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Sputter原理和流程PVD製程知識Sputter原理NSNGasinpumping+--+-+-+-+-+-+-++-++-電子螺旋運動電膝子抱平巧均控自恐由石徑證比頸較M蘋a植g泡n謠e林t釋r撤o吧n室D禿C礎S焦p倚u享t臘t稀e到r灶i揚n他g濺擊產額Ar+數量及能量電子平均自由徑及能量濺擊總能量低,陰極加磁鐵增長,變大增多,變大增大濺擊能量低P渠a筆r浩a繁m穗e傷t芬e活rS收u權b蛋s弟t乓r盆a仆t盟e深T闊e栗m妄p吼e粱r籍a相t白u職r尋eC赴h早a反m籠b評e假r伸P落r辭e壤s伴s險u鳥r嫁eG抵a葛s續F迎l蹄o虜w蜓R狀a萍t為eD肆C漆P拒o桶w廟e友rM惡a惰g演n默e車t謹S裹c音a煩n矩S婆p犬e畝e焦d杠/肢F劉i圾e怕l夏d即舉溫域度踏、源壓啄力亮、季氣務體耳氣骨流判之筑速捏率鹽、D寬C功勝率并密糞度趁、疼磁意鐵概掃費描劇及喝範最圍峰。S瞎p將u腐t范t葉e必r沙i旱n私gp爺r咳i去n型c面i叉p授l障e定塵義譯:濺款鍍絮,亡即誼利御用殼電捎漿腎所計產壓生賓的墻離究子流,姜藉非著渠離磚子企對達被攜濺怖鍍鍋物圣體蹦電抱極偏的刻轟索擊賠,研使恰電譯漿艱的匆氣陜相鳳內嗎具列有個被尊鍍草物虛的襖粒究子洗來緞產站生續沉薄積開薄切膜此的灶一下種果技幣術塑。原晌理毒:利售用D嘴C慢P帖o盒w詢e中r將挑通押入除的P腫r忽o建c繡e宣s隸s絕G扶a它s解找離聲成膏電廊漿歷,憐藉功著距離仙子救對醋靶鏟的抓轟悟擊捐將右靶調材絡物擇質鑼濺圾射劃飛懼散騾出語來溉,咸而詢附漫著超於策目蘿標發基疲板扶形柄成錢膜接。C勻r臺y豪s照t填a焰l斜G及r達o壁w倚t倆h妻M窩e備c長h數a瞧n備i泊s拔mN著u故c況l木e痰a濾t西i頌o仙nG纖r故a踢i稿n濁G慚r益o勾w營t孟hC桶o輸a莖l清e算s閱c惡e懼n轎c東eF揚i押l咬l場i私n隱g器o粥f氣C溫h蜂a現n納n塔e敬l弱sF爹i或l表m柴G仔r溪o綢w魔t權hC尸r長y炕s燃t聲a課l渴G傭r僵o胡w哲t傭h份M煩e箱c諒h暴a伙n粒i噸s傳mC月r茅y希s紙t材a才l膽G的r好o榆w橫t殿h防M朱e濤c吸h妹a疤n投i肺s尚mC產r剖y向s突t殖a羽l構G軋r襲o鼻w弟t言h氧M原e嬌c澆h尚a露n酷i娃s曬mC騎r策y濫s惜t營a傅l研G漸r貸o遍w榆t奇h嘴M構e者c竹h標a拋n片i亂s范mP竿V桶D例F現l眼o養w機豆械扛流奪程動嘆作脾流轎程L狼/糊U賞LL易/敘U嘉LCA432CA33CA31CA42CA43CA41機蔽械既流補程L顯/庫U奇LL增/劉U妙LCA32CA33CA31CA42CA43CA41機險械蠢流趣程L巾/改U鈴LL鉆/殺U店LCA32CA33CA31CA42CA43CA41機服械珍流起程L演/禮U秋LL進/紐奉U格LC浙A仰3辨2C歌A頁3托1CA42CA43CA41C演A起3惰3機矛械藥流耕程L盼/周U怕LL丙/勾U辟LCA32CA33CA31CA42CA43CA41機獵械睜流鍵程L逗/屈U便LL搭/酷U姨LCA32CA33CA31CA42CA43CA41機喜械謀流眾程S齒p臘u脊t割t群e汽r伏P角r幼o闊c匙e商s諸s均F速l戀o垃w姑:1、暑抽挽真葵空(粗抽)稿-7海6勺0序t繼o蠻r哈r至1酷0-訪3t傳o啟r蹦r2、儀抽婚真山空(細抽)竹-1演0-鋸3t數o感r播r至1辜0-妹8t根o析r交r3、循到盞達站底辣壓末約1宿0-桐7t慢o洽r踐r後座通A妥r氣,使齒壓創力腿控制蘇在昆約代數m斯t捐o廳r肝r4、壘加渾入闊電赤場(t鞭a達r蒜g蒼e霉t為躺負蔥極)注,點楊燃p真l允a裳s寫m逮a,開瀉始阻鍍擱膜5、退膜墳厚緒度恰達除到珍之嗽後,停葉止恨電嫁場6、基祥板露從S旦C戒h華a現m咸b門e逆r傳得到T舉C域h丹a元m酬b求e奶r7、基罵板政送貸入L可C段h纏a網m昨b若e罷r鞠,破造真帽空取院出H紛i劫l檢l虜o盈c吉k(A娘l)原巴因禽:wf子i動l全m的歪膨卷脹受系工數績小雞于滅底桐材勒時,從牲高察溫苦降祥至地室悼溫,f俊i辟l陪m受還到叢擠婆壓朱應仇力,若席此墾應位力撓過屆大鐮時,A仆l原屋子虜沿績晶貴界僻向尸膜著上糞移紗動,形發成驕小斥的愛突扶起wA擺l成蠢膜棟的雹晶番粒董方質向問不敏一婆致,在浸後涉續猜高乏溫熔制警程賺時,(1婦1囑0)先晶項粒雪在貢兩陳(1垂1龜1)鴿晶驕粒飽間毀形撒成h宴i蓮l合l拋o融c宋k嫩,形矩成添的尺原捉因盡為速(1捉1耍0)農晶超粒濤和進(1膠1山1)餓晶剝粒讓的擊熱口膨趙脹厭系距數勉不欄同H呼i居l踩l誦o岡c列kH壩i衰l友l汗o鹿c筒k(A省l)後靈果頂:索易蘭造傭成源閘池極拾線谷與蘿信尼號林線貪相督會淘處艷短僻路解趕決耍方桿案燈:w用A法l芽N鋪d萬t董a撫r曉g致e摘t代訂替A嗎l赴t晌a自r亦g禾e嗽tw在A盲l上酸面棗再奏鍍靈一感層罷覆率蓋率金同屬坡來往抑勞制A串l繳h上i州l家l班o者c離k的悟產滿生w減碼小g榆r知a紛i墓n燥s素i辜z抹e可斧降通低h頸i油l口l胸o敞c派k凸駁出何的急大什小S攤p匙l梁a汁s寒h原糟因遮:當t令a幸r浴g對e咐t局測部偵(統如v動o漿i反d、o章x愁i孕d栽e處嫁)散打熱對不匹均,過熱鍛地喊方商在沒高受溫鄰下噸融挑化,在A飯r離初子煩轟變擊瞧下熟滴腔落魂在基臂板索上,形炕成D新o楊m壇et熟y聚p局e的s針p脊l門a糟s圓h在t初a仆r拋g獎e榜t謊e萬d騰g孕e有親強叔烈共的a梅r班c殺i表n交g現存象,使鼻邊辟緣擦的憲金屬泊融湖化詢濺召落泰在扒基冶板躬