PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANIII目 錄一、建設項目基本情況 1二、建設項目工程分析 22建設內容 22項目概況 22建設規模 23建設內容 24平面布置 29主要設備、原輔材料及燃料 29水平衡分析 41工藝流程和產排污環節 45本項目各生產工序介紹及產排污情況 47清洗工序及產污環節分析 47化學氣相沉積（CVD）工序及產污環節分析 49快速升降溫（RTP）工序及產污環節分析 50熱氧化工序及產污環節分析 52物理氣相沉積（PVD）工序及產污環節分析 54電化學沉積工序及產污環節分析 56光刻工序及產污環節分析 57刻蝕工序及產污環節分析 61離子注入 63背面減薄/劃片工序及產污環節分析 65BUMP凸塊工序及產污環節分析 66電學測試工序 68大宗氣站工藝簡述 68各類污染物排放情況匯總 70平衡分析 76氯平衡 76氟平衡 78氨平衡 80硝酸平衡 82磷平衡 83硫平衡 84硅烷平衡 85揮發性有機物平衡 85砷平衡 89金屬平衡 90三、區域環境質量現狀、環境保護目標及評價標準 96四、主要環境影響和保護措施 122廢氣環境影響和保護措施 125廢氣產生與收集系統 125廢氣污染物排放及治理情況 127全廠廢氣排放速率達標分析 141非正常工況廢氣排放分析 142全廠廢氣排放量及排放口情況 145大氣污染物年排放量核算 146廢氣污染防治措施 147廢氣環境影響分析 157廢水環境影響和保護措施 157廢水處理系統類型及規模 158廢水污染物排放及治理情況 158事故狀況下污染物排放 166全廠廢水排放量及排放口情況 168廢水污染防治措施 171依托污水處理廠的環境可行性分析 176噪聲環境影響和保護措施 178噪聲污染源及防治措施 178噪聲環境影響分析 180固體廢物環境影響與保護措施 182固體廢物產生情況 182固體廢物暫存及處置情況 186地下水環境影響和保護措施 188地下水污染源及污染途徑 188地下水環境保護措施 189土壤環境影響和保護措施 190環境風險分析 192環保投資 193環境監測計劃 194污染物排放情況匯總 195五、環境保護措施監督檢查清單 198六、結論 201附表 202建設項目污染物排放量匯總表 202附圖 207附圖1 地理位置圖 207附圖2 珠海市香洲區環境管控單元圖 208附圖3 廣東省“三線一單”生態環境分區管控圖 209附圖4 珠海市高新區金鼎組團A305C06管理單元控制性詳細規劃修改用地規劃圖 210附圖5 珠海市高新區金鼎永豐片區區域規劃范圍圖 211附圖6 環境質量功能區劃圖（聲環境） 212附圖7 珠海市環境空氣質量功能區劃分圖 213附圖8 珠海市生態控制線分級管制區圖 214附圖9 環境質量功能區劃圖（水環境） 215附圖10 珠海市飲用水源地及保護區劃分現狀圖 216附圖11 項目周邊關系圖 217附圖12 環境保護目標分布圖 218附圖13 總平面布置 219附圖14 本項目環境大氣、噪聲監測點位示意圖 220附圖15 1號生產廠房平面布置圖（工藝區劃） 221附圖16中山市環境空氣質量區劃圖 222附圖17雨水管網、消防廢水收集管線、事故切換閥示意圖 223附圖18污水管網圖 224附圖19項目運營期環境監測計劃監測位置圖 225附圖20本項目噪聲預測等值線圖 226附件 227附件1營業執照 227附件2項目備案證 228附件3《關于電子行業使用低VOCS含量清洗劑替代乙醇、丙酮的可行性專家咨詢意見》 229附件4類比項目產污情況說明 230附件5純廢水化學品種類和預估用量 232附件6擬采用的純水系統制備流程圖 233PAGEPAGE1一、建設項目基本情況建設項目名稱砷化鎵半導體晶圓生產線項目項目代碼2309-440402-04-05-859152建設單位聯系人聯系方式建設地點珠海市高新區金瑞二路（道路建設中、龍圖科技旁）（珠海高新技術產業開發區）地理坐標（31分56.690秒，22度23分33.030秒）國民經濟行業類別建設項目行業類別建設性質新建（遷建）□技術改造建設項目申報情形首次申報項目不予批準后再次申報項目超五年重新審核項目□重大變動重新報批項目（核準/備案（填）珠海高新區發展改革和財政金融局項目審批（核準/備案）文號（選填）/總投資（萬元環保投資（萬元）環保投資占比（%）施工工期是否開工建設■否是： 用地（用海）面積（m2）39534.77專項評價設置情況500米范圍內有敏感保護目標，因此設置大氣專項評價。因此無需設置海洋專項評價。規劃情況規劃名稱：《珠海市高新區金鼎組團A305c編制單元控制性詳細規劃修改》審批機關：珠海市人民政府批準文號：珠府批[2018]97號規劃名稱：《珠海市高新區金鼎組團A305c06管理單元控制性詳細規劃修改》審批機關：珠海市人民政府批準文號：珠（高新）府自然資批[2021]94號規劃環境影響評價情況無規劃及規劃環境影響評價符合性分析與《珠海市高新區金鼎組團A305c編制單元控制性詳細規劃修改》符合性分析A305c編制單元控制性詳細規劃修改》（以下簡稱“規劃”）A305c編制單元，東至京珠高速公路珠海段313.22公頃。本項目位于廣東省珠海高新技術產業開發區，屬于珠海市高新區金鼎組團A305cA305c06此規劃的強制性內容包括編制單元及管理單元主導屬性、人口規模、單元用地面積、總建筑面積、公共服務設施、市政公用設施、道路交通設施、綠地與廣場和歷史文化保護等內容。根據規劃的要求，本項目所在地為工業用地，不涉及公園綠地、防護綠地、水域等其他用地類型。承擔金鼎組團重要高新科技產業園區、公共服務中心、居住職能。規劃的發展目標為踐行生態文明，推動創新驅動，將規劃區建設為珠海市創新產業園區建設、TOD與《珠海市高新區金鼎組團A305c06管理單元控制性詳細規劃修改》符合性分析A305c06管理單元控制性詳細規劃修改》的規劃范A305c06管理單元，本項目選址為廣東省珠海高新技術產業開發區，位于中珠渠北路北側，金鼎西路的東側，項目用地位于管理單元A305c0604-5內，屬于工業用地，符合規范的規劃范圍要求。其他符合性分析一、產業政策符合性分析1 （2019年本190.8微米以下集成電路制造，及球柵陣列封裝（BGA）、插針網格陣列封裝（PGA）、芯（CSP）（MCM)（LGA）（FC）（WLP）（MEMS）等先進0.82、根據國家發展和改革委員會公布的《市場準入負面清單（2022年版）》，本項目不屬于負面清單中禁止準入事項，亦不屬于許可準入事項，屬于市場準入負面清單以外的行業，且不涉及與市場準入相關的禁止性規定。3 依據《珠海市產業發展導向目錄（2020年本1.由上分析，本項目的建設符合國家、珠海市的相關產業政策。二、選址合理性分析本項目位于廣東省珠海高新技術產業開發區。項目租用珠海格創投資股份有限公司在建“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”的廠房。廠房的用地性質為工業用地，已取得建設用地規劃許可證（地字第4404022023YG0003326號）。本項目對產生的污染物進行綜合治理后，污染物均能達標排放，項目對周圍環境影響較小。在嚴格執行本評價要求的環保措施的條件下，項目選址可行。三、環境功能區劃的符合性分析本項目位于廣東省珠海高新技術產業開發區，項目地塊位于管理單元A305c06，位于中珠渠北路北側，金鼎西路的東側。根據《珠海市高新區金鼎組團A305c編制單元控制性詳細規劃修改》及其他規劃文件，周邊環境功能區規劃見下表。1與周邊環境功能區劃的符合性分析要素環境功能區劃文件環境標準執行情況地表水環境《珠海市高新區金鼎組團A305c編制單元控制性詳細規劃修改》（珠府批[2018]97號）本項目所在區域執行《地表水環境質量標準》（GB3838-2002）Ⅲ類標準地下水環境《廣東省地下水功能區劃》（GB/T14848-93）Ⅲ類標準飲用水源保護區飲用水水源保護區的請示》（〔2018〕51號）及《廣東省人民政府關于調整珠海市部分飲用水水源（2018314號）本項目不在珠海市飲用水源保護區范圍內，詳見附圖9。大氣環境《珠海市生態環境局關于印發<珠（2022年修訂（珠環[2022]197號）《珠海市高新區金鼎組團A305c編制單元控制性詳細規劃修改》（珠府批[2018]97號）本項目所在地環境空氣質量二類區，詳見附圖7；聲環境《珠海市生態環境局關于印發珠海市聲環境功能區區劃的通知》(珠環[2020]177號)本項目所在地聲環境質量功（GB3096-2008）3類區，詳見附圖6。四、“三線一單”符合性分析本項目正在申請節能評估的審批，根據項目節能評估報告，項目能耗情況匯總如下：表2 本項目能耗情況一覽表（2021〕368號調整。根據目廣東省“兩高”項目范圍以《廣東省“兩高”項目管理目錄（2022年版（20221363號3973集成電路制造業，不屬于目錄列明的8項兩高項目范疇。