1200×650mm真空蒸鍍技術協議版本號：V2.3|發布日期：2023年10月|適用領域：顯示面板/柔性電子鍍膜一、設備技術參數基板尺寸有效鍍膜區域：1200mm（長）×650mm（寬）×1.2mm（厚）適用基板類型：玻璃/高分子薄膜（PI/PET）公差要求：尺寸偏差≤±0.5mm，平面度≤0.1mm/m2（依據SEMIF47-0706）真空系統極限真空度：≤5×10??Pa（分子泵組+干泵配置）漏率：≤1×10??Pa·m3/s（氦質譜檢漏標準）抽氣時間：從大氣壓至5×10?3Pa≤25min蒸鍍源配置蒸發材料：Al/Ag/ITO（純度≥99.999%）坩堝容量：10kg（連續鍍膜時長≥8h）溫度控制精度：±1℃（PID+紅外測溫閉環）二、工藝參數規范鍍膜速率與均勻性材料速率（?/s）均勻性（±%）Al10-30≤3Ag5-20≤5ITO2-15≤8膜厚控制在線監控：石英晶體振蕩法（分辨率0.1?）厚度誤差：整面≤±3%，跨板邊緣10mm區域≤±5%工藝氣體本底真空：氧分壓≤1×10??Pa，水汽分壓≤5×10??Pa反應氣體：Ar/O?流量比（10:1~50:1），MFC控制精度±0.5sccm三、膜層性能驗收標準光學性能可見光透過率（550nm）：ITO≥85%，Ag反射率≥95%霧度：≤1%（按ASTMD1003標準）電學性能方阻：ITO≤10Ω/□，Al≤0.5Ω/□（四探針法測量）附著力：3M膠帶剝離無脫落（ASTMD3359B法）環境可靠性高溫高濕：85℃/85%RH1000h，電阻變化率≤5%冷熱沖擊：-40℃?85℃500次循環，無裂紋四、安全與環保規范操作安全真空腔體應急破空閥：響應時間≤3s，符合EN693機械安全標準輻射防護：蒸鍍源區域鉛玻璃屏蔽（≥5mmPb當量）環保要求廢氣處理：尾氣經兩級冷阱+HEPA過濾（顆粒物≤1mg/m3，GB16297）能耗指標：單次鍍膜周期耗電≤120kW·h（按ISO50001評估）五、設備維護與校準周期性維護分子泵油更換：每2000小時或真空度劣化10%時密封圈更換：氟橡膠圈每500次開腔強制更換校準規范膜厚儀校準：每季度使用NIST標準片（SRM2135）標定溫度傳感器校準：年漂移≤0.5℃，需第三方CNAS認證六、技術文件與培訓交付文件清單P&ID圖（含真空管路/電氣接口）FMEA分析報告（關鍵故障模式≥20項）人員培訓操作認證：理論+實操考核（8學時，通過率≥90%）緊急處理：模擬真空破失/氣體泄漏演練（每半年1次）七、附錄參考標準SEMIF47-0706《真空設備通用規范》IEC61215-2《光伏組件環境測試方法》簽署頁甲方（用戶）乙方（供應商）技術負責人：_________項目經理：_________日期：_________質保期：24個月文檔說明：正文中加粗部分為協議核心條款，斜體為可選配置項。工藝參數基于中科院寧波材料所2022年《大面積蒸鍍白皮書》實驗數據修訂。安全規范條款經SGS認證，適用ISO9001/14001雙體系。技術爭議以中國計量科學研究院檢測報告為準。附件：工藝參數記錄表（含時間-溫度-真空度曲線模板）膜層檢測報告（XRD/EDS/SEM樣例圖）備件清單（含供應商SKU編碼）版本更新說明：V2.3版新增ITO鍍膜工藝參數，修訂真空系統響應速度指標（2023.10）適用設備