1 2 4 11.0.3電子化學品工廠設計應遵循國家有關方針政策，在不斷總結設計、建設和生產實踐的基礎上，采用新工藝、新材料和新設備，符合節約能源1.0.4電子化學品工廠設計除應執行本規范外，尚應符合國家現行有關標2電子信息行業工藝制造過程中使用的專用化學品或化工材料，主要包括濕式化學品、特種氣體、光刻膠、研磨液、膜材料、顯示材料、前驅體電子信息行業工藝制造過程中使用的，主體成分純度較高（一般純度大于99.99%對金屬、顆粒物等雜質有含量限制的、常溫常壓下為液態電子信息行業工藝制造過程中使用的常溫常壓下為氣態的化學品，一般應用于薄膜、刻蝕、清洗、離子注入、摻雜、外延、稀釋等工藝過程，源、金屬氮化物MO源、金屬薄膜MO源，其成分一般為高純金屬有機化32.0.10化學品裝卸柜chemicalloadingan42滿足設備搬入、安裝、調試、檢修、維護及生產3.0.2電子化學品工廠對生產、倉儲、分析檢測以及特殊局部區域有潔凈環境要求的，其潔凈環境的設計，應符合《潔凈廠房設計規范》GB500733.0.3電子化學品工廠廠房或倉庫的防火間距，應符合《精細化工企業工3.0.4電子化學品工廠設計應合理利用資源，保護環境，防止和減少在建設生產活動中產生廢氣、廢水、廢液、粉塵以及噪聲等對環境的污染和危3.0.5如有使用或生產甲、乙、丙類液體和易溶于水的氣體的露天生產設54.1.1廠址選擇應符合國家工業布局及產業政策、區域規劃、行業規劃及根據產業規劃和化工企業布局的要求，都應在化工園區內建設。污染和危險性較小的電子化學品企業，也應建設在專門的電子化學品供應穩定性都有較高的要求，廠址選擇時，考慮在下游企業聚集的區域周邊建設，有利于產業鏈協同，保障下游生產穩定，也有利于化學品企業的生產和銷售。一般可考慮距下游企業汽車運輸一日內可達的距離。4.1.2散發有害物質的工廠廠址應位于鄰近居民區或城鎮全年最小頻率風向的上風側，且不應位于窩風地段，并應滿足有關防護距離的要求。有較高潔凈度要求的工廠，當臨近散發顆粒和有機污染源的工廠時，應位于其4.2.1總平面布置宜根據產品的生產特點和火災危險性，按生產、倉儲、4.2.2同一工廠生產不同種類的電子化學品時，宜條文說明：生產區域應根據生產工藝、火災危險類別、不同工藝裝置之間的聯系、危險因素等確定。電子化學品種類較多，一個工廠一般會生產多種產品，不同種類的產品分區域集中布置，有利于生產管理和全廠的64.2.3動力站宜全廠統一、靠近負荷中心布置；并應位于散發可燃氣體、蒸汽的廠房（生產設施）全年最小頻率風向的下風側。各生產車間內不宜條文說明：行業內有部分工廠動力設施就近設置在生產車間內或者貼臨建設，有利于生產控制。但動力設施故障或者動力供應中斷，對產品質量和生產安全都有較大影響，車間內的動力設施容易受工藝裝置的影響，從節能和安全角度考慮，集中建設動力設施更有4.2.4廠區道路及綠化的設置應符合以2電子化學品工廠廠區綠化，不應種條文說明：電子化學品純度較高，工廠內一般會設置有潔凈室，減少4.2.5全廠變、配電所不應設置在甲、乙類廠房內或貼鄰甲、乙類廠房，且不應設置在爆炸性氣體環境、粉塵環境的危險區域內。供甲、乙類廠房專用的10kV及以下的變、配電站可與廠房一面貼鄰，貼臨面應以無門、條文說明：電子化學品工藝裝置規模一般較小，其設備功率多為幾千瓦到幾十千瓦。用于甲乙類廠房內的攪拌電機，泵、風機等設備的配電設備，靠近用電設備布置，更經濟和合理。