表3 與《廣東省“三線一單”生態環境分區管控方案》（粵府[2020]71號）相符性分析表內容相符性分析相符性項目消耗能源品種項目消耗能源品種能源種類計量單位年需要實物量折標系數折標煤量（tce）電力萬kW?h7593.421.229tce/萬kW?h（當量值）9332.312.93tce/萬kW?h（等價值）20435.40天然氣萬m386.413.30tce/萬m31149.12柴油t5.231.4571tce/t7.62新水萬t69.282.571tce/萬m3（等價值）178.11氮氣m3120730680.0004tce/m3（等價值）4829.23氧氣m312840.0004tce/m3（等價值）0.51項目年綜合能源消費總量（tce）當量值10489.05等價值26600.00生態保護紅線全省陸域生態保護紅線面36194.3520.13%；一般生態空間面27741.6615.44%。全省海洋生態保16490.59平方根據規劃及《廣東省環境保護規劃綱要（2006~2020年）》，本項目所在區域不屬于生態紅線區域，符合生態保護紅線要求。相符全省水環境質量持續改項目所在區域空氣環境功能為二類區，聲環境功能3類區，項目納污水體金星門水道執行《海水水質標準》（G3097199準，不在水源保護區內。本項目在運營過程的廢水、廢氣、固體廢物和噪聲影響經有效的治理措施治理后對周圍環境產生的影響甚小。符合環境質量底線要求。善，國考、省考斷面優良環境質量底線水質比例穩步提升，全面V境質量繼續領跑先行，PM2.5年均濃度率先達到世界衛生組織過渡期二階段目標值（25微克/立方米），臭氧污染得到有效相符遏制。土壤環境質量穩中向好，土壤環境風險得到管控。近岸海域水體質量穩步提升。強化節約集約利用，持續本項目通過采用純水回用、純水制備廢水再利用等措施提高工業用水效率，單片排水量滿足基準排水量限值要求，不會超出區域資源利用上線，符合資源利用上線要求。提升資源能源利用效率，資源利用上線水資源、土地資源、岸線資源、能源消耗等達到或相符優于國家下達的總量和強度控制目標。從區域布局管控、能源資源利用、污染物排放管控環境準入負面清單和環境風險防控等方面明確準入要求，建立“1+3+N”三級生態環境準入清單體系。“1”為全省總體管控要求，“3”為“一核一帶一區”區域管控要求，“N”為1912個陸域環境管控單元和471個海域環境管控單元的管控要求。項目不屬于區域布局管控、能源資源利用、污染物排放管控和環境風險防控等方面明確禁止準入項目，符合環境準入負面清單要求。相符“一核區域布局管控要求禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業自備電不屬于禁止建設項目，用電、用氣均由市政提供。本項目所使用的有機物原輔材料一站，推進現有服役期滿及帶落后老舊的燃煤火電機組一區”總有序退出；原則上不再新建燃煤鍋爐，逐步淘汰生物質鍋爐、集中供熱管網相符體覆蓋區域內的分散供熱鍋管爐，逐步推動高污染燃料控要擴建水泥、平板玻璃、化求——珠學制漿、生皮制革以及國家規劃外的鋼鐵、原油加工等項目。推廠應用低揮本項目為密閉機臺，且設置機臺的抽風系統，做到全部收集后經沸石轉輪+焚燒系統處理，最大限度減少揮發性有機物的排放。符合區域布局管控要求。三發性有機物原輔材料，嚴角格限制新建生產和使用高核揮發性有機物原輔材料的心項目，鼓勵建設揮發性有區機物共性工廠。能源資源利用要求本項目通過采用清洗水回用等措施提高工業用水效推進工業節水減排，重點率。生產廢水經廠區污水在高耗水行業開展節水改處理站處理后排入市政污造，提高工業用水效率。水處理廠。本項目位于廣加強江河湖庫水量調度，東省珠海市高新技術產業相符保障生態流量。盤活存量開發區，項目規劃用地為建設用地，控制新增建設工業用地，屬于珠海市土用地規模。地利用總體規劃的允許建設區，符合能源資源利用要求。污染物排放管控要求在可核查、可監管的基礎根據要求，本項目為新建項目，氮氧化物實施等量替代、揮發性有機物兩倍削減量替代，制定并落實項目運營期環境監測計劃。本項目生產廠房、化學品庫等均為密閉廠房，化學品存于密閉的氣瓶、儲罐等。本項目生產過程產生的一般固體廢物收集后交由回收公司處理，危險廢物交由具有危險廢物處理資質的單位處理。上，新建項目原則上實施氮氧化物等量替代，揮發性有機物兩倍削減量替代。以臭氧生成潛勢較大的行業企業為重點，推進揮發性有機物源頭替代，相符全面加強無組織排放控大力推進固體廢物源頭減量化、資源化利用和無害“市”試點建設。環境風險防控要求本項目環境風險事故發生概率較低，在落實相關防建立完善突發環境事件應急管理體系.險應急預案。提升危險廢范措施后，項目生產過程的環境風險總體可控。本項目有危險廢物產生，項物監管能力，利用信息化目建成后將依法編制事故手段，推進全過程跟蹤管應急預案，并嚴格落實應相符理；健全危險廢物收集體急預案及環評中提出各項系，推進危險廢物利用處措施和要求。項目產生的置能力結構優化。危險廢物經集中暫存后，定期交由有資質的單位處處置過程嚴格按照相關規定進行管理，符合環境風險防控要求。表4與《珠海市“三線一單”生態環境分區管控方案的通知》（珠府[2021]38號）相符性分析表環境管控單元編碼環境管控單元編碼單元名稱ZH44040220013香洲區唐家灣鎮重點管控單元內容相符性分析相符性生態保護紅線全市陸域生態保護紅線面202.59平方公里，占全市陸域國土面積的11.66%；一般生態空間面積131.57平方公里，占全市陸域國土面積的7.57%全市海域生態保護紅線3281.06平方公里。府辦公室關于印發珠海市生態控制線劃定工作方案的通知》珠府辦函[2015]2048。相符，環境質量底線到國家和省下達的水質目地水質達到或優于Ⅲ類水體比例為項考核指標達到省下達的目標要求。項目所在區域空氣環境功劃為3類區。本項目污水納入納污水體金星門水道執行《海水水質標準》（GB3097-1997）第三類標有效的治理措施治理后對周圍環境產生的影響甚小。符合環境質量底線要求。相符資源利用上線能源消耗等達到或優于省下達的總量和強度控制目標。本項目通過采用純水回用、純水制備廢水再利用等措施提高工業用水效率，單片排水量滿足基準排水量限值要求，不會超出區域資源利用上線，符合資源利用上線要求。相符全市生態環境準入共性清單區域布局管控要求禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業自備電站不得新建專業電鍍、冶煉、發酵等重污染項目。禁止在磨刀門水道兩岸及線水平外延五百米范圍內設活動。，屬于鼓勵發展產本項目不屬于磨刀門水道兩岸或流域范圍內，產生的廢水通過廠區自建廢水站處理后經市政管網排入北區污水處理廠再處理，最后地不屬于自然保護地核心區，符合區域布局管控要求。相符能源資源利用要求按照“控煤、減油、增氣、”原則，構建綠色低碳能源體系。對生產生活廢水進行深度在高耗水行業開展節水改造，提高工業用水效率。項目用氣為市政提供天然符合能源資源利用要求。處理廠區內生活污水；此外，本項目自建污水處理目出水水質滿足北區污水處理廠進水水質標準、《電子工業水污染物排放標準》（GB39731-2020）后排入北區污水處理廠進行處理。相符污染物排放管控要求實施重點污染物總量控制，重點污染物排放總量指標“兩高”項目應依據區域環有效的污染物區域削減措施，騰出足夠的環境容量。嚴格落實國家產品VOCs珠海市高新區金鼎組團A305c相符無VOs目錄（2022年版）”中涉及的“兩高”項目。庫等采取有效的防雨、防目所在廠區地面進行硬底相應的保護層，不存在土目產生的危險廢物經集中管控要求。性有機物兩倍削減量替代。加強土壤和地下水污染源點類別金屬污染防治和減物收集處理。環境風險防控要求加強危險化學品、重金屬、項目產生的危險廢物經集中暫存后，定期交由有資質的單位處理。危險廢物暫相符照相關規定進行管理，符合監控。環境風險防控要求。香洲區唐家灣鎮重點管控單元區域布局管控【產業/勵工業用地集中布局于金，位于廣東省珠海高新技鼎工業片區和科創海岸片術產業開發區，符合產業要求。散的一般性加工工業和村本項目不在劃定的生態控級工業規劃期內逐步向工制線管制范圍內，符合生態保護紅線要求，本項目不屬于自然保護地核心區，符合相符能制造等高新技術產業為要求。主導。【生態/，本項目不使用溶劑型涂料、固化劑、膠黏劑等原土空間規劃中統籌劃定落輔材料，本項目產生的非甲實三條控制線的指導意見》烷總烴主要來源于光刻工序中使用光刻膠等材料，由PAGEPAGE11態功能不造成破壞的8有限人為活動。【生態/還可開展國家和省規定不納入環評管理的項目建設，【生態/【生態/新鳳凰山地方級自然保護區按照自然保護地相關管理要求進行管控。【大氣/氣環境布局敏感重點管控進區域內行業企業提標改造。1-7.【其他/禁止類】禁止在單元區域內建設畜禽養殖場、養殖小區。廢氣的收集、廢氣處理設有效降低污染物的排放量本項目不屬于畜禽養殖場、養殖小區，符合區域布局管控的要求。能源資源利用【其它/能耗達到國際國內先進水平。【水資源/污三條紅線剛性約束。本項目在建設過程中將采用節能新技術、新工藝，將低能耗作為建設方案選擇的主要考慮因素，項目符合能源資源利用的要求。本項目不在飲用水水源保足基準排水量限值要求。相符污染物排放管控【水/舊工業廠房改造項目要實【水/采取控源截污、內源治理、生態修復、活水循環等措生的生產廢水經廠內自建廢水處理站處理后再排到滿足污水處理廠的納管要求。相符雞山排洪渠黑臭水體沿岸浮物、河床底泥。環境風險管控【水/處理廠和一體化生活污水處理設施應采取有效措施，防止事故廢水直接排入水體。本項目廠區內產生的生產廢水經廠內自建廢水處理站處理后再排到市政污水處理廠，排水水質滿足污水處理廠的納管要求。