測試技術基礎機械工程及自動化學院12/13/2023檢測技術第六章數字式傳感器光柵傳感器感應同步器12/13/2023數字傳感器的特點：數字式傳感器具有高的測量精度和分辨力，讀數直觀精確。測量行程范圍大，直線位移可達數米至幾十米。易于實現高速動態測量、處理和自動化。采用高電平數字信號時，對外部干擾（噪音）的抑制能力強。安裝方便，使用維護簡單，工作可靠性強。12/13/20236.1光柵

數字式傳感器12/13/2023一.光柵傳感器的構成及原理1.光柵的構成：光柵通常是由在表面上按一定間隔制成透光和不透光的條紋的玻璃構成，稱之為透射光柵，或在金屬光潔的表面上按一定間隔制成全反射和漫反射的條紋，稱為反射光柵。利用光柵的一些特點可進行線位移和角位移的測量。測量線位移的光柵為矩形并隨被測長度增加而加長，稱之為長光柵；而測量角位移的光柵為圓形，稱之為圓光柵。

【演示】數字式傳感器12/13/2023數字式傳感器12/13/20232.柵距：光柵的柵距Ｗ＝ａ＋ｂ，a、b分別為透光和不透光條紋的寬度，通常a=b；光柵的精度越高，柵距W就越小；一般柵距可由刻線密度算出，刻線密度為25，50，100，250條/mm。數字式傳感器12/13/20233.莫爾條紋現象當兩塊光柵互相靠近且沿刻線方向保持有一個夾角時，兩塊光柵的暗條與亮條重合的地方，使光線透不過去，形成一條暗帶；而亮條與亮條重合的地方，部分光線得以通過，形成一條亮帶。這種亮帶與暗帶形成的條紋稱為莫爾條紋，如圖所示。

莫爾條紋的形成莫爾條紋的寬度可按下式計算：設a=b=W/2，則(W/2)/B=sin(θ/2)，所以，B=W/(2sin(θ/2))，當θ很小時，sin(θ/2)=θ/2，故有：B=W/θ，稱作莫爾條紋的寬度，又稱為節距。數字式傳感器12/13/20234.莫爾條紋的特點①平均效應：莫爾條紋是由光柵的大量刻線共同形成，對光柵的刻線誤差有平均作用。數字式傳感器②對應關系：莫爾條紋近似與刻線垂直，當夾角θ固定后，兩光柵相對左右移動一個柵距W時，莫爾條紋上下或下上移動一個節距B，因此，可以通過檢測莫爾條紋的移動條數和方向來判斷兩光柵相對位移的大小和方向。③放大作用：由公式B=W/θ可知，當W一定，而θ較小時，可使θ<<1，則B>>W。如：長光柵在一毫米內刻線為100條，θ＝0.5o＝0.009rad，則：B=0.01/0.009≈1mm，放大100倍。若θ=0，則不產生莫爾條紋，這時光線忽明忽暗，稱作光閘效應。對于圓光柵，同樣有這些特點。12/13/20235.光柵傳感器的結構

對于線位移測量，兩塊光柵長短不等，長的隨運動部件移動，稱為標尺光柵，短的固定安放，稱指示光柵；而測量角位移時，一塊圓光柵固定，另一塊隨轉動部件轉動。光柵傳感器結構為：光源→標尺光柵→指示光柵→光電元件，如圖所示。數字式傳感器12/13/2023二.光柵位移數字轉換的基本原理1.光柵傳感器輸出信號波形當光柵相對位移一個柵距時，莫爾條紋移動一個條紋寬度，相應照射在光電池上的光強度發生一個周期的變化，使輸出電信號周期變化，其輸出波形如圖：數字式傳感器12/13/2023

輸出表達式：

Ｖ＝Ｖ0＋ＶmCOS[(2π/w)X]

