XXXXXX電子科技有限公司文件編號：版本A：版次：生效日期：制定審核批準日期日期日期文件更改履歷表修訂版次更改性質、內容、摘要修訂頁次修訂日期文件會簽：擬案單位于□內“√”以示回簽部門總經理管理者代表市場部工程部制造部品保部物控部設備部管理部財務部采購部研發部此文件為江西華浩源電子科技有限公司之機密文件，未經許可，不得復印。發行管制章發行管制章XXXXXX電子科技有限公司 蝕刻線崗位操作規范制作單位：文件編號：生效日期：版本號：總頁數：第1頁共6頁1.0目的：規范員工操作,提高員工的操作技能。2.0適用范圍：本規程只適用本公司蝕刻工序的D.E.S線。3.0工藝流程3.1顯影段：撕聚酯膜→入板顯影1#/2#→高壓水洗1#2#3#4#→市水洗1#→冷風干→熱風干→收板→自檢3.2蝕刻段：入板→蝕刻1#2#3#→高壓水洗5#6#7#→市水洗2#→檢查3.3去膜段：入板→去膜1#2#→高壓水洗8#9#10#→市水洗3#→鈍化1#2#3#→高壓水洗11#12#→市水洗4#→冷風干→熱風干→出板4.0工藝參數曝光能量與顯影參數對照表類別曝光能量顯影溫度顯影速度藥水濃度備注線路5級28℃1.2-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.3-1.6m/minCO32-8-15g/L32℃1.5-1.8m/min線路6級28℃1.3-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.4-1.6m/minCO32-8-15g/L32℃1.6-1.8m/min線路7級28℃1.3-1.5m/minPH值10.4-1130℃1.5-1.7m/minCO32-8-15g/L32℃1.6-1.8m/min油墨7級28℃**m/minPH值10.4-11不準生產30℃0.9-1.1m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產品32℃1.0-1.2m/min油墨8級28℃0.8-1.0m/minPH值10.4-11只限于BGA產品30℃0.8-1.0m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產品32℃1.0-1.2m/min油墨9級28℃**m/minPH值10.4-11不準生產30℃0.7-0.9m/minCO32-8-15g/L只限于BGA產品32℃0.8-1.0m/min油墨10級28℃**m/minPH值10.4-11不準生產30℃0.7-0.9m/minCO32-8-15g/L32℃0.8-1.0m/min油墨11級28℃**m/minPH值10.4-11不準生產30℃0.6-0.8m/minCO32-8-15g/L32℃0.8-1.0m/min油墨12級30℃0.8-1.0m/minPH值10.4-11帶阻焊橋的產品32℃0.9-1.1m/minCO32-8-15g/L蝕刻線崗位操作規范制作單位：文件編號：生效日期：版本號：總頁數：第4頁共6頁5.4接板5.4.1戴棉手套或指套雙手對角拿板,將板平整的放綠板上，注意拿板位置盡量拿板邊緣。5.4.2將生產板與綠膠片擺放整齊。5.4.3連續生產時，一旦發現出板不連續必須立即查看蝕刻機是否在卡板。如果出現卡板，立即按下紅色的急停按扭，由領班或儲干輕輕取出所卡之板，如取出所卡之板需拿出輸送輪、軸時，要由領班或儲干拿出，并做好記號，按原位裝回，不得調亂位置。5.5關機5.5.1將各水洗槽的進水閥門關閉，最后關閉總水閥。5.5.2按開機相反順序關機。6.0注意事項6.1添加物料時必須戴膠手套及防護眼罩、防酸圍裙和水鞋(如圖1)。6.2機器卡板時必須立即按下紅色的急停按扭使機器停下后再開蓋取板(如在藥水缸處卡必須戴好防護用具再開蓋取板，取出后即刻將板清洗干凈)。6.3入料時應盡量使板位于機器中間位置,以保證受噴灑位置最好。6.4入料時板與板間距應在10cm以上,寬度應在530mm以內，防止出現卡板（特別是單面板）。6.5銅厚0.5OZ以下的單面板必須帶回形框或載板過機。6.6蝕刻鋼片時必須在顯影后轉絲印用110℃烘烤12min,然后再蝕刻。6.7接板人員必須戴綿手套或指套作業,并將板放整齊。6.8每批板批量生產前必須先做首板,首板張數等于菲林數(曝光、顯影、蝕刻時每批每次只蝕刻2PNL)，待首板OK后，再量產。6.9在每班生產前必須通知化驗室分析藥水及測量各藥水缸溫度。6.10蝕刻線生產時顯影必須自檢，蝕刻后必須抽檢。6.11生產線藥水添加時必須有領代班、主管或工程師在場確認，避免意外事件發生。6.12如發生藥水泄漏、火災等異常時,請按《緊急應變措施辦法(QCW091)》處理。6.13顯影換缸時，先加水到液位再加碳酸鉀，保養時先加水開啟循環后再加氫氧化鈉并手動攪拌，以免氫氧化鈉結成塊。7.0維護保養7.1.1每班對機身及機臺清潔一次。7.1.2每2小時檢查各壓力,溫度液及噴嘴是否正常,并使之正常。