一種基于RF MEMS開關(guān)的四端口電子校準(zhǔn)件設(shè)計_第1頁
一種基于RF MEMS開關(guān)的四端口電子校準(zhǔn)件設(shè)計_第2頁
一種基于RF MEMS開關(guān)的四端口電子校準(zhǔn)件設(shè)計_第3頁
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文檔簡介

，高精度和高速率的信號處理變得越來越重要。四端口網(wǎng)絡(luò)是一種用于測量器件(例如天線、濾波器和放大器)的傳輸特性的測量器件，其具有卓越的穩(wěn)定性和精度。然而，EMS度在現(xiàn)代通信和雷達(dá)技術(shù)中是至關(guān)重要的。對于精度要求高的測量器件(例如天線、濾波器和放大器)，四端口網(wǎng)絡(luò)是一種量器件。盡管四端口網(wǎng)絡(luò)在低頻范圍內(nèi)表現(xiàn)良好，但在高頻率耗會明顯增加。因此，開發(fā)一種校準(zhǔn)件可以減少校準(zhǔn)誤差和插的方法，尤其是在低功耗無線器件、雷達(dá)和衛(wèi)星通信中具有廣泛FMEMS端口校準(zhǔn)件通常使用不同的技術(shù)來實現(xiàn)校準(zhǔn)。例如，雙平衡混頻器(DBM)結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)完全校準(zhǔn)的四端口測量系統(tǒng)，但它不適高性能測量系統(tǒng)。為了提高自適應(yīng)性，使用改進(jìn)的雙平衡結(jié)構(gòu)校準(zhǔn)MS降低校準(zhǔn)誤差和插入損耗的目的。具體來說，該設(shè)計有以下幾個關(guān)實現(xiàn)對控制模塊的實時控制;四個元件和一些電路組成：兩個參考平面、一個微帶線和屬提供一個穩(wěn)定的共模電勢面，使測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。在本條電容垂直于基板和兩個金屬箔組成用于將校準(zhǔn)器件與其他器件連接起來。微帶線是具有低插入損設(shè)計中，微帶線路是采用MicrostripS，MEMS.通過控制模塊的開關(guān)控制單元實現(xiàn)對RFMEMS開關(guān)狀態(tài)進(jìn)行控制。信號到達(dá)目標(biāo)接口時的相對幅度MSdBS實現(xiàn)校準(zhǔn)電路的開關(guān)切換。實驗

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