式中，2π/W為空間角頻率，W為柵距（信號周期），X為位移。由此可知，只要計算輸出電壓的周期數，便可測出位移量。從而實現了位移量向電量的轉換。在一個周期內，V的變化是位移在一個柵距內變化的余弦函數，每一周期對應一個柵距。但是如果只用一個光電元件，其輸出信號還存在兩個問題：①辨向問題：用一個光電元件無法辨別運動方向；②精度低；分辨力只為一個柵距W。怎么解決這兩個問題呢？數字式傳感器12/13/20232.辨向原理：用兩個光電元件相距B/4安裝（相當于相差90°空間角，B:2π=B/4:π/2），如圖所示，可以解決辨向問題。當條紋上移時，V2落后于V190°。當條紋下移時，V2超前于V190°。因此，由V1、V2之間的相位關系可以判別運動方向。數字式傳感器12/13/20233.細分技術（解決精度問題）當使用一個光電池通過判斷信號周期的方法來進行位移測量時，最小分辨力為1個柵距。為了提高測量的精度，提高分辨力，可使柵距減小，即增加刻線密度。另一種方法是在雙光電元件的基礎上，經過信號調節環節對信號進行細分，其電路框圖如圖所示。

1234硅光電池正向脈沖反向脈沖H1H2差動放大差動放大整形整形微分微分微分微分（sin）（cos）Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8數字式傳感器12/13/2023四個光電元件間隔B/4安裝，1，3，2，4分別接入兩個差分放大器用以消除共模干擾，這樣可以得到兩個相差90度的信號sin和cos，經整型等到方波信號，再反相得到A,B,C,D四路方波信號，將四路方波信號再微分，得到四個脈沖,將A,B,C,D與

進行邏輯組合，可由兩個輸出端輸出正向位移脈沖信號和反向位移脈沖信號。當正向運動時，由正向上升沿微分得到正向脈沖，經邏輯到輸出；反之亦然。利用這種方法，可在一個周期內輸出四個脈沖，所以又稱之為四倍頻電路，其分辨率提高四倍，當柵距w=10μm時，分辨力為2.5μm，即脈沖當量為2.5μm，當w=4μm,其分辨力可為1μm。數字式傳感器12/13/20236.2感應同步器感應同步器也是一種用來測量位移量的數字式傳感器，它的工作原理與變壓器的工作原理類似。數字式傳感器12/13/2023一.感應同步器的結構感應同步器由兩個平面形印刷繞組組成，平面繞組是用銅箔加工而成，粘在鋼板上或鑄鐵制成的基體上，兩個繞組相當于變壓器的兩個線圈。感應同步器有兩種，一種是直線感應同步器，用來測量線位移，兩個繞組分為定尺繞組和滑尺繞組。另一種是圓感應同步器，用來測量角位移。兩個繞組分為定子繞組和轉子繞組。定尺和轉子的繞組為連續繞組，相當于變壓器的副邊，用于輸出與位移有關的信號。滑尺和定子的繞組為分段繞組（又稱為正、余弦繞組），工作時輸入激磁電壓，用以產生交變磁場。>>數字式傳感器12/13/2023>>當定尺和滑尺產生相對線位移時，或定子與轉子產生相對角位移時，兩繞組間的耦合狀態發生變化，這時，在定尺和轉子繞組上感應出一個與位移有關的電壓信號，由此可以測定位移量的大小。滑尺繞組上的正弦繞組和余弦繞組在空間上相差π/2，或kπ±π/2。這個空間角如下確定：設定尺的節距為w2=2(a2+b2),相當于空間角2π，對應于一個周期，則滑尺兩繞組（正弦繞組，余弦繞組）之間的距離:k為整數,在這里w2相當于一個周期2π∴l1相當于對于圓感應同步器，其定子的正余弦繞組同樣滿足相差90°數字式傳感器12/13/2023二.工作原理以直線感應同步器為例，當兩繞組位置相對固定時，滑尺繞組中的激磁電流使定尺繞組中產生一個感應電勢，其大小為：M為互感系數

如果假設繞組的自感系數很小，且激磁頻率較低，則滑尺激磁繞組可視為純電阻，則激磁電流為：,所以有K稱為電磁耦合系數數字式傳感器12/13/2023隨著兩繞組間的位置關系不同，定尺中的感應電勢大小是不同的，我們可以具體分析如下：當滑尺與定尺間的相對位置按下面規律變化，以正弦繞組為例：滑尺位于A點：這時兩繞組完全重合，通過定尺的耦合磁通最大，這時定尺繞組中產生的感應電勢最大。滑尺移至B點：滑尺跨在定尺的兩側，定尺中的感應電勢相互抵消為零。滑尺位于C點：滑尺與定尺重合，但感應電勢方向與A點相反，達到反方向最大。D點：定尺中感應電勢為零。E點：感應電勢又變為最大，輸出變化一周期。數字式傳感器12/13/2023因此，對于正弦繞組激磁而殘生的感應電勢的大小為：