相符五、與環境保護規劃相符性分析1、《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822—2019）相符性分析“VOCs質量占比大于等10%VOCs產品，其使用過程應采用密閉設備或在密閉空間內操作，廢氣VOCs廢氣收集處理系統；無法密閉的，應采取局部氣體收集措施，廢氣VOCs廢氣收集處理系統。”本項目光刻工序的涂膠、前烘、曝光后烘以及清洗工序、回流焊工序中的有機洗焙等會產生有機廢氣。項目機臺與廢氣管道連接，產生的廢氣能全部收集并排入有機廢氣處理系統，經沸石濃縮轉輪焚燒系統/活性炭吸附系統處理后通過排氣筒排放。因此，本項目與《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822—2019）的要求相符。2、《廣東省涉揮發性有機物（VOCs）重點行業治理指引》（粵環辦〔2021〕43號）相符性分析根據《2020年揮發性有機物治理攻堅方案》中的規定，本項目揮發性有機物10VOCsC3973集成電路制造（VOCs）本項目不涉及膠粘劑、網印油墨、無溶劑涂料、輻射固化涂料的使用。使用VOCs原輔材料主要為清洗工序使用的有機溶劑。本項目以擬采取過程控制（VOCs）重點行業治理指引》的要求，具體見下表：本項目不涉及膠粘劑、網印油墨、無溶劑涂料、輻射固化涂料的使用。使用的含VOCs原輔材料主要為清洗工序使用的有機溶劑。本項目以擬采取過程控制措施、末端措施、環境管理要求均符合《廣東省涉揮發性有機物（VOCs）重點行業治理指引》的要求，具體見下表。表5 與《廣東省涉揮發性有機物（VOCs）重點行業治理指引》（粵環辦〔2021〕43號）相符性VOCs治理指引環節控制要求實施要求項目情況相符性源頭控制清洗劑有機溶劑清洗劑：VOCs含量VOCs≤900g/L；要求本項目使用異丙醇、丙酮作為有機溶劑清洗劑，采用電子級產品相符過程控制VOCs物料儲存物料應儲存要求項目使用的有機溶劑等VOCs物料均存儲余密閉的容器中，存放于化學品庫房內。相符盛裝VOCs物料的容器是否VOCs在非取用狀態時應加蓋、封口，保持密閉。要求項目使用的有機溶劑等VOCs物料均存儲余密閉的容器中，存放于化學品庫房內。化學品庫房地面均采取防滲措施。容器在非取用時均為密封保存。相符VOCs物料轉移和輸送液體VOCs物料應采用管道采用密閉容器或罐車。要求有機溶劑等VOCs物料采用密閉容器轉移。配送過程均采用密閉管道輸送相符工藝過程UV固質量占比大于等于10%物料的過程應采用密閉設備或在密閉空間VOCs廢氣收集處理系統；無法密閉的，應采取局部氣體收集措施，廢氣排至VOCs廢氣收集處理系統。要求本項目工藝設備均安裝在正壓潔凈室內，所有設備均為密閉設備，反應過程均在密閉腔室中完成。產生的廢氣全部負壓收集。排至廢氣收集處理系統。相符廢氣收集VOCs無組0.3m/s要求本項目產生廢氣均采用密閉管路收集方式，無無組織排放。相符廢氣收集系統的輸送管道應對管道組件的密封點進行泄要求所有設備均為密閉設備，反應過程均在密閉腔室中完成。產生的廢氣全部負壓收集。排至廢氣收集處理系統。相符500μmol/mol，亦不應有感官可察覺泄漏。廢氣收集系統應與生產工藝工藝設備不能停止運行或不氣應急處理設施或采取其他代替措施。要求本項目廢氣收集系統與生相符非正常排放載有VOCs物料的設備及其管道在開停工（車）、檢維修和清洗時，應在退料階段將殘存物料退凈，并用密閉容器盛裝，退料過程廢氣應排至VOCs廢氣收集處理系統；清洗及吹掃過程排氣至VOCs廢氣收集處理系統。要求料等過程產生廢有機溶劑均采用密閉管路收集排入產生的廢氣均為密閉管路收集后排入VOCs處理系統。清洗及吹掃過程排氣也經廢氣收集處理系統。相符末端治理排放水平年1月1日前的建設項目排放的工藝有機廢氣（DB4427-2001）第一時段限值；2002年1月1日起的建設項目排放的有機（DB4427-2001）初始排放速率≥3kg/h時，建設VOCs處理設施且處理效率≥80%。（2）廠區內無組織排放監控點NMHC的小時平均濃度值不超過6mg/m3，任意一次濃度值不超過20mg/m3。要求本項目廢氣排放執行生產設施排氣中非甲烷總≥3kg/h，VOCs處理設施且處理效率≥80%,廠區內無組織排放監控點非甲烷總烴執行廣源揮發性有機物綜合排放標準》（DB44/2367-2022）廠區內VOCs無組織排放限值，滿足小時平均濃度值不超過6mg/m3,任意一次濃度值不超過20mg/m3。相符治理設施設計與運行管理VOCs治理設施應與生產工治理生產工藝設備不能停止運行其他替代措施要求本項目廢氣收集系統與生32023年大氣污染防治工作方案》工作目標：2023年，全省空氣質量優良天數比例（AQI）達到94.1%，細顆粒物（PM2.5）23.5ug/m3。珠海市空氣質量優良天數比例（AQI）90.4%，可吸入顆粒物（PM10）37ug/m3，PM2.522ug/m310市，年均二氧化氮（NO2）20ug/m3的國控、省控站點，2023NO22020-20222-3ug/m3。經沸石濃縮轉輪焚燒系統/VOCs的VOCs的排放，符合方案要求。2023VOCsVOCs含量原輔材料應用，嚴格執行涂料、油墨、膠VOCsVOCs治理設施清理整VOCs企業分級管控措施。2023VOCs年103VOCs企業完成分級。VOCs（VOCsVOCs異丙醇和乙醇使用功能基本相似，化學性質相近，因此異丙醇在電子行業中也暫VOCs含量清洗劑替代方案。VOCs32.28VOCs新建有機廢氣的收集、廢氣處理設施，采用沸石轉輪燃燒，可有效降低污染物的VOCs治理設施，項目廢氣可實現達標排放，符合要求。4、《廣東省大氣污染防治條例》相符性分析條例規定重點大氣污染物排放總量控制指標。”“第十七條珠江三角洲區域禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組或者企業燃煤燃油自備電站。珠江三角洲區域禁止新建、擴建國家規劃外的鋼鐵、原油加工、乙烯生產、造紙、水泥、平板玻璃、除特種陶瓷以外的陶瓷、有色金屬冶煉等大氣重污染項目。火電、鋼鐵、石油、化工、平板玻璃、水泥、陶瓷等大氣污染重點行業企業及鍋爐項目，應當采用污染防治先進可行技術，使重點大氣污染物排放濃度達到國家和省的超低排放要求。”第二十六條新建、改建、擴建排放揮發性有機物的建設項目，應當使用污染防治先進可行技術。下列產生含揮發性有機物廢氣的生產和服務活動，應當優先使用低揮發性有機物含量的原材料和低排放環保工藝，在確保安全條件下，按照規定在密閉空間或者設備中進行，安裝、使用滿足防爆、防靜電要求的治理效率高的污染防治設施:無法密閉或者不適宜密閉的，應當采取有效措施減少廢氣排放：(一)石二)三)四)五)其他產生揮發性有機物的生產和服務活動。本項目屬于新建排放重點大氣污染物的建設項目，本項目按照相關規定，在報批環境影響評價文件前向珠海市生態環境局申請取得重點大氣污染物排放總量控制指標。2019年本)190.8微米以下集成電路制造，及球柵陣列封裝（BGA）、插針網格陣列封裝（PGA）、芯片規模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM)、柵格陣列封裝（LGA）、系統級封裝（SIP）、倒裝封裝（FC）、晶圓級封裝（WLP）、傳感器封裝（MEMS）等先進封裝與測試”，本項目產品0.8生產工藝，建設單位采取有效收集措施和可行高效的治理設施，收集治理項目產89%。本項目符合《廣東省大氣污染防治條例》的相關要求。5、《廣東省臭氧污染防治（氮氧化物和揮發性有機物協同減排）實施方案（2023-2025年）》相符性分析2025600NOx減排項目，10000VOCs減排項目，2000NOxVOCs持續下降。工作要求：工作思路。堅持精準、科學、依法治污，按照近期與中長期目標NOxVOCs，NOxVOCsVOCs深度治理，加強柴油貨車NOxVOCs排放監管。堅持突出重點、分區域、分行業、8-10月為重點時段，以廣州、深圳、珠海、佛山、惠州、東莞、中山、江門、肇慶及清遠市為省大氣污染防治的重點城市，其他城市在省統一指導下開展區域聯防聯控。強化臭氧污染防治科技支撐和技術幫扶，完善臭氧和VOCs監測體系，加強執法監管，切實有效開展臭氧污染防治。NOx放限值》（DB44/27-2001）2第二時段工藝廢氣大氣污染物排放限值后高空排標準》（DB44/2367-2022）13VOCs無組織排放限值后高空排放，滿足固定源減排要求，切實開展抽樣污染防治。其他涉VOCs排放行業控制工作目標：以工業涂裝、橡膠塑料制品等行業為重點，開展涉VOCs企業達標治理，強化源頭、無組織、末端全流程治理。工作要求：加快推進工程機械、鋼結構、船舶制造等行業低VOCs含量原輔材料替代，引導生產和使用企業供應和使用符合國家質量標準產品；企業無組織排放控制措施及相關限值應符合《揮發性有機物無組織排放控制標準（粵20214號VOCs水噴淋（VOCs除外）VOCs治理設施（惡臭處理除外），組織排查光催化、光氧化、水噴淋、低溫等離子及上述組合技術的低VOCs治理設施，對無法穩定達標的實施更換或升級改造。本項目使用光刻膠、異丙醇等均在密閉設備或密閉空間中進行，生產的過程VOCs廢氣全部負壓收集，排至有機廢氣收集處理系統，無無組織排放。本項目產生的非甲烷總烴主要來源于清洗工序中使用的清洗劑以及光刻工序中使用光刻膠等材料。