3）蝕刻后關鍵尺寸（CD）均勻性提升策略。第三條服務期限3.1本協議有效期自______年______月______日起至______年______月______日止。3.2若因甲方設備調試延遲導致項目延期，服務期限可經雙方書面確認后順延，最長不超過______日。第四條服務費用及支付4.1總費用為人民幣______元（大寫：_________________________），包含技術咨詢、差旅及稅費。4.2付款方式：（1）協議簽訂后______日內支付首期款______元；（2）中期驗收通過后______日內支付第二期款______元；（3）最終成果交付后______日內支付尾款______元。4.3乙方須在每期付款前開具合法有效發票。第五條技術標準（1）關鍵尺寸均勻性≤______nm；（2）缺陷密度≤______/cm2；（3）產能提升≥______%。5.2所有實驗數據須符合SEMI（國際半導體產業協會）標準。第六條交付與驗收6.1乙方應按附件二載明的時間節點提交階段成果。6.2甲方應在收到成果后______日內組織驗收，逾期未提出書面異議視為驗收合格。6.3驗收不合格的，乙方應在______日內完成整改并重新提交。第七條知識產權7.1甲方享有交付成果的獨占使用權，乙方保留著作權及專利申請權。7.2雙方合作產生的發明專利，權利歸屬按附件三約定執行。第八條保密義務8.1保密期限自協議生效日起算______年，不因協議終止而失效。8.2未經披露方書面同意，任何一方不得向第三方披露技術參數、實驗數據及商業信息。第九條甲方責任9.1提供符合SEMI標準的生產環境及附件一列明的設備清單。9.2指派______名工程師全程配合乙方工作，并提供必要技術資料。第十條乙方責任10.2對甲方技術人員進行不少于______小時的專項培訓。第十一條變更管理11.1任何方案變更須經雙方項目負責人簽字確認，重大變更需簽訂補充協議。11.2因甲方單方變更導致的費用增加，由甲方按實際成本支付。第十二條違約責任12.1乙方未按期交付成果，每逾期一日按合同總額______%支付違約金。12.2甲方逾期付款超過______日的，乙方有權暫停服務且不承擔違約責任。第十三條不可抗力13.1因地震、戰爭、重大疫情等不可抗力導致協議無法履行的，受影響方應及時通知對方并提供證明。13.2不可抗力持續超過______日的，任何一方可解除協議且互不承擔違約責任。第十四條保險14.1乙方應為參與項目的技術人員購買保額不低于______萬元的人身意外險。14.2因乙方操作不當造成設備損壞的，由乙方承擔維修費用或等價賠償。第十五條合同轉讓15.1未經對方書面同意，任何一方不得將協議權利義務轉讓給第三方。第十六條法律適用與爭議解決16.1本協議適用中華人民共和國法律。16.2爭議應協商解決，協商不成的，提交______仲裁委員會仲裁。第十七條合同完整性17.1本協議包括及______個附件，附件與具有同等法律效力。17.2未盡事宜需簽訂補充協議，補充協議需加蓋雙方公章后生效。第十八條通知與送達甲方地址：_________________________乙方地址：_________________________18.2通知送達日期以簽收日期或寄出后第______日為準。第十九條合同生效與終止19.1本協議自雙方蓋章及法定代表人簽字后生效。19.2出現下列情形時協議終止：（1）服務目標全部實現；（2）經雙方協商一致解除；（3）一方嚴重違約且未在______日內補救。第二十條可分割性20.1本協議某條款被認定為無效的，不影響其他條款的效力。第二部分：第三方介入后的修正第二十一條第三方定義與類型（1）技術顧問：由甲方或乙方引入的獨立技術專家或機構，負責提供特定領域的技術支持；（2）檢測機構：經雙方共同認可的第三方實驗室或認證機構，負責對交付成果進行獨立驗證；（3）設備供應商：為項目實施提供補充設備或耗材的供應商；（4）中介方：協助協調項目資源或商業談判的獨立機構。（1）經甲方、乙方書面共同確認；（2）與主協議目標無實質性沖突；（3）簽署與本協議具有同等法律效力的補充協議。