cosθ為位置系數，同理，若設，則可推出對于余弦繞組激磁而產生的而總電勢為：這里討論是在理想情況下近似的，實際的輸出中還存在有其它高次諧波及干擾。一般情況下，激磁電壓↑，感應電勢↑；但激磁電壓↑太大（i增大），引起發熱，致使不能正常工作。V=1～2V.【演示】數字式傳感器感應電勢為：12/13/2023數字式傳感器12/13/2023三.感應同步器的工作方式感應同步器工作方式通常分為：鑒相型鑒幅型數字式傳感器12/13/2023鑒相型工作方式鑒相型工作方式是根據感應輸出電壓的相位來檢測位移量的一種工作方式。激磁方式：對滑尺的正余弦繞組分別供以幅值相同，但相位相差90°的交流方波。這時定尺總電勢為：數字式傳感器12/13/2023這相當于一個相位調制波，當位移X發生變化時，輸出信號的相位發生變化。由上述討論可知，輸出信號的幅值與激磁電壓（相當于載波）的頻率有關。激磁頻率越高，輸出幅值越大，且可使測量速度提高。但若激磁頻率過高，則導致感抗增加，容抗減小，使測量精度下降。從上面討論還可以看出，在一個節距w內，感應輸出電壓的相位θ與滑尺和定尺間位移x相對應，每當位移變化一個節距，θ變化2π角度，輸出信號的相位變化一個周期，因此，必須采用累加計數的辦法求總的位移量。

數字式傳感器12/13/2023鑒幅型工作方式－通過輸出電壓幅值變化來測量位移。激磁方式：滑尺的正、余弦繞組分別加以頻率相同、相位相同、但幅值不等（按正、余弦規律變化）的交流電壓。

數字式傳感器定尺感應電勢：12/13/2023可見，當激磁電壓不變，固定，則輸出信號幅值與相對位移x有關。

設初始

；如果，說明由位移存在，若設法改變

，使，則通過計算的變化量便可求得x的大小。數字式傳感器12/13/2023四、感應同步器位移－數字測量系統。時鐘脈沖發生器絕對相位基準（分頻器）相對相位基準（脈沖移相器）絕對零點顯示可逆計數器譯碼、顯示鑒相器門電路90度移相功放功放放大濾波整形滑尺定尺1.鑒相型測量系統數字式傳感器12/13/2023各部分作用：時鐘脈沖發生器：產生一定頻率的脈沖，一般w＝2mm時，可采用

4MHz的晶振。絕對相位基準：實際上是一個分頻器，將脈沖發生器的輸出進行分頻，然后產生兩個相位相差90°的激磁信號，分別送給滑尺的正余弦繞組。定尺繞組感應電勢E=Kω

VmCOS(ωt－θ)，經放大、濾波、整形送給鑒相器，送鑒相器的有效信號為相對相位基準：實際上是一個分頻電路和加減脈沖電路組成（脈沖移相器）。它輸出一個與前一時刻位移對應的相位信息θ給監相器。鑒相器：用來判別感應同步器的輸出信號

θ與相對相位基準電路輸出之間相位差的大小，其理想輸入輸出特性曲線見右圖：數字式傳感器12/13/2023鑒相器的輸出控制一個門電路Δθ=θ-θ1，可以根據測量精度設計Δθ=θ0時，Ej=Ej0=開關電平，將門電路打開，使計數脈沖通過，鑒相器還要鑒別相位差為正還是為負，以便實行加或減計數。在門電路打開后計數脈沖得以通過，一方面去計數器，另一方面控制相對相位基準進行移相，使Δθ→0。

