文件名稱單晶爐石墨件安裝與裝料準備作業指導書文件編號：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工藝改進PRODUCT產品：單晶硅棒部門ORIGINATOR編制APPROVE審核QC質量MFG制造WORKSTATION工序名稱：石墨件的安裝與裝料準備簽名隸屬：單晶車間日期PAGE：第1頁OF共2頁目的規范石墨件的安裝與裝料準備，確保裝料的工藝衛生。適用范圍適用于裝爐作業作業內容一·安裝石墨件1、安裝前需檢查：1.1、熱場的所有石墨器件必須是經過鍛燒合格方可使用。1.2、檢查主室底座的清潔度，確定電極柱周圍及坩堝軸端面上沒有石英、石墨碳氈及硅粉顆粒。2、底盤安裝：將熱場底盤放在主室底座上，底盤安裝須平穩。底盤邊緣與主室底座內壁的距離應相等。底盤上的電極孔、中心孔要與主室底座的孔對應、對正。3、裝電極柱：裝電極柱：裝電極柱時不宜太緊，否則容易漲裂引起電極打火。裝電極柱時要檢查兩個電極柱是否在同一水平面上。4、裝石英環：在裝石英環時，先用吸塵設備吸除電極周圍的粉狀雜物。確保石英環在電極和底盤之間起到絕緣作用。5、裝石墨加熱器：安裝加熱器時，電極螺絲必須擰緊，加熱器與電極的接觸部分須墊碳箔，否則會引起放電、打火事故。必須注意的是，每次清爐時電極螺絲先松掉后再擰緊。以防硅蒸汽進入電極螺絲和加熱器腳之間的縫隙使之粘住無法拆卸。檢查加熱器上口是否處于同一水平面。6、安裝石墨中軸連接桿：安裝連桿時，緊固連桿的螺絲必須加墊片，連桿上下左右晃動的間隙小于1mm。連接桿必須處于正中心位置。安裝石墨堝托、三瓣堝：堝托安裝須平穩，下降坩堝軸至最低位置時距離加熱器腳應不少于2cm。堝托與三瓣堝裝配時必須緊密配合（裝配時主要檢查三瓣堝的底部與堝托是否因加工誤差造成高度不一致，裝配不緊密）。下降并轉動坩堝軸，檢查托身上口與加熱器上口是否在同一平面。如不在同一平面，檢查連桿的錐度與下軸的錐度配合是否緊密，如不緊密須修正連桿的錐度或由設備維修人員檢修下軸調節下軸的垂直度。當三瓣堝上口和加熱器上口在同一平面時,將此時的堝位記錄在運行記錄本上。檢查三瓣堝與加熱器之間的間隙是否均勻(三瓣堝與加熱器之間的間隙相差應小于3mm)。7、裝保溫筒:保溫筒必須平穩地安裝在底盤止口上,并須檢查保溫筒與加熱器之間的間隙是否均勻。用絲光毛巾或無塵紙蘸少許無水乙醇擦凈主室底座與主室接觸的密封部位。轉回主室直至主室上的導向孔對準導向柱為止。按下控制面板上”下降”按鈕,使主室平穩地停在底座上。8、對準溫度信號孔:保溫筒上的溫度信號孔必須和主室爐筒溫度信號孔對正，如不對正可旋轉保溫筒調節9、裝上保溫罩：上保溫罩必須平穩地裝在保溫筒上,所有止口必須到位；裝好隔氣環壓蓋；10、石墨件安裝完畢后，如熱場需要煅燒，則進入《安裝導流筒及大蓋》、《合好爐蓋》、《副室的清掃、安裝》、《安裝籽晶》、《抽空》和《煅燒》工序；注意事項及原由裝堝桿、堝底、堝盤時要認真、細心，防止碰壞保溫材料或加熱器；一定要擰緊堝桿螺絲，防止因松動造成液面晃動；確認堝桿、堝底、堝盤是否吻合，若有異常及時處理并報告班長或車間主管；二·裝料準備認真打掃爐體周圍地面，爐筒、爐蓋的外側及周邊，用沾有酒精的紙巾擦拭干凈；從指定的場所取指定的硅原材料及石英坩堝；將取來的硅原材料放在裝料車上，并與料單對照核實下；帶好防塵口罩、裝料用的手套；遠離操作區，用吸塵器將操作者身上浮塵吸凈；穿戴好裝料用的專用工作服，戴好工作帽子帶好防塵口罩、裝料用的手套；注意事項及原由徹底打掃爐體及周圍衛生，防止裝料過程中造成污染；取來的硅原材料及石英坩堝應與上次的數據對照，防止影響單晶型號及各種參數；三·石英坩堝的檢查安裝1、打開石英坩堝包裝，取出石英坩堝，檢查有無異物。對光檢查石英坩堝的內壁有無裂紋、污物、氣泡和黑點；如有直徑大于2mm里層氣泡拒絕使用。2、若無異常，用氮氣或氬氣對石英坩堝做認真仔細的整體吹掃，吹凈浮塵；3、確認無誤后輕輕放入三瓣堝內，放平，高出三瓣堝內要均勻。裝好后開堝轉看堝是否對稱。注意事項及原由一定要仔細檢查石英坩堝是否有異常，石英坩堝若有異常可能會導致成晶困難或漏硅；石英坩堝內殘留浮塵會嚴重影響成晶，吹掃時不要使