此外，集成電路所使用的清洗劑未被列入《清洗劑揮發性有機化合物含量限值》（GB38508-2020），滿足國VOCs含量（在電子行業作為清洗劑廣泛使用，暫無成熟可行的低VOCs含量清洗劑替代方VOCs含量清洗劑替代方案。此外，本項目使用的異丙醇和乙醇使用功能基本相似，化學性質相近，因此異丙醇在電子行業中也暫無成熟可行的低VOCs含量清洗劑替代方案。6、《廣東省碧水保衛戰五年行動計劃（2021-2025年）》相符性分析202-2025（，2023（達到或優于Ⅲ類90.5%，劣Ⅴ類水體比例為0%2025年，廣東國家考核斷面水質優良比例穩定達到90.5%，縣級城市建成區基本消除黑臭水體。《計劃》明確10項重點任務，首先強調優先保護飲用水水源。2023年底前，完成縣級及以上城市集中式水源地規范化建設，基本完成鄉鎮級集中式水源保護區劃定和勘界立標，并高質量保護重要江河源頭生態。縣級及以上城市集中式飲用水水源地達到或優于Ⅲ類比例力爭保持100%。“一證式”2025年，省級以上工業園區實現污水全收集全處理。本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護區范圍，運營期廢水經廠內自建污pH（GB139731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，五日生化需氧量、動植物油滿足廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標準，滿足排入市政污水處理廠的水質要求。7、《城市黑臭水體治理攻堅戰實施方案》（建城〔2018〕104號）相符性分析根據《城市黑臭水體治理攻堅戰實施方案》的規定，要求強化工業企業污染對超標或超總量的排污單位一律限制生產或停產整治。排入環境的工業污水要符合國家或地方排放標準；有特別排放限值要求的，應依法依規執行。新建冶金、電鍍、化工、印染、原料藥制造等工業企業（有工業廢水處理資質且出水達到國家標準的原料藥制造企業除外）排放的含重金屬或難以生化降解廢水以及有關工業企業排放的高鹽廢水，不得接入城市生活污水處理設施。組織評估現有接入城市生活污水處理設施的工業廢水對設施出水的影響，導致出水不能穩定達標的要分質處理、應收盡收，禁止偷排漏排行為，入園企業應當按照國家有關規定進行預處理，達到工藝要求后，接入污水集中處理設施處理。本項目運營期廢水經廠內自建污水站處理后排入市政污水處理廠，本項目廢pH（GB39731-2020）1水污染物排放限值的間接排放限值要求，五日生化需氧量、動植物油滿足廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時段三級標準。氟化物滿足《電子工業水污（GB39731-2020）1直接排放標準。總銅、總鎳、總砷、總銀除滿足《電子工業水污染物排放標準》（GB39731-2020）1廠污染物排放標準》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不經污水廠處理達標排放。因此，本項目符合《城市黑臭水體治理攻堅戰實施方案》的相關要求。8定，要求強化全過程管控。嚴禁工業企業排放的含重金屬或難以生化降解廢水、有生物毒性廢水、高鹽廢水等排入市政污水收集處理設施。禁止向生活垃圾收集設施投放工業固體廢物。加強污水處理和垃圾轉運、處置過程臭氣治理。重點針對污水直排、污水處理設施不正常運行、生活垃圾隨意堆放、滲濾液偷排直排、惡臭擾民等問題，加強排查整治，建立問題和風險臺賬，制定整改方案，限期整改到位。組織開展污水垃圾處理設施建設、運行、維護、管理等技術培訓。本項目運營期廢水經廠內自建污水站處理后排入市政污水處理廠，氟化物滿（GB39731-2020）1水污染物排放限值的直接排放限值，滿足直接排放標準。總銅、總鎳、總砷、總銀除滿足《電子工業水（GB39731-2020）1足《城鎮污水處理廠污染物排放標準》（GB18918-2002）23排放限值要求，可不經污水廠處理達標排放。此外，本項目產生的生活垃圾存放在廠區東側生活垃圾存放區，由當地環衛部門統一清運處理。因此，本項目符合《關于推進建制鎮生活污水垃圾處理設施建設和管理的實施方案》的規定要求。9、與《固定污染源揮發性有機物綜合排放標準》（DB44/2367-2022）相符性分析相關要求項目情況相符性VOCs物料應儲存于密閉的容盛裝VOCs物料的容器或包裝袋應項目使用的化學品原輔料儲存相符存放于室內，或存于設置有雨棚、遮陽和防滲設施的專用場地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取于化學品庫房內，化學品庫房VOCs裝或罐裝密閉保存于危廢庫中，危廢庫地面進行防腐防滲處理。VOCs物料轉移和輸送無組織排放VOCs物料應當采用密閉管道輸送。采用非管道輸VOCs粒裝VOCs物料應當采用氣力輸送設備、管狀帶式輸送機、螺旋輸送機等密閉輸送方式，或者采用密閉的包裝袋、容器或罐車進行物料轉移。VOCs輸送。相符VOCs產品的使用過程：VOCs10%VOCs產品，其使用過程應采用密閉設備VOCs廢氣收集處理系統；無法VOCs廢氣收集處理系統。本項目使用光刻膠、異丙醇等均在密閉設備或密閉空間中進行，生產的過程均在密閉腔室中完成。生產過程中產生的VOCs廢氣全部負壓收集，排至有機廢氣收集處理系統。相符廢氣收集系統排風罩（集氣罩）GB/T16758的規定。采用外部排風罩的，應按GB/T16758WS/T757—2016規定選取在距排風罩開口面最遠處的VOCs無組織排放位置，控制風速0.3m/s（行業相關規范。本項目所有設備均為密閉設進行，無無組織排放。相符六、“十四五”規劃相符性分析1、與《廣東省生態環境保護“十四五”規劃》相符性分析表6 《廣東省環境保護“十四五”規劃》相符性分析序號環保要求本項目情況相符性1推動工業項目入園集聚發展，引導重大產業向沿海等環境容量充足地區布局。本項目位于廣東省珠海高新技術產業開發區，項目用地為工業用地，符合要求。符合2生皮制革以及國家規劃外的鋼鐵、原油加工等項目。、本項目符合PAGEPAGE213珠三角禁止新建、擴建燃煤燃油火電機組和企業燃煤燃油自備電站。本項目屬于項目用電為市政電網供電。符合4VOCs排放企業分級管控，全面推進涉VOCs開展中小型企業廢氣收集的評估，強化對企業涉VOCs生產車間/工序廢氣治理設施升級改造。本項目生產過程中產生的本項目有機廢氣濃度低、風量大，芯片生產廠房采用沸石轉輪+燃燒設施處VOCs排放，符合要求。符合2、與《珠海市生態環境保護暨生態文明建設“十四五”規劃》相符性分析表7 《珠海市生態環境保護暨生態文明建設“十四五”規劃》相符性分析序號環保要求本項目情況相符性1磨刀門水道兩岸及流域內500m場；畜禽禁養區內不得從事畜禽養殖業。本項目屬于，不屬于新建的重污染項目。本項目污水體為金星門水道，不屬于磨刀門水道及其周邊流域。本項目不屬于畜禽養殖符合2加強揮發性有機物綜合治理。實施低揮發性有機物（VOCs）含量產品原輔材VOCs含量限值和有害物建生產和使用高VOCs含量原輔材料項目。本項目不使用溶劑型涂料、固化劑、膠黏劑等原輔材料，本項目產生的VOCs主要來源于光刻工序中使用光刻膠等材料，由于集成電路對原輔材料純度要求極高，目前無法替代，且所使用的清洗劑GB38508-2020，轉輪燃燒/排放，符合要求。符合3嚴格實施VOCs排放企業分級管控，全面推進涉VOCs排放企業深度治理。開展中小型企業廢氣收集和治理設施建設、運行情況VOCs來源于，項目新建有機廢氣的收集、廢氣處理設施，采用沸石符合的評估，強化對企業涉VOCs生產車間/工序廢氣轉輪燃燒，封裝廠房回流治理設施升級改造。有效降低污染物的排放量及濃度，廢氣可實現達標排放。七、土地利用相關規劃符合性分析（道路建設中、龍圖科技旁珠海高新技術產業開發區A305c編制單元控制性詳細規劃修改》（珠府批[2018]97號）和《珠海市高新區金鼎組團A305c06高新[202]94號，（（地字第4404022023YG0003326號）（土地用途為一類工業用地）用途一致。PAGEPAGE26二、建設項目工程分析建設內容建設內容1 項目概況砷化鎵半導體晶圓生產線項目（以下簡稱“本項目”），由珠海華芯微電子有限公司投資建20232(珠海)(珠海)半導體擁有豐富的化合物半導體產線建設運營的經驗。。本項目租用珠海格創投資股份有限公司在建“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”的115000片的化合物半導體晶圓代工生產線，主要用于生產砷化鎵半導體晶圓。本項目建成后兼具高速發展的市場需求價值和國內產業鏈補短板的戰略需求價值。根據《中華人民共和國環境影響評價法（2018年修訂（2021年版682（2017年（2021年版3980397-集成電路制造”，需編制環境影響報告表。本項目租用珠海格創投資股份有限公司在建“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”的廠區，其主要經濟技術指標見下表。本項目地理位置圖見附圖1，周邊關系圖見附圖10。表8本項目基本情況表項目名稱砷化鎵半導體晶圓生產線項目建設單位珠海華芯微電子有限公司建設地點珠海市高新區金瑞二路（道路建設中，龍圖科技旁）四至范圍總投資產品方案勞動定員工作制