上,形他成w松i堂n注g詳t被y匠p閃e的s制p敘l臉a蹄s擁hSubstrateArOxideorVoidHeatedareaWingtypeDometypeTargetMeltedparticalS民p肆l腰a催s池h後農果:大捐塊提金升屬槍殘北留昨導借致穿閘暴極凱線果與霞信物號委線店短余路解聲決費方勝案恒:用Sh犬i博e玻l時d栗p鑄l性a扔t驚e裝專置貼保坐護T咱a越r牌g吼e譜t邊歪緣甜不牙被A掠r前c且i朵n暴g改禁變T拳a煉r碎g碗e寺t的猜形應狀蒙可規以唯減鍬少A毯r疫c罪i晝n阿g預串防A吳r孔c請i董n噴g對穗策-是>提勺高T化a職r島g急e啊t的陣純索度,使辦其汁低粱氧源化獨低佩雜唇質(I杜n非c透l鉤u嚇s稀i叢o傍n)提癥高T匯a胸r吃g默e啞t密鉆度(V別o貼i歷d)提維高T盾a犧r握g僵e脊t表酬面芒平開整吉度(S烤u詠r護f馬a疫c玩e劉F窮i貴n者i央s缺h)減錢小t末a厲r不g冶e賄t晶違粒課的獻大瘡小,提隱高化均紅一葉性(G塘a樹i歷n相S親i腎z肌e)N火o圣d枝u地l丸e(I扎T旱O)原倉因:wI遮T安O靶響材愁是消由鉆氧萍化仔銦輔及芒氧網化流錫渾熱愿燒充結遲而奸成,若挽混堵合看不羽均齒及榮壓窯結像密遣度曉不樹足就桐易做在晌濺俯鍍肅時之產伸生泰節被瘤wIT很O靶肌材為混高灰硬傅度披陶存瓷徑材料,面禾積碎大時製析造較難,故採季用多急塊左小死靶請材裝拼抽接剝而句成,接星縫像處羅常酬有No膠d青u拆l熟e存娃在w制胖程看中No級d五u鞏l趴e爆合裂傭開麥形成戶許言多I娘T種O屑,飛葡到素靶泛材瓶上遮削住唱部弱分撇靶如材樣無虎法S廳p紅u題t目t磁e戰r,形縫成萍新將的No特d罷u丟l舌eN乒o爬d守u慨l酸e(I系T側O)後勒果央:w引慚起I哲T筋Of鵝l潔a壟k林e產守生,掉賺落欺於威基蘆板福為P藥a菠r已t宰i密c筐l筒e,影考響艘鍍鄭膜慕品現質,導竊致I仆T瓦O層憐的漠阻責抗耐惡卸化較并課且畢減呢少I戰T解O層席的線透六光壞率解態決妹方剛案栗:用分超哨高乎密疫度鄙的I壁T跟O靶則材每(>便9松5璃%)蓮可樂獲盆得棄改督善w將t論a飽r身g掩e拴t表棟面片處資理最平輔滑尖及叛乾澆淨V青o碗i濕d原襪因蓬:wf典i驗l降m的宏膨符脹策系巡壽數想大附于宋底戶材指時,從袋高仙溫器降油至側室京溫齡時,f慎i漢l務m受國到示拉粱伸川應抽力,如這此末應感力盾過免大社時,A陽l原番子門沿烏晶年界篇向巴膜災下陽移卷動,形蕉成蜘許胡多賭空南隙(除V例o抽i藝d煤)或大裂斥痕(嗎C唯r貌a讀c枕k慚s貓)A南l在陽高夏溫君制哥程谷時,成名膜園的咽晶斧粒鎖方憑向乘不款一疲樣,(1湊1里1)晶統粒界在品兩(1列1吹0)晶協粒章間包形蠶成V掩o植i控d,因怕為(1詞1擠0)晶洋粒功和(1諷1盈1)晶漿粒泥的暗熱湊膨擠脹六系錢數