H00中華人民共和國國家標準靶材技術成熟度等級劃分及定義C國家市場監督管理總局國家標準化管理委員會ⅠGB／T39157—2020本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。本標準由中國有色金屬工業協會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。本標準起草單位：有研億金新材料有限公司、有色金屬技術經濟研究院、寧波江豐電子材料股份有限公司、貴研鉑業股份有限公司。本標準主要起草人：高巖、韓知為、熊曉東、騰海濤、趙永善、賀昕、邊逸軍、陳明、王傳軍、姚力軍、聞明、徐國進、管麗梅。1GB／T39157—2020靶材技術成熟度等級劃分及定義本標準規定了靶材技術成熟度的術語和定義、等級劃分和判定規則。本標準適用于靶材技術成熟度評價。2術語和定義下列術語和定義適用于本文件。2.1在濺射沉積技術中的陰極部分。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。2.2技術滿足預期靶材應用目標的程度。2.3用于衡量靶材技術滿足預期應用目標程度的尺度。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.2。2.4針對某一事物在規定的檢測條件下得出的相對數據。注：一般是指設計或生產時做出的性能測試報告。2.5在實驗室階段，根據靶材設計要求而制備的用于測試主要性能、結構和檢驗工藝性能的實物，具備了靶材的部分特性。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.3。2.6在靶材工程化階段，考慮最終形式，并在實驗室環境或使用環境下，對靶材關鍵性能和功能進行測試，通過小批量或小規模制備的實物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.4。2.7實驗室的檢測和校準設施以及環境條件，用于驗證技術原理和使用功能。2.8模擬真實使用環境，用以驗證靶材的關鍵性能或其主要組成部分的關鍵性能。GB／T39157—2020注：改寫GB/T37264—2018,定義2.6。2.9v靶材產品實際使用時的環境和工況。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.7。在產業化階段，生產工藝成熟，可批量生產，并能實現全部功能，完全滿足預期使用目標的實物。注：改寫GB/T37264—2018,定義2.5。3靶材技術成熟度等級劃分要求3.1靶材技術成熟度等級劃分表1靶材技術成熟度等級界定等級技術成熟度階段1靶材設計和制備的基本概念、原理形成實驗室階段2靶材的應用背景、使用環境、關鍵技術參數指標、制造工藝和工藝設備等內容得到明確3初步明確了靶材的實驗室技術方案，將概念、原理實施于靶材制備和工藝控制中，并初步得到驗證4實驗室制備工藝貫通，獲得靶材樣品，部分關鍵技術參數指標得到實驗室環境驗證。靶材技術應用的可行性得到驗證，提出了工程化轉化實施方案5靶材試制工藝流程貫通，獲得靶材試制品，結構和性能通過實驗室測試驗證。對關鍵試制工藝進行了評估，進行了初步的故障模式及影響分析工程化階段6靶材試制品通過模擬環境驗證，明確了關鍵生產工藝7靶材試制品通過使用環境驗證，完成靶材試制工藝流程優化，全面演示了技術的工程可行性8靶材產品通過用戶測試和認定，生產線完整，形成產品和技術規范產業化階段9靶材產品經驗證滿足客戶使用要求，能夠穩定生產，滿足質量一致性要求靶材產品生產要素得到優化，成批量穩定供貨3.2等級條件序號條件內容1明確了靶材研發基礎的基本概念和基本原理2依據基本原理提出了靶材的基本組分、結構和設計，并預測了基本性能及使用性能3通過實驗，觀察到了基本原理，相關技術資料上也已公布了觀察結果23GB／T39157—20203.2.2等級2應符合表3的規定。表3等級2條件序號條件內容1明確了靶材的應用背景和使用環境2明確了靶材關鍵技術參數指標3明確了靶材制造工藝和工藝設備等內容，提出了基本實驗室技術方案3.2.3等級3應符合表4的規定。序號條件內容1確定了靶材制備的實驗室實施方案2完成了靶材樣品制備的準備、原材料及相應的實驗設備3完成了靶材制備原理的驗證4明確了靶材結構與性能的測試內容與方法3.2.4等級4應符合表5的規定。序號條件內容1實現了實驗室工藝貫通，制備出靶材樣品2完成了結構和主要性能的實驗室環境測試3部分測試結果滿足關鍵技術指標要求4靶材技術應用的可行性得到驗證5實驗室工藝條件下保證靶材樣品的實現性、穩定性和可重復性，提出了工程化轉化實施方案3.2.5等級5應符合表6的規定。序號條件內容1試制工藝流程貫通，獲得了靶材試制品2靶材試制品的結構和性能通過實驗室環境測試驗證3依據靶材工程化實施方案，開展系統集成的初步研究，對關鍵試制工藝進行了評估，進行了初步的失效模式及影響分析3.2.6等級6應符合表7的規定。4GB／T39157—2020序號條件內容1完成模擬環境用靶材試制品驗證件的制備2試制品驗證件通過了模擬環境測試，分析了模擬環境和實驗室環境的差異3制定了完整的試驗驗證和測試方法，明確了關鍵生產工藝3.2.7等級7應符合表8的規定。序號條件內容1完成了試制品驗證件在使用環境中的測試，并通過應用評價2完成靶材試制工藝流程優化，全面演示了技術的工程可行性3完成了試制品的工程化制備及性能評價，完成生產的演示驗證3.2.8等級8應符合表9的規定。序號條件內容1完成靶材產品驗證件在使用環境中的全面測試和鑒定，分析了使用環境和模擬環境的差異2工藝穩定，工藝文件完整，完成產業化生產文件編制3掌握了產業化制備工藝技術4生產線通過環境、安全、職業衛生等相關評審5完成規模生產裝備的建設，生產線完整，具備小批量生產條件3.2.9等級9應符合表10的規定。序號條件內容1靶材產品經驗證滿足客戶使用要求2靶材產品滿足質量一致性要求，質量等級達到客戶要求3具備大批量穩定生產的能力，材料有穩定的供貨渠道4制定了靶材產品成本優化方案5完成了維修性、可靠性和保障性等數據的收集3.2.10等級10應符合表11的規定。5GB／T39157—2020序號條件內容1靶材產品的性能全部滿足使用需求2靶材制造過程受控且具備穩定生產的能力3靶材產品生產要素得到優化，滿足市場需求4靶材