總建筑面積72118m2新建東側臨近金鼎東路；南側臨近金瑞二路；西側臨近金鼎西路；北側臨近金環西路。.本項目勞動定員為950人，其中管理人員40人、技術人員215人、研發人員45人、普通工人600人、其他人員50人。生產線工作人員：四班兩運轉，每班工作12小時。生產線設備：年運行360天，每天工作24小時，設備年時基數為8400小時（考慮設備升級保養及維修）；研發及行政辦公人員：單班工作制，全年工作251天；輔助生產、動力和值班按生產車間工作制度配套。2024年10月建設規模本項目廠區主要經濟技術指標見下表。序號名稱單位指標備注表9 本項目主要技術經濟指標一覽表序號名稱單位指標備注.10本項目建筑物指標一覽表.序 子項名稱 層數 建筑高（m）地上總建筑號 積（m2）

地下總建筑面積（m2）建設內容本項目租用珠海格創投資股份有限公司在建“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”的廠區， 。建設1座生產廠房、1座動力站、化學品庫房等。動力站設置純水站、廢水站、冷凍站等動力設施供各生產廠房使用。表11項目組成一覽表序 工程項目 建設內容 備號一、主體工程1 1二、輔助工程2純水制備系統

：4生產區為2層結構：2F4支持區為3層結構：1F:主要布置各類特氣間、有機氧化酸堿等供應位于地塊內西部，地上3層。1F：設置水池及泵房、純水站、廢水站等；2F：設置冷凍站、空壓站、啟動柜間、廢水站等；3F：設置變電所、柴發機房、空調機房等。1套，制備能力24m3/h。21號生產廠房的一層。