7.1.3每2小時檢查顯影,去膜段消泡是正常，每次補加消泡劑300ml稀釋成1000ml后加入。7.1.4每2小時用清水（DI水）清洗吸水棉轆一次。7.1.5每班檢查傳送鏈條及輸送輪轉動,儀表是否正常,是否需加潤滑油。7.1.6每班清潔蝕刻藥水箱過濾袋一次。7.1.7每班清潔去膜的干膜渣一次。7.1.8每三天更換顯影段的水洗缸一次，換水時用碎布擦洗缸壁。7.1.9每三天對蝕刻、去膜、鈍化的水缸更換水洗一次。7.1.10每三天對全線的棉芯及水泵過濾網清潔一次。7.1.11每周全線的棉過濾芯更換一次。7.1.12每周烘干段風機空氣濾棉反吹清潔一次(需設備組配合,如太臟需更換）蝕刻線崗位操作規范制作單位：文件編號：生效日期：版本號：總頁數：第5頁共6頁7.2設備的保養7.2.1顯影段保養（半個月一次）7.2.1.1排掉缸內的藥水和水。7.2.1.2用清水清洗缸壁，必須清除污物、沉淀及結晶體，清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.1.3加水至液位，加1桶（25kg）氫氧化鈉（NaOH），噴淋循環1-2小時后排掉。7.2.1.4加清水，開啟噴淋30分鐘后排掉。7.2.1.5加水至液位，加2桶硫酸，噴淋循環1-2小時后排掉。7.2.1.6加水噴淋30min排掉，拆下噴嘴清洗，安裝（保證噴嘴成“一”型）調整擺架7.2.1.7所有廢液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理7.2.1.8加水至液位，加8kgK2CO3，循環升溫。7.2.1.9各水洗缸排掉原水后按7.2.1.2—7.2.1.6流程保養，但是氫氧化鈉及硫酸都是用5%，具體添加量由各缸的體積來決定，而無噴嘴段的滾輪要用高壓水槍沖洗。7.2.1.10風干段的滾輪要取出清洗（需設備組協助，取出時做好順序標記，按原位裝回）。風刀用壓縮空氣進行清潔。7.2.1.11保養好后，要檢查各滾輪運行是否正常，確保無誤后方可進行生產。（顯影缸體上的油墨殘渣，在用堿進行循環前先用洗網水擦干凈）。7.2.2蝕刻段保養（每2個月一次）7.2.2.1將蝕刻液用桶裝起來。7.2.2.2用水清洗缸體內的雜質及沉淀后排掉，清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.3用5%的氫氧化鈉（NaOH）循環1-2小時后排掉，再加清水循環15分鐘后排掉，氫氧化鈉清洗液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.4用5%的鹽酸循環30分鐘后排掉，再加清水循環15分鐘后排掉，鹽酸清洗液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理。7.2.2.5拆下噴嘴清洗疏通，安裝噴嘴調整為“一”字型。7.2.2.6將藥水抽回缸里循環升溫。7.2.2.7對于水洗缸排掉原水后按7.2.2.2-7.2.2.5進行保養，而噴灑不到的滾輪要用高壓水槍沖洗干凈。7.2.2.8保養好后，要檢查各滾輪運行是否正常，確保無誤后方可進行生產。7.2.3去膜段保養（1個月一次）7.2.3.1排掉原液，加清水循環20分鐘排掉，。7.2.3.2去膜缸及其水洗缸：用5%的硫酸循環1-2小時后排掉，再加清水循環半小時后排掉。7.2.3.3鈍化缸及其水洗缸：用5%的氫氧化鈉（NaOH）循環1-2小時后排掉，再用5%的硫酸循環半小時后排掉。7.2.3.4所有廢液和清洗廢水排入廢水站綜合廢水池凈化排放處理7.2.3.5風干段的滾輪要取出清洗（需設備組協助，取出時做好順序標記，按原位裝回）7.2.3.6保養好后，要檢查各傳送輪運行是否正常，有無不轉或跳動，確保無誤后方可進行生產。蝕刻線崗位操作規范制作單位：工藝部文件編號：生效日期：版本號：總頁數：第6頁共6頁8.0異常問題與對策顯影不凈1.溫度過低。2.速度過快。3.噴嘴堵塞。4.預烘時間過長。5.藥液濃度過低。6.曝光能量過高。7.壓力過低。8.油墨過厚。9.菲林擦花或粘有油墨。1.檢查加熱管是否正常，提高溫度。2.調慢速度。3.清洗噴嘴。4.減少預烘時間。5.分析調整或換缸。6.降低曝光能量。7.調整壓力。8.減慢顯影速度。9.檢查菲林。顯影過度1.溫度過高。2.速度太慢。3.藥水濃度偏高。4.壓力過大。5.預烘時間短。6.曝光能量低。7.油墨太薄。1.調整溫度。2.調快速度。3.加水調整濃度。4.減小壓力。5.加長預烘時間。6.增加曝光能量。7.加快顯影速度。欠蝕刻1.溫度過低。2.蝕刻速度過快。3.藥液濃度過低。4.噴嘴堵塞。5.壓力過低。6.板面有銅粒/膠。7.顯影不凈。8.銅后度不均。1.調整溫度。2.調慢速度。3.按藥水最佳值添加。4.清洗疏通噴嘴。5.調整壓力。6.貼膜前處理銅面。7.調整顯影參數。8.鍍銅控制其厚度。過蝕刻1.溫度過高。2.蝕刻速度過慢。3.藥水濃度偏高。4.壓力過大。1.調