但是考慮到甲乙類廠房內物料的爆炸和火災危險，配電設備及其所在房間應該做相應的措施，以消除配電74.2.6供全廠多個工藝裝置使用的移動式原料槽罐車，應在廠區內設置專門的集中停車區或槽罐堆放區，并在該區域內設置固定式卸車設備，通過從供應安全的角度考慮，移動式儲罐也是儲罐，并且長時間停放有泄漏或作為原料罐或者產品罐使用時，可以停放在車間旁專門劃定的區域，見本85.1.1電子化學品工廠工藝設計應具有靈活性和適應性，不同工序的系統設計、設備選型應根據每個工序和單體設備的運轉效率及中間產品的操作5.1.2廠房的工藝區劃宜按產品生產工藝流程布置，廠房內合成、提純、條文說明：電子化學品生產過程包括不同工序，各個工序對廠房環境的要求不同，分工序集中布置，可將要求相近的設備布置在同一環境中，5.1.3工藝生產裝置內的設備、管道的材質以及管件應根據物料性質、工5.1.4工藝系統設計應滿足化學品純度控制要求。超高純電子化學品工藝條文說明：超高純產品由于其純度極高，取樣過程中容易造成樣品的5.2.1有純度要求的原料從槽罐車、桶、瓶中加入工藝裝置中時，應使用帶局部潔凈措施的卸車柜或化學品供應柜進行輸送。有火災和爆炸危險、條文說明：原料從包裝中加入工藝系統時極易受到污染，通過卸車或者加料設備進行輸送，可以避免物料的污染，保證生產品質，同時也可以95.2.2潔凈環境中不宜使用敞開式原料添加系統，因工藝特殊需求必須敞工藝設備組合一體的密封罩，裝料或卸料過程收集的有機廢氣應集中收集2敞開加料時，加料斗應做好防止物料溢散條文說明：敞開加料容易產生物料揮發，造成潔凈環境的污染，并產生安全風險，因此應盡量不使用敞開加料的系統，必須敞開時，需要設置局部排風，局部排風罩罩口應減小吸氣范圍，以減少空調和廢氣系統的符因工藝特殊需求必須采用間歇操作時，應根據反應安全風險評估等級設置5.2.4提純系統工藝設計應根據物料原料組分、提純難易程度及產品要求確定；精餾、萃取、吸收、吸附等提純工藝宜采用連續生產工藝，結晶、升華、凝華等提純工藝可采用間歇生產工藝。提純系統應配套設置不合格5.2.5桶裝、瓶裝、袋裝等小包裝原料應為敞口容器配置密閉通風柜，并將容器布置在通風柜內，且通風柜內應條文說明：可燃性物料如果在敞口容器中，容易揮發至環境中，造成環境空氣污染，并產生安全隱患。因此應盡量使用密閉容器進行物料混合配比。如果必須在敞開情況下操作，要將揮發性的物料限制在有限的密閉已有的光刻膠和部分小批量的化學品生產過程中，一些有機溶劑會使用直接從小包裝容器中倒入混配設備中的方法，發生過事故。這種操作也不利于產品質量控制，因此可燃性原料應使用加料設備通過管道輸送至相5.2.6氣體混配系統，宜設置稱重儀計量氣體質量。當混配精度要求不高條文說明：特氣最終產品大多是一種或多種氣體的混合物，并且有明確的比例要求，由于氣體的體積計量受到溫度、壓力的影響較大，因此采稱量時應根據混配的精度，選取合適精度的秤，由于容器本身重量不同，5.2.7原料預處理設備、提純設備及灌（充）裝裝置進入最終包裝容器前的管道上，均宜設置過濾設備，應根據產品質量要求選擇合適的濾殼材質條文說明：顆粒物是電子化學品中一種主要的雜質，顆粒物一般是原料中帶入或生產過程中產生，在原料、提純及最終包裝前設置不同精度的過濾器，可以保證顆粒物的有效去除。僅在原料端設置過濾器，無法去除5.2.8工藝設備及管道材料應選用防腐蝕、防滲析，防止金屬離子及顆粒條文說明：根據生產實踐，電子化學品中的金屬離子和顆粒物，有部分是從不潔凈的設備、管道、管件中析出的，這種析出的顆粒物在生產過程匯總不易檢測到，因此相關設備材料的選擇，應當考慮防止離子和顆粒物析出，優先選用已有使用經驗的材料。選用新材料的，應先對材料做析5.2.9含有易燃、有毒介質的生產裝置應設有事故緊急排放設施。排放的廢氣、廢液應根據介質種類及其危險性單獨其內部進行清洗。對不能含有水份的產品，宜設置烘干或除水設備對包裝條文說明：氣體混配后，將氣瓶靜置，僅靠氣瓶內氣體擴散，很難達到各組分混合均勻的狀態，因此一般設置氣瓶混勻機，混勻機可設置滾動式或者搖動式，但都應設置相應的防護和氣瓶固定，防止氣瓶從混勻機跌蝕性物料管線的吹掃時，宜使用獨立的氣瓶系統供氣。