2號綜合動力站一層水冷卻塔系統冷凍水系統

工藝設備循環冷卻水循環量490m3/h。650m3/h，7臺。6/12℃和中13/19℃

支持區站屋面2號綜合動力站二層冷凍站部分熱回收機組，制取38/28℃低溫熱水，供純水制備及空調的使用。6壓縮空氣系統3570Nm3/h3+1臺，同時配置與供氣量相適應的干燥機、過濾器等后處理設備。2號綜合動力站二層1號生產廠房7真空系統3臺（21備），抽氣速率：180Am3/h，真空壓力：-660mmHg的真空泵機組。1號生產廠房支持區清掃真空系統僅預留空間，不設計及施工。8柴油發電系統31200KW柴油發電機，用作應急電源，2號綜合動力設室外柴油儲罐，容積20m3。站三、儲運工程位于1號生產廠房一層西側11號生產廠房中間倉庫1號生產廠房一層單層建筑，用于儲存硫酸、氫氟酸、磷酸等酸性23號甲類化學品庫物質，氨水、雙氧水等堿性物質，異丙醇、光刻膠等有機溶劑。34號大宗氣站區大宗氣體包括工藝高純氮氣和超純氮氣。這些大及大宗氣體供應宗氣體均需由管道供氣至設備使用點。根據化學品特性在1號生產廠房一層設置有機1號生產廠房一層溶劑間、有機儲罐間、酸供應間、堿供應間等。1號生產廠房的一層（潔凈下夾層）配送柜，再供應至二層工藝區工藝設備使用。1號生產廠房一層供應罐設置情況：有機溶應間：去膠液1：1200L×1。4液態化學品供應系統有機儲罐間：丙酮（Acetone）：20m3×1；異丙醇（IPA）：30m3×1；管道輸送至生N-甲基吡咯烷酮（NMP）：10m3×1。產廠房各使用點堿供應間：氫氧化鉀（KOH）：2000L×1；氫氧化四甲基銨（TMAH）：2000L×1。雙氧水供應間：雙氧水（H2O2）：5000L×1。5特氣供應系統11號生產廠房支持區四、公用工程擬從地塊南側接入兩路市政給水管，作為生產區1供水的生產、生活用水水源。接口管徑為DN200，供水壓力不小于0.20MPa。2排水本項目采用雨污分流制。在地塊南側設置一個DN400市政污水排放接口雨水排口：本項目地塊南側廠界設3個DN600雨水排放口全廠熱水供應為低溫熱水系統（38/28℃），采3供熱為補充和備用。4供電10kV電源。5供氣本項目所需天然氣來自市政管網供應。五、環保工程1號生產廠房G1酸性廢氣處理系統：3（21備3（2用1備），排氣筒高度37m。G2堿性廢氣處理系統2（11備2（1用1備），排氣筒高度36m。G3有機廢氣處理系統設置1套沸石轉輪+焚燒塔處理系統，備用1套活性炭處理系統，單臺設計處理能力為61000m3/h2（11備38m。排氣筒均設置于1號生產廠1廢氣處理設施G4含砷廢氣處理系統2（11備房屋面2（1用1備），排氣筒高度31m。G5供應間廢氣處理系統設置有機供液間、有機廢液廢氣（G5-1）處理系2（11備理能力為2200mh21用1備，排氣筒高度28m。設置有機儲罐間、有機供液間廢氣（G5-2）處理1（11備1200m3/h2根排氣筒（11備），排氣筒高度26.3m。2號綜合動力站G6廢水站廢氣：廢水站廢氣納入1號生產廠房酸性廢氣處理系統排氣筒均設置1房屋面2生產廢水處理系統82號綜合動力于2號綜合動力站一層。1區內環保處理設施處理達標后排至市政污水管網。站W1含氟廢水處理系統采用化學沉淀法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為75m3/d。W2有機廢水處理系統采用AO法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為100m3/d。W3含砷廢水處理系統采用化學沉淀+AO+過濾+離子交換法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為470m3/d。W4含銅廢水處理系統采用化學沉淀+過濾法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為1m3/d。W5含鎳廢水處理系統采用化學沉淀+過濾+pH1m3/d。W6含銀廢水處理系統采用過濾+離子交換法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為1m3/d。W7含金廢水處理系統采用過濾+離子交換法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為25m3/d。W8含鈀廢水處理系統采用過濾+離子交換法處理工藝后，進入最終中和池調節pH。設計處理規模為10m3/d。生活污水處理系統項目生活污水來源于食堂、沖廁、盥洗等。3噪聲防治措施大降低。4固廢間暫存面積約30m2，暫存一般固體廢物，包括包裝材料、辦公垃圾、廢靶材、廢耗材等。3號甲類化學品庫暫存面積約170m2，暫存一般固體廢物，包括包裝材料、辦公垃圾、廢靶材、廢耗材等1號生產廠房一層危廢間暫存面積約20m2，暫存固態危險廢物，包括廢溶劑空桶、沾染固廢等。3號甲類化學品庫廢水廢液收集區面積約180m2根據廢液的特性設置各類廢液收集間，用于收集酸、堿、有機、含砷廢液等。有機廢液間：異丙醇廢液（IPA廢液）：12m3+6m3；丙醇廢液（Acetone廢液）：8m3×1；N-甲基吡咯烷酮（NMP）：5m3×1；1號生產廠房一層含砷廢酸液間：含砷廢酸液：10m3×1；不含砷廢硫酸液：2m3×1；含砷廢堿液間：含砷廢堿液：2m3×1；污泥脫水機房位于站內，廢水處理的污泥暫存于泥斗間。2號綜合動力站廢水站二層5環境風險應急排風：3號甲類化學品庫應急排放系統：氯氣儲存間設1套洗滌塔，單套處理能力1200m3/h125m。1號生產廠房化學品間應急排風系統：1128m啟動，處理后的廢氣經排風系統排放排氣筒位于建筑屋面間除設計普通換氣外還設計事故排風，事故照PN2CDA排風接口等室外事故水池：700m3。室內事故水池：2號綜合動力站內設置1個室內事故水池，有效容積為700m3，主要收集生產事故廢水。本項目事故水池總容積為1400m3，滿足事故下≥983.03m3的應急需求。室外事故水池位于廠區西北學品庫東側2動力站一層雨水：廠區道路及其他地方的雨水經雨水口收集后排入廠區雨水管網，雨水管道最終接至市政雨水管網。雨水接口布置在南側廠界，擬規劃3個DN600的雨水接口。雨水排放口末端設置緊急切斷閘門，一旦廠區發生火災、水體污染事故，可切斷雨水總排口的閥門，將事故控制在廠界內，防止對下游造成污染。六、生活輔助設施15號綜合樓十二層建筑，一層功能主要為門廳、餐廳、廚房等，二至六層功能主要為停車庫，七層功能主要為員工活動中心，八至十二層主要為員工宿舍。26號門衛1單層民用建筑，值班室37號門衛2單層民用建筑，值班室平面布置珠海華芯微電子有限公司半導體科技有限公司擬租用珠海格創投資股份有限公司在建的位于珠海市高新區金鼎片區內的“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”廠區，，本項目地塊東西布局，全廠按功能分為核心生產區、生產輔助區、生活配套區。11號生產廠房建筑內部功能分為生產區和研發調度區兩部分。其中：研發調度區位于建筑南側，靠近南側城市道路，以便更好展示企業形象；生產區位于建筑北側，合理組織建筑內部工藝流線，保障生產高效性。2號綜合動力站含廢水處理系統、3號甲類化學品倉4號大宗氣站區等建（構筑物。其中：21號生產廠房西南側，3號化41號生產廠房西北側。各種動力及氣體用房緊鄰主要用戶，使生產用房與輔助用房之間聯系方便，物流及工程線路短捷順暢，節約運輸成本，也便于統一協調、管理。生活配套區：位于地塊內東部且位于城市常年主導風向的上風口，避免生產區對生活區的56號門衛組成。其中：5號綜合樓包含食堂、停車場、員工活動中心、員工宿舍等功能，6號門衛則結合南側入口廣場進行景觀設計，提升園區品質和對外形象展示效果。113，生15。主要設備、原輔材料及燃料12主要生產設備表序號工序設備名稱數量（片/年PAGEPAGE30本項目輔助動力設備見下表表13輔助動力設備一覽表序號 名

