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1太陽能電池用砷化鎵單晶及拋光片編制說明2料,是紅、橙、黃光發光二極管(LED)的唯一襯底材料,廣泛用于半導體照明、高清全彩顯示屏、激光器、無人駕駛汽車等和太陽能電池領域。自2010年起,隨著LED及砷化鎵是典型的III-V族化合物半導體材料,具有直接能帶隙,帶隙寬度為1.42eV下1)光電轉換效率高;(2)可制成薄膜電池,在可見關范圍內GaAs材料的光吸收耐高溫性能好4)抗輻射性能強5)多結疊層太陽能電池的材料。作多結疊層太陽能電池。因此采用GaAs材料制作的多柔性太陽能電池相比于其他類型3再砷化鎵電池的國家標準方面,2010年制定了國家標準GB/T25075-20陽能電池用砷化鎵單晶》,形成新標準GB及相關Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體材料研制和生產綜合型科技企業。產品廣泛應用于光電材市場份額第一,現已成為第二代半導體襯底材料全國TOP3供應商。公司先后通過了4砷化鎵產業化方面,公司擁有國內產能、質量領先的高純砷晶體長晶設備,多線切割機、倒角機、解理機、研磨機、拋光機、全自動多片清洗機、分析儀,能對產品質量進行全面的檢測分析;另外公司還積投資砷化鎵耗材相關項目,目前已成為中國航天、中國電科、中國兵器等大型集團的合格供應商。公司擁有13條MOCVD外延芯片生產線,15000㎡超凈車間和廠務公共系統,以及進口化合物半導體設備,包括金屬有機化合物氣相沉積系統、全自動曝光機、AM0太陽光模擬空間無人機)。公司堅持自主創新,擁有核心技術授權專利122項,已通過GJB9100C技術產品榮譽證書,2019年成功榮獲廣東省工程技術研究中心認定;2020年獲得廣東省知識產權示范企業認定,獲中山市政府授予2020年度中山市科技創新突出貢獻企業5員會,經過全體委員論證通過后,上報至國形成了國家標準《太陽能電池用砷化鎵單晶及拋光片》征64.按照GB/T1.1產品標準編寫示例的要求進行格式和結構編寫。該章節依據本行業產品標準編制要求編寫,技術上增加150mm、200mm直徑砷化鎵目前外延相關行業對整片的均勻性有一定的要求,性有一定的影響,結合行業的相關數據,規定截面電阻率不均勻性<15%。根據目前行業情況,定義n型和p型的摻雜劑,相對于上一版標準,擴大了載流子的范圍,使其更適合目前的客戶的需求。目前太陽能電池用砷化鎵單晶及拋光片為n型和p型,n型砷化鎵在砷化鎵晶體中,摻雜有一定量的雜質原子(如硅、硒等)可形成n型半導體材料。n型砷化鎵具有高的導電性,適用于制造高速電路和光電器件。p型砷化鎵在砷化鎵晶體中,摻雜有一定量的雜質原子(如鋅、鎘等)可形成p型半導體材料。p型砷化鎵具有高的空穴濃度和低的電阻率,適用于制造高功率、高頻率的器件。目前主要的定位有兩種主要形式,一種是以參考面反面,具體的可以分為V型槽和燕尾槽為主,目前100.0mm砷化鎵襯底主要是參考面的取向和長度來確定晶片規格。目前V型槽和燕尾槽是砷化鎵行業約定俗成的規格,均有客戶使用。目前100.0mm砷化鎵襯底大部分客戶僅保留副邊位置,副邊的長度要求為0mm。另外根據行業的發展,Ф100.0mm及以下尺寸一般以V型槽和燕尾槽為主,這個是7可能與行業的設備或者客戶的產業需要有關。大直徑產品150.0mm和200.0mm考慮到成此次繼續延續上次的編制,調整一些細節,定位邊位置保持上一版內容。Ф150.0mm襯底切口要求。目前國內的太陽能電池用砷化鎵單晶及拋光片行業,目前主要是各家自己提供砷化鎵襯底的需要,按照砷化鎵電池片客戶的要求制定標準,目前砷化鎵電池片行業,主要以直徑100.00mm規格為主,表7是國內幾家砷化鎵電池片廠主要砷化鎵襯底的參考變及切口的標準。根據目前行業內砷化鎵襯底需求客戶,其對表面晶向及晶向偏離都有一定的要求,有關,外延工藝固定之后,其選擇的襯底角度是固定的。表面晶向與客戶的外延工藝相關,不同的角度的襯底可以生產相同的產品,具體的表面晶向由砷化鎵襯底的客戶來決定,而晶向偏離是砷化鎵襯底行業經驗的積累,偏離超過一定的程度,會影響客戶的使用,晶片偏離大的砷化鎵襯底,其外延后會出現毛掉的現象,導致砷化鎵外延片報廢,目前砷化鎵襯底的晶向偏離行業通用的標準為±0.5°。鎵LED外延廠常用客戶標準中的表面晶向和晶向偏離具體要求。前砷化鎵外觀幾何幾寸沒有大的變化,結合目前砷化鎵戶,所以定為5000個/cm2。8邊緣的缺陷不超過1mm,由于砷化鎵襯底的邊緣問題會在外延后放大,所以砷化鎵襯此我們修訂了新的表面質量要求。近邊緣區域徑向尺寸主要是要求LED外延芯片砷化鎵襯底其完整的拋光面其允許的最小徑向尺寸,主要是因為LED外延芯片用砷化鎵襯GB/T4326《非本征半導體單晶霍爾遷移率和霍爾本標準修訂過程中,充分調研了行業內對太陽能電池用砷化鎵單晶及拋光片的9《太陽能電池用砷化鎵單晶》基礎上進行的修訂和補充,僅修訂了產品的技術要求和無本標準修訂后

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