第二十二條第三方介入程序（1）第三方全稱、資質證明及業務范圍；（2）介入的具體工作內容及時間節點；（3）費用承擔方式及支付主體。22.2另一方應在收到申請后______日內書面回復，逾期未回復視為同意。（1）第三方服務范圍及交付標準；（2）知識產權歸屬規則；（3）保密義務及違約責任。第二十三條第三方責任與義務23.1技術類第三方責任：（1）按補充協議約定提交符合SEMI標準的技術方案或檢測報告；（2）對其提供的技術結論承擔專業責任，若因數據錯誤導致甲方損失，按實際損失______%承擔賠償責任；（3）參與甲方組織的技術評審會并提供現場答疑。23.2設備供應類第三方責任：（1）確保設備性能參數符合附件一要求，并提供______個月免費質保期；（2）在接到甲方故障通知后______小時內響應，______日內完成維修或更換；（3）承擔設備運輸、安裝及調試的全部費用。23.3中介類第三方責任：（1）不得同時代理甲方或乙方的競爭性項目；（2）促成雙方達成合作后，傭金支付方式按補充協議執行。第二十四條第三方權利與限制24.1第三方有權要求甲方或乙方提供與履行服務相關的必要資料，包括：（1）光刻工藝基礎參數；（2）設備運行日志（涉密部分可經脫敏處理）；（3）階段性驗收結論。（1）將獲知的商業秘密用于與本協議無關的用途；（2）未經允許將服務分包給其他主體；（3）在項目未驗收前公開發表相關技術成果。第二十五條費用與支付調整（1）技術顧問費用由提議方承擔，若雙方共同引入則由甲方承擔______%、乙方承擔______%；（2）檢測機構費用計入主協議總費用，由甲方按4.2條支付比例同步支付；（3）設備供應商費用由甲方直接支付，不計入主協議費用總額。25.2因第三方介入導致的預算變更，需簽訂《費用變更確認單》并經三方簽章生效。第二十六條知識產權特別約定（1）補充協議有明確約定的從其約定；（2）無約定的，歸屬實際開發者所有；（3）涉及甲方基礎工藝改進的部分，甲方享有非獨占許可使用權。26.2第三方使用甲方或乙方背景知識產權時，須提前獲得書面授權并注明來源。第二十七條保密義務擴展27.1第三方應簽署不低于主協議保密等級的《保密承諾書》，承諾：（1）保密期限不少于主協議約定期限；（2）接觸商業秘密的人員范圍限于項目必需人員；（3）發生泄密事件時，應在______小時內書面通知甲方和乙方。27.2第三方保密義務不因其退出項目或協議終止而免除。第二十八條違約責任劃分（1）技術類第三方過錯：乙方先行向甲方承擔主協議責任，再向第三方追償；（2）設備類第三方過錯：甲方直接向第三方索賠，乙方提供必要協助；（3）中介類第三方過錯：過錯方單獨承擔全部責任。28.2第三方遲延履行超過______日的，甲方或乙方有權解除補充協議并要求賠償直接損失。第二十九條爭議解決機制調整（1）技術爭議：提交______行業協會專家委員會裁決；（2）商業爭議：提交主協議約定的仲裁機構管轄；（3）設備質量爭議：按設備交付地法院管轄。29.2第三方應簽署《仲裁協議加入書》，接受主協議仲裁條款約束。第三十條協議終止與第三方退出（1）主協議提前終止；（2）第三方連續______次未通過階段性驗收；（3）經甲方、乙方共同書面通知。（1）移交全部技術資料及工作記錄；（2）簽署《項目離場確認書》；（3）銷毀所有載有商業秘密的載體。第三十一條保險與擔保31.1技術類第三方需購買保額不低于______萬元的專業責任險，保單復印件交甲方備案。31.2設備供應類第三方需提供合同總額______%的履約保函，保函有效期至設備驗收合格后______個月。第三十二條通知與文件傳遞32.1向第三方送達文件需同時抄送協議相對方，送達地址以補充協議記載為準。姓名：_________________________職務：_________________________簽收方式：_________________________甲方（蓋章）：公司全稱：_________________________注冊地址：_________________________法定代表人：_________________________簽署日期：______年______月______日乙方（蓋章）：公司全稱：______________________