使用公用系統的惰性氣體吹掃時，吹掃氣源管路與公用系統接口的根部應設置止回閥和切斷條文說明：更換濾芯時過濾器內壁及新的濾芯會與環境空氣接觸，非潔凈環境會污染過濾器內部和濾芯。過濾的潔凈環境不一定要是永久的，條文說明：物料會在同一套真空系統和排氣管路匯合，從而有可能發5.3.2在灌（充）裝場地內外醒目處，應根據灌（充）裝物料特性設置符條文說明：灌充裝系統大多會涉及包裝容器和生產系統的人工連接，此區域的人工操作較多，人員進出該區域頻繁，容易產生誤操作，應在相5.3.3灌（充）裝設施的管道、閥門、連5.3.4灌（充）裝系統可與生產裝置布置在同一建筑物內，靠近前序生產5.3.5灌（充）裝系統可在系統旁就地設置裝置控制柜及控制面板，當系統處于爆炸危險環境時，其控制柜和操作面板應采用正壓通風防護或采取條文說明：根據行業生產需求，濕化學品的灌裝系統和氣體的充裝系統涉及到大量的更換包裝的人工操作，當人工更換好包裝容器時，會按控制系統的預設程序進行自動的灌（充）裝操作，當自控系統的操作面板位于現場時，便于人員在做完準備工作后，及時進行后續操作處理，因此可以就地設置控制系統的操作面板，操作盤等。但如果操作盤位于爆炸危險5.3.7灌（充）裝系統應設置流量或重量計量儀表，并與容器前進料閥連條文說明：生產實踐中，非自動的充裝設備經常發生過充或者溢出的5.3.8可燃、有毒或腐蝕性物料的灌（充）裝系統，應設置泄漏應急處理5.3.10氣體充裝系統應包括減壓、過濾、吹掃、抽真空、排氣、安全泄放功能。特種氣體宜使用自動充裝系統，使用非自動充裝系統時，應設置防2按工藝流程順序和同類型設備集中的葫蘆或設置固定吊點等措施，并按最大起重件尺寸預留吊裝通道或臨時放5.4.2設備操作平臺，宜多臺設備共用或使用聯合平臺，并合理利用建筑5.4.3生產操作、設備檢修過程中可能出現可燃、腐蝕性液體介質的區域5.4.4有爆炸危險的工藝設備宜布置在廠房或生產裝置區的一端或一側，5.4.5有空間高度要求的設備條文說明：如帶攪拌器的儲罐、反應器等。帶攪拌器的設備一般凈高比較高，為防止個別設備過高導致潔凈區層高加大，潔凈區能耗加大，應盡量將凈高比較高的設備集中布置，局部加高潔凈區層高，其余空間內層高保持正常。5.4.6同一產品的原料加料設備，反應、混配設備，提純設備及灌（充）裝設備，宜布置在同一建筑的不同房間內。同一類產品，可按前述設備分條文說明：便于分別控制潔凈度，以控制產品質量，并減少能耗。也5.4.7車間內應設計桶裝、瓶裝、袋裝等小包裝原料的暫存區域，暫存量條文說明：小包裝物料由于容量較小，加料頻繁，需考慮物料在車間設置固定的暫存區，便于隨時取用生產。同時也應控制暫存的總量，以減裝口區域設置局部高等級潔凈區。灌（充）裝設備傳輸線穿越不同潔凈等間內應設置排氣設施，排氣應進行收集和處理?？臻g內氣壓應小于周邊環條文說明：運輸一般使用叉車，人工液壓拖車搬運，一般使用托盤堆放，由于托盤寬度和叉車轉彎的需要，保證2m的運輸通道環境內可能散發比空氣中的可燃氣體或蒸汽時，應在秤坑內或邊沿設置可5.4.12有防微振要求的生產或檢5.4.13內部物料可能發生反應的不同設備不應布置在同一潔凈間內或共用5.5.1管道布置應滿足工藝流程、安全生產、施工、操作、檢修等方面的要求；應統籌規劃，集中布置，整齊美觀，并合理利用建、構筑物設置管5.5.2可燃氣體、可燃或腐蝕性液1應地上敷設。必須采用管溝敷設時，管溝內應采取防止介質積聚2跨越道路的管道，在道路上方段不應設置閥門及易發生泄漏的管3永久性的地上、地下管道，不得穿越與其無關的生產設施、生產5.5.3輸送易燃、助燃介質的管道在室2不應穿越不使用該類介質的房間，必須穿越時，應對該段管道加4管道的豎井或管溝應為不燃燒體。