送不丘同金緣瑞屬鐵連誓線物高股低盛起姥伏爛的鑄外板觀輔使刻上燃面閘鍍畏絕鹽緣太層敲不袍易豎完意全疊將迫縫巡壽隙炎填句滿析(而填療塞算不挽良帆),留辣下V匙o吧i歷dI盯T裙O成石膜痕速誦度擾太棕快敢使切得趴薄姑膜腸呈窄柱危狀報結釣構貍造賞成劍有逆很評多柳孔折洞健(V徐o辯i簡d)宗產男生害而憑影宵響貢膜南質V諷o布i得d後嚷果株:拜增鉆加盈膜誦的僅阻邁抗解漆決夠方剩案礎:減忍小g著r雷a臭i輕n款s針i典z佳e提聰高犁靶夢材莫密動度金朵屬可連喂線馳上輔絕犧緣蝴層確通術常吸厚銀度送比域較救薄部在1封0超0父0到3域0鞠0伙0之恢間,即滲使蘇金陸屬南層曠角蔽落襖部響分芳有員凸藏出端也父不飄至浮於奔連利起透來仰形部成V顧o唐i柱d控釀制I曾T恨O成寫膜鳥速滲度合繼適S荒p脅i也k鍋e遭(缸A物l姓)原波因營:S益i在4腥0句0冒℃左刑右狂對A巖l有候一型定嶼的但固媽態陳溶塌解氏度,因仰此拘沉赤積霸於S篩i上的A劣l在挽經晃歷約4室0括0商℃以偶上艷的陵步鍵驟立時,S喝i將品借媽擴下散晴效蒙應雪進僻入A煮l褲,咬A銷l亦口回猛填S絕i因偏擴傍散鳳而號遺舍留拘下勒的嚼空享隙,在A光l與S廢i進壇行接雪觸部貓分回形迅成S扇p氣i德k漂eN+AlSi場氧化膜S頁p皺i牛k賢e夾(古A袖l原)後絡果魂:盜如析果夢尖灑峰舞長討度賴太頭長,穿棕透山了亮膜蔬層,會身導虧致招短慰路解陡決原方睡案拔:w一饒般祥在筋金翠屬予鋁渾的潑沉吸積成制莊程艱中允主講動新加編入酷相流當證於S來i對A吧l之激溶鍛解竿度破的S頑i(炮一配般悅為1載%)w加妥入謹一夕層窮阻貸障掙層,採騾用榜在A鞠l膜績下蛙再扔加誰一油層M假o層,以理防鹽止扶該批現謠象搜的石產剛生E鄭l股e積c悶t考r藥o教m智i協g廊r顛a西t競i搶o緩n(A股l)原棉因寧:w當膀薄滾膜丟中槐的苗原是子(A質l)在誼極戒高杠的需電裁場柴下,譬前如逃較伏高惱的央傳賊導夜電捏流,金衛屬破原毒子墓會榮沿竟著牲材痛質描本斜身綠的兩晶蝕粒專邊膛界,往常電彈子松流拌動痰的歸方萬向銹流,使買的掃導駝線自部款分逢的裂原敏子魚數賢量護遠弦遠昨減覽少,導蕉線列的截面污縮掙小,終祥而劈燕導顧致凳整輕個能導綁線象的鑼斷駕路晶粒邊界鋁線E明l竊e暫c日t妨r宿o健m崗i緣瑞g落r競a津t查i統o愿n(A塌l)後掠果瓦:鹽導荷致齡電劑路解斷啞路,影她響傾元忙件鐵可惡靠壤性說很豬大,導掃致病失慌效解悄決娘方蝴案滴:通意常乳在A迅l中搞加捐入紀少直量證的健其慶他到元冊素過來揀防轟止煩它招的霸發跨生,強等化綢鋁度線佛可判靠繪性通汪常衫是轉加棚入鼻適郵量限的緞銅,含股量池約彎為0著.稠5庭-瓜4憐%之喉間P直e泊e紋l川i旗n評g/C沫r疾a梨c考k原洞因坡:w每弱一評層箏膜畏從娘成頌長槳到健元猴件斧的柴完和成臘之末間,將浙在慢制饑程梅中適經限歷般許銳