單 數 備位 量

安裝位置備注動力用量備注動力用量單位動力種類序號本項目主要能源動力消耗見下表。表14主要能源消耗量PAGEPAGE3715主要原輔材料使用情況一覽表序號 名稱 主要成分 包裝規格 儲存數量 物態 壓力 用途 單位 年使用量 最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設計火災危險類別）.~序號 名稱

主要成分

包裝規格

儲存數量 物態 壓力

用途 單位

年使用量

最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設計火災危險類別）-- 、 .序號名稱主要成分包裝規格儲存數量物態壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設計火災危險類別）序號名稱主要成分包裝規格儲存數量物態壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設計火災危險類別）序號 名稱

主要成分

包裝規格

儲存數量 物態 壓力

用途 單位

年使用量

最大存儲量

儲運周期（月）

存儲場所（設計火災危險類別）PAGEPAGE40序號名稱主要成分包裝規格儲存數量物態壓力用途單位年使用量最大存儲量儲運周期（月）存儲場所（設計火災危險類別）PAGEPAGE41建設內容6水平衡分析表16本項目用排水量一覽表單位：m3/d類別新鮮水用量純水用量重復利用水量工業廢水排放量類別新鮮水用量純水用量重復利用水量工業廢水排放量表17濕法刻蝕清洗工序用排水量一覽表序號設備臺數單次溶液體積(L)工藝步驟晶圓數量片/次月片數平均快排次數(次/day)設備定期排水(L/day)排水量（m3/d）廢水種類： ，43圖1 本項目水量平衡圖44PAGEPAGE45工藝流程和產排污環節 PAGEPAGE50PAGEPAGE60PAGEPAGE70PAGEPAGE73類別 主要生產

29廢氣主要污染物產排情況表單元 主要工

廢氣種類

處理設施

排氣筒

主要污染物，主要污染物主要污染物排氣筒處理設施廢氣種類收集措施主要工序主要生產單元類別30廢水主要污染物產排情況表主要污染物主要污染物排水去向處理設施廢水種類主要工序主要生產單元類別類別主要生產單元主要工序廢水種類處理設施排水去向主要污染物、、、主要污染物排水去向處理設施廢水種類主要工序主要生產單元類別類別 主要生產元

31主要危險廢物產排情況表主要工序 危險廢物 廢物類別 廢物代碼、 - -PAGEPAGE763 平衡分析工藝流程和產排污環節工藝流程和產排污環節79工藝流程和產排污環節工藝流程和產排污環節8081PAGEPAGE86工藝流程和產排污環節，工藝流程和產排污環節工藝流程和產排污環節88PAGEPAGE89PAGEPAGE96工藝流程和產排污環節與項目有關的原有環境污染問題本項目為新建項目，用地現狀為在建“珠海格創智能元件廠房及配套建設項目”的廠房，不涉及原有環境污染問題。污染物年平均質量濃度污染物年平均質量濃度現狀濃度μg/m3標準值μg/m3占標率%超標率%達標情況SO2年平均質量濃度860130達標NO2年平均質量濃度1940480達標PM10年平均質量濃度3070430達標PM2.5年平均質量濃度1735490達標CO年平均質量濃度8004000200達標O3年平均質量濃度1601601000達標區域一、大氣環境（1）基本污染物環境質量現狀本項目在廣東省珠海市香洲區，本項目地塊位于珠海市高新區集成電路產業園金瑞二<珠海市聲環境質量標準適用區劃分>和<珠海市環境空氣質量功能區劃分>(357號)以及珠海市生態環境局關于印發<珠海市環境空氣質（2022年修訂（2022197號（GB3095-2012）及其修改單中的二級標準。根據珠海市生態環境局《2022年珠海市環境質量狀況》，珠海市環境空氣質量主要指SO2NO2PM10PM2.5COO3表48 2022年珠海市環境空氣主要污染物濃度本項目大氣環境評價范圍內涉及中山市大氣環境功能一類區。根據中山市生態環境局2022年大氣環境質量狀況公報》，中山市環境空氣質量主要指標見下表。其中，SO2、NO2、PM10、PM2.5CO2495百分位數質量濃度達到《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）及其修改單的二級標準限值要求，O3日最890百分位數質量濃度不滿足《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）及其修改單的二級標準限值要求，具體見下表。表492022環境質量現狀污染物評價指標現狀濃度標準值占標率超標率達標情況μg/m3μg/m3%%SO2年平均質量濃度5608.3%0達標NO2年平均質量濃度224055.0%0.3%達標PM10年平均質量濃度347048.6%0達標PM2.5年平均質量濃度193554.3%0達標CO2495百分位數質量800400020.0%0達標濃度O3890百分位數質量濃度184160115.0%16.2%未達標本項目大氣環境評價范圍內涉及中山市大氣環境功能一類區，其環境空氣質量現狀根據《2022年中山市空氣質量監測點均值數據》中長江旅游區站的監測數據進行評價，具體結果見下表。表502022SO2COPM10PM2.5NO2（GB3095-2012）及修改單一級標準，O3不滿足《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）及修改單一級標準。綜上所述，因此本項目所在評價區域判定為非達標區。（2）特征污染物環境空氣質量現狀評價本項目排放國家、地方環境空氣質量標準中有標準限值要求的特征污染物為氨、氟化物、氮氧化物、氯化氫、氯氣、硫酸、TVOC、砷。此外，項目還涉及排放污染物硫化氫、錫及其化合物、非甲烷總烴、臭氣濃度。為了了解項目周邊環境空氣質量現狀，建設單位20231016日~1022日在五桂山自然風景區東南側布點，進行了特征污染物砷的環境空氣質量現狀監測，其它特種污染物20221213日~12192023410日4月17HXJ222070HXJC2300070，點位名稱點位名稱監測點坐標/m污染物評價指標評價標準μg/m3現狀濃度μg/m3最大濃度占標率%超標率%達標情況XY長江旅游區站長江旅游區站SO224小時平均質量濃度505.35240達標NO224小時平均質量濃度8017.5893.750達標PM1024小時平均質量濃度5027.581788.49達標PM2.524小時平均質量濃度3517.91228.576.85達標O3890質量濃度10017829835.89超標CO24小時平均第95百分位數質量濃度4000800300達標Q2（現狀香洲區西部沿海高速錦石豬場距本1200m。監測結果匯總如下表所示。樣點布設見下表，具體布設點位見附圖14。51大氣環境質量現狀監測點布設一覽表編 測點 相對號 位置 方位 距離 監測因子 備注表52 空氣環境質量現狀監測及評價結果統計表監測點位污染物平均時間評價標準監測濃度范圍（μg/m3）占標率（%）超標率（%）達標情況124（GB3095-2012）A1小時平均濃度、24小時平均濃度滿足《環境空氣質量標準》（GB3095-2012）21小時平均濃度241小時平均濃度滿足《環境影響評價技術導則大氣環境》(HJ2.2–2018)DTVOC8D的要求。二、地表水環境本項目位于珠海市高新區金鼎片區金瑞二路北側，項目地塊東側臨近金鼎東路；南側臨近金瑞二路；西側臨近金鼎西路；北側臨近金環西路。本項目廢水經廠內自建污水站處理后排入市政污水處理廠。本項目廢水經市政管網排PAGEPAGE100入珠海海源再生水有限公司（北區污水處理廠），經處理后的尾水進入金星門水道，最終匯入金星門海域。根據《廣東省近海域環境功能區劃》，唐家灣附近海域執行《海水水質（GB3097-1997）（污染影響類型試行20235222022年全市水環境質量穩中向好，地表水考核斷面水質優良比例100%，9100%。為了了解金星門海域水質現狀，本項目引用同創偉業（廣東）檢測技術股份有限公司20229282022929報告編號：TCWY檢字（2022）0928116號）O1500m、O2500m、O3120m。監測結果匯總如下表所示。PAGEPAGE101表53 金星門海域海水環境質量監測結果表PAGEPAGE109由上表可知，金星門海域各監測項目指標均符合《海水水質標準》（GB3097-1997）第三類標準，本項目區域水質環境質量良好。三、聲環境根據珠海市生態環境局印發的《珠海市生態環境局關于印發珠海市聲環境功能區區劃的通知》(珠環[2020]177號)，本項目所在地聲環境功能區劃屬于3類區，執行《聲環境質量標準》（GB3096-2008）3類標準。20231024日對本項目環境噪聲進行現狀監測，晝夜間現狀監測結果見下表。表54 項目區廠界聲環境監測結果區域 根據噪聲監測結果可知，廠界晝間、夜間噪聲監測結果滿足《聲環境質量標準》環境 （GB3096-2008）中3類標準。質 四、生態環量現 本項目所在地為工業用地無其他用地類型植被類型主要為人工植被無大型野生動物。狀 五、電磁輻射不屬于電磁輻射類項目，無需開展電磁輻射現狀監測與評價。六、地下水、土壤環境（GB18597-2023）、《石油化工防滲工程技術規范》（GB/T50934-2013）等規范設計地下水污染防滲措施。不存在土壤、地下水環境污染途徑。根據《珠海市人民政府關于調整珠海市飲用水水源保護區的請示》（珠府〔2018〕51號）（2018314號）中的規定，本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護區范圍。（GB18597-2023）、《石油化工防滲工程技術規范》（GB/T50934-2013）等規范設計地下水污染防滲措施。不存在土壤、地下水環境污染途徑。根據《珠海市人民政府關于調整珠海市飲用水水源保護區的請示》（珠府〔2018〕51號）（2018314號）中的規定，本項目所在地不屬于珠海市飲用水源保護區范圍。綜上所述，根據《建設項目環境影響報告表編制技術指南（污染影響類）（試行）》開展現狀調查以留作背景值。地下水環境為了了解項目周邊環境空氣質量現狀，建設單位委托廣東智環創新環境科技有限公司有限2023102420231026日~20231030日在本項目廠址所在地及項目地的上游及下游布點，開展地下水環境現狀監測。地下水環境監測共設置3個監測點位，監測點信息見表53，監測結果見表54。表55 地下水監測點信息表編號位置水位標高（m）井深（m）采樣深度（m）地下水位埋深（m）地表高程（m）備注.. . . . 檢測項目