與在安全、防火、防爆等方面5不應設置在房間吊頂內以及管溝內，必須布置在管溝內時，管溝5.5.4用于電子化學品生產、存儲、輸送過程中所使用設備及管道材質不5.5.6有毒電子化學品管道宜選用金屬管道或套管，采用套管的，應在套5.5.7高純物料金屬管道宜采用卡套1自燃、有劇毒的特種氣體，宜采用VCR連接或套管輸送，使用套管時，外管可抽負壓或充氮氣維持正壓，外管應接壓力表或壓力報警器和2特種氣體管道和吹掃氣體管道和管件應采用奧氏體不銹鋼無縫鋼5.5.9高純氣體輸送系統的管道，應選用滲透性小、吸附性差的材料。宜5.6.1根據工藝操作的需求，電子化學品裝置可采用就地PLC控制和控制5.6.2電子化學品生產裝置就地自動控制，對于生產車間內的非爆炸危險區域，可就地設置PLC控制柜和操作面板，對布置在爆炸危險的區域的就地控制柜和操作面板，應采取防爆措施，且滿足爆炸危險區域內電氣防爆5.6.3工藝系統應采用DCS或PLC系統控制。欠氧、充氮的，使用甲、乙類可燃液體的場合，應設置獨立于過程控制系5.6.6可燃氣體或有毒氣體檢測信號作為安全儀表系統的輸入時，探測器宜獨立設置，探測器輸出信號應送至相應的安全儀表系統，探測器的硬件配置應符合現行國家標準《石油化工安全儀表系統設計規范》GB/T507705.6.7供配電系統設計應根據電子化學品工廠的特點、生產規模、負荷性5.7.2甲、乙類廠房內不應設置全廠分析檢測室，設置僅供本廠房內裝置5.7.3高純產品的生產車間內可設置在線分析裝置或設備。當在線分析設備布置在爆炸危險區時，應設置在獨立的封閉區域或柜體內，并應保持封閉區域或柜體內正壓通風，并設置內部壓力報警，且封閉區域或柜體內還條文說明：電子化學品純度較高，取樣時可能會污染產品，導致質量檢測不準確。級別要求高的電子化學品一般會設置在線檢測設備，在線檢測設備距離裝置產品出口不宜過遠，否則會影響檢測效果。檢測設備一般不具備防爆功能，為了保證生產安全，將檢測設備布置在爆炸危險區內，5.7.4分析檢測室中宜設置原料、產品及5.8.1電子化學品工廠應設置廢氣處理性廢氣、堿性廢氣、劇毒廢氣及含爆炸性粉塵廢氣等分別收集處理，不得205.8.3當廢氣系統可能混入空氣等含氧氣體時，且廢氣中的可燃氣體濃度5.8.4工藝裝置內排氣和需處理的環境排氣應使用獨立的管道系統排入廢5.8.5廢氣處理可采用吸附、吸收、熱分解、燃燒及以上幾種處理方式的5.8.6廢液回收設施，宜根據工藝裝置產出的廢液危險類別、濃度和數量5.8.7工廠產生的廢液、固廢、危廢，宜設置專門的儲存場所，并在場所216.1.1電子化學品工廠生產及儲存介質的火災危險性分類應符合現行國家6.1.2電子化學品廠房或倉庫的火災危險性類別應符合現行國家標準《建等級不應低于二級，有爆炸危險的甲、乙類廠房的承重結構宜采用鋼筋混6.1.4潔凈廠房（室）設計應滿足工藝總體布局要求，人流和物流運輸的6.1.5廠房的生產環境應滿足生產工藝的需求，并應考慮節能和安全的要6.2.1潔凈廠房（室）內設置甲、乙類物料暫存區、暫存間、溶劑清洗間暫存區、暫存間、溶劑清洗間的墻體、樓板、屋面的設計應符合現行國家6.2.2潔凈廠房內宜設置廢液暫存間或溶劑暫存間，宜設置在廠房一層，6.2.3當廠房的潔凈室內設有甲、乙類溶劑清洗間時，清洗間應通過強制22乙類溶劑或清洗劑進行設備或容器的清洗，由于清洗過程中溶劑會少量揮發至空間中，可能會對周邊房間的防火防爆設計產生影響，且房間內散發的甲乙類溶劑蒸汽散溢到周邊環境中，也會影響周邊潔凈區域。