具體工作過程如下：初始狀態：則：Δθ=θ-θ1=0

開始運動：（不變），門打開，計數一次，同時使θ1→θ0使Δθ＝0，門關死。繼續運動：門打開同時使：θ1→2θ0。使Δθ＝0。門關閉。波形示意圖數字式傳感器12/13/2023每出現一個計數脈沖，相當于位移引起的相位為θ0，若θ0＝1.8°，w＝2mm，則最小位移：數字式傳感器12/13/20232.鑒幅型測量系統：正弦振蕩器數/模轉換器匹配變壓器放大濾波轉換計數器周期零點顯示可逆計數器譯碼.顯示鑒幅器（門檻電路）門電路時鐘脈沖發生器滑尺定尺數字式傳感器12/13/2023其中數模轉換器由多抽頭正，余弦變壓器和電子開關組成，多抽頭正，余弦變壓器的工作原理見下圖：數字式傳感器12/13/2023變壓器的抽頭由最小分辨角即最小位移來確定，假使最小分辨角θ0＝1.8°，則每個抽頭對應一個編號，當轉換計數器計數為某一值

j時，則對應的第j個抽頭的輸出與匹配變壓器相連接，為滑尺繞組提供激磁電壓，這時定尺繞組輸出為：

當滑尺與定尺相對位移X為0時，輸出E＝0，隨著位移的增加，

增加，輸出幅值Em增加，當Δθ＝θ0時，幅值為某一值E0，經鑒幅器提供一個開門電平，使門電路打開。計數脈沖通過門電路，使可逆計數器計數，并使轉換計數器加1或減1，（視或而定）

去控制模數轉換器的電子開關將下一個抽頭接通，使輸出為零，門電路關死，停止計數，或又產生相對位移，上面工作過程重新進行。數字式傳感器12/13/2023兩種工作方式的比較：無論那種方式，其精度都要受到感應同步器的精度的限制。鑒相式采用脈沖移相，比較容易得到較高的細分；而鑒幅式的細分受到多抽頭變壓器的限制。因此，鑒相式的測量精度要高于鑒幅式，可達0.001mm/脈沖，而鑒幅式則只能達到0.01mm/脈沖。鑒相式的運動速度受到激磁電壓的頻率限制，而鑒幅式的運動速度則受制于電子開關及變壓器抽頭切換速度。數字式傳感器12/13/20236.3光電盤和編碼盤光電盤數字式傳感器光電盤是一種最簡單的光電式轉角測量元件。光電盤測量系統的結構和工作原理如下頁圖“光電盤的工作原理”所示，它由光源、聚光鏡、光電盤、光欄板、光電管、整形放大電路和數字顯示裝置組成。12/13/2023數字式傳感器12/13/2023數字式傳感器12/13/2023光電盤和光欄板可用玻璃研磨拋光制成，經真空鍍鉻后用照相腐蝕法在鍍鉻層上制成透光的狹縫，狹縫的數量可為幾百條或幾千條。也可用精制的金屬圓盤在其圓周上開出一定數量的等分槽縫，或在一定半徑的圓周上鉆出一定數量的小孔，使圓盤形成相等數量的透明和不透明區域。光欄板上有兩條透光的狹縫，縫距等于光電盤槽距或孔距的1/4，每條縫后面放一只光電管。數字式傳感器12/13/2023光電盤裝在回轉軸上，軸的另一端裝有齒輪，該齒輪與驅動齒輪或齒條嚙合時，可帶動光電盤旋轉。回轉軸也可以直接被主軸或絲杠驅動。光電盤置于光源和光電管之間，當光電盤轉動時，光電管把通過光電盤和光欄板射來的忽明忽暗的光信號轉換為電脈沖信號，經整形、放大、分頻、計數和譯碼后輸出或顯示。由于光電盤每轉發生的脈沖數不變，故由脈沖數即可測出被測軸的轉角或轉速。也可根據傳動裝置的速比換算出直線運動機構的直線位移。根據光欄板上兩條狹縫中信號的先后順序，可以判別光電盤的旋轉方向。由于光電盤制造精度較低，只能測增量值，易受環境干擾，所以多用在簡易型和經濟型數控機床上。數字式傳感器12/13/2023數字式傳感器編碼盤是把被測轉角直接轉換成相應代碼的檢測元件。編碼盤有光電式、接觸式和電磁式三種。2.編碼盤

12/13/2023光電式碼盤是目前應用較多的一種，它是在透明材料的圓盤上精確地印制上二進制編碼。前頁圖所示為四位二進制碼盤，碼盤上各圓環分別代表一位二進制的數字碼道，在同一個碼道上印制黑（圖中表示為紅色）白等間隔圖案，形成一套編碼。黑色不透光區和白色透光區分別代表二進制的“0”和“1”。在一個四位光電碼盤