表56 地下水檢出物質一覽表最檢出限 限值 含量范圍 檢出率 超標率 大超標/ mg/L mg/L （％） （％） 倍數q根據評價結果，地下水現狀環境的濁度、總大腸菌群、細菌總數超出《地下水質量標準》（GB/T14848-2017）中Ⅲ類標準，其余各項監測因子的監測結果均滿足《地下水質量標準》（GB/T14848-2017）中Ⅲ類標準。2.土壤環境為了解項目所在地土壤質量現狀，本次評價共設置7個土壤環境監測點位，其中廠界內的4個監測點分別位于廠區內西、北、東、南側，廠區外的3個監測點分別位于廠界外東側、西北側和西南側，為建設單位委托廣東智環創新環境科技有限公司有限公司于20231018日~2023102356監測結果見表57和表58。編號采樣位置布點類型監測時間及頻次監測項目57土壤環境質量現狀監測點布設情況編號采樣位置布點類型監測時間及頻次監測項目.表58監測土壤環境參數信息.編號 檢測點位 顏色 質地 砂礫含量（%）

土層結構 其他異物序號 監測項

表59 土壤檢出物質一覽表1監測結果（mg/kg） 第二類用地風險篩

達標情況表層樣0-0.2m

選值標準（mg/kg）表60 土壤檢出物質一覽表2監測結果（mg/kg） （GB36600-2018）序號 監測項目 第二類用地風險 達標情柱狀樣 柱狀樣 柱狀樣 篩選值標準0-0.5m 0.5-1.5m 1.5-3m由監測結果可知，項目所在地各建設用地土壤污染基本項目均符合《土壤環境質量建設用地土壤污染風險管控標準》（試行）（GB36600-2018）中的二類用地土壤污染風險篩選值限值要求，區域土壤環境質量現狀良好。PAGEPAGE110環境保護目標本項目位于珠海市高新區金鼎片區內，通過現場調查，本項目環境保護目標情況如下：1、大氣環境：項目邊界外邊長5km范圍內，大氣環境保護目標見下表及附圖。表61 環境保護目標一覽表序號名稱經緯度保護對象保護內容環境功能區相對廠址方位相對廠界距離/m經度緯度1外沙村E113.530783N22.398094環境空氣居住二類東側2002雅居樂國際花園E113.538916N22.400812環境空氣居住二類東北側11203會桐別苑E113.541083N22.396864環境空氣居住二類東側12704禮和中學E113.541083N22.396864環境空氣學校二類東北側12705招商雍華府花園E113.542156N22.400078環境空氣居住二類東北側14606萬科翠瓏苑E113.542000N22.401109環境空氣居住二類東北側14807萬科翡玲苑E113.541619N22.402379環境空氣居住二類東北側15008首開龍湖天璽院E113.541641N22.403807環境空氣居住二類東北側15809E113.541233N22.405454環境空氣居住二類東北側165010華庭云谷E113.541233N22.406227環境空氣居住二類東北側172011星灣幼兒園E113.543250N22.399800環境空氣學校二類東北側160012唐家公館E113.543701N22.400276環境空氣居住二類東北側160013唐嘉名苑E113.543207N22.401010環境空氣居住二類東北側161014禮和小學E113.543186N22.402359環境空氣學校二類東北側164015美的寶龍城E113.543336N22.405235環境空氣居住二類東北側177016頤璟名庭E113.542606N22.406406環境空氣居住二類東北側183017華庭云谷二期E113.543572N22.406723環境空氣居住二類東北側195018惠景慧園E113.545889N22.396983環境空氣居住二類東側171019仁恒河濱花園E113.544902N22.400355環境空氣居住二類東北側173020創雅苑E113.549880N22.397538環境空氣居住二類東側213021天地源E113.549280N22.406267環境空氣居住二類東北側2380上唐府22珠海公園九里E113.549237N22.407219環境空氣居住二類東北側239023海岸家園E113.553528N22.398213環境空氣居住二類東側242024萬科第五園E113.552498N22.401149環境空氣居住二類東北側249025華潤置地廣場E113.553657N22.404363環境空氣居住二類東北側270026E113.553271N22.407021環境空氣居住二類東北側279027上柵村E113.529624N22.390436環境空氣居住二類南側50028金峰學校E113.534817N22.387777環境空氣學校二類南側111029幼兒園E113.525762N22.383253環境空氣居住二類南側117030金景豪園E113.538722N22.384484環境空氣居住二類南側158031惠景嘉園E113.535032N22.382499環境空氣居住二類南側159032金暉苑E113.537006N22.382103環境空氣居住二類南側175033惠景暢園E113.542413N22.384364環境空氣居住二類南側190034下柵圩村E113.541812N22.383015環境空氣居住二類南側149035惠景和園E113.539924N22.379126環境空氣居住二類南側207036金鼎第一小學及幼兒園E113.544250N22.378214環境空氣學校二類南側240037官塘村E113.539452N22.376230環境空氣居住二類南側209038恒隆華萃園E113.541941N22.372420環境空氣居住二類南側288039金鼎中學E113.524818N22.372975環境空氣學校二類南側223040恒大云錦E113.552112N22.373848環境空氣居住二類東南側332041北京理工大學珠海學院E113.538122N22.367181環境空氣學校二類南側265042寶龍世家E113.552348N22.381061環境空氣居住二類東