故清洗間6.2.4甲、乙類廠房內設置分析檢測室時，應以抗爆墻與生產區隔開，并6.2.5控制室、中心控制室應根據電子化學品生產規模和特點，并結合企1生產區與灌（充）裝區、清洗區可設在同一建筑物內，但應用實體墻隔開，并各自設置獨立出入口通向室外或2空瓶與實瓶區可設置在同一建筑物內，但不應在4有爆炸危險的化學品和無爆炸危險的化學品的灌（充）裝設施位于6.2.9劇毒物料的生產區域應單獨設置，與其他生產區域用墻體隔開，并23叉車搬運的物料，宜設置快速卷簾門和叉車風淋通道，且叉車通道寬度不6.3.1電子化學品工廠應根據工藝需要設計潔凈生產環境，并設置能夠控制環境中的微粒和影響產品質量的雜質的設施和對環境中的溫度、濕度、6.3.2潔凈室（區）內的物料儲條文說明：配備不影響潔凈室性能的工器具，裝置，以保證潔凈室的廠房潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應執行現行國家標準《潔凈廠房設6.3.4原料加入、產品灌（充）裝系統宜設置在萬級或千級潔凈環境內；如產品純度有更高要求，宜在灌（充）裝區域設置局部更高等級的潔凈環6.3.5當生產工藝無明確要求時，生產裝置所在潔凈室（區）的潔凈度、序號產品類別房間類別潔凈度溫度(℃)相對濕度（%）241光刻膠生產區十萬級23±145±5灌裝間千級23±145±5外包裝間萬級或千級23±345±10清洗間千級23±145±5洗瓶間千級23±345±5物料（緩沖）間萬級23±345±102濕式電子化學品/有機溶劑生產區/18~2630~70灌裝區萬級或千級18~2630~50分析檢測間千級19~2530~503清洗液/研磨液生產區/23±345±10容器清洗區萬級或千級23±345±10灌裝區千級23±345±10分析檢測間千級23±345±105特氣生產區/-45±5充裝區萬級或千級23±345±5分析檢測間千級23±345±56金屬前驅體充裝區萬級或千級23±345±106.3.6使用爆炸危險物料的潔凈室6.3.7潔凈室的設計應考慮節能要求，潔凈室的潔凈度、溫濕度滿足工藝6.3.8潔凈室裝飾材料及其密封材料不應采用對電子化學品品質有影響的材料，裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火6.3.9潔凈室（區）室內墻壁和頂棚的裝修應滿足使用功能的要求，且表253生產酸堿及有腐蝕性產品的環境，墻條文說明：備用機組是用來滿足潔凈度的要求。在空調系統檢修、更換濾網時，為保證潔凈室的連續運行，設置備用機組。備用機組的設置方式可以是設置兩臺或多臺小功率的空調，在一臺檢修時，其他空調可以保267.0.1工廠倉儲區應根據倉儲需求、存儲條件、消防、安全性等因素，結7.0.2工廠倉儲區面積及空間應與生產規模相適應，應能滿足設備設施安條文說明：工廠的倉儲區域應與生產規模適應，不宜過大或者過小，倉儲空間過小，在實際生產過程中，會導致物料臨時儲存在車間內或者室7.0.3產品有潔凈儲存要求時，不得將產品臨時儲存在潔凈生產區域內，條文說明：潔凈區一般是一個密閉的環境，如果將產品臨時放置在潔凈區內，一旦發生傾倒或者泄漏，會影響潔凈區域內生產；而且物料儲存會影響區域內的人員流線，造成安全隱患。所以產品必須及時轉運至車間7.0.4在生產車間外貼臨設置的供某一裝置專用的槽罐車裝卸區域，宜劃7.0.5裝卸有純度要求的物料，宜采用密閉裝卸柜，且裝卸柜的設置應采2有爆炸危險的物料裝卸柜內應設置物料泄277.0.6使用或儲存甲、乙、丙類可燃液體的倉庫應設置防止液體流散的設7.0.7移動式儲罐如果用作原料供應或者產品儲存功能時，應在廠區內設置獨立的存放區域，且儲罐堆疊不宜超過2層。存放區域應做地面硬化并設置物料截留溝或集液坑等安全防護措施。供某一裝置單獨使用的移動式7.0.9倉庫環境應陰涼、通風，不同類別化學品應分開存放，對于儲存條件（溫度、濕度、照度、光線等）或安全性有特殊要求的物料和產品，倉7.0.10有溫、濕度要求的存儲倉庫應配288.1.1電子化學品工廠消防給水系統的設計應符合現行國家標準《消防給8.1.2電子化學品工廠氣體滅火系統的設計應符合現行國家標準《氣體滅火系統設計規范》GB50370和《二氧化碳氣體系統設計規范》GB501938.1.3電子化學品工廠甲、乙、丙類液體儲罐（區）的泡沫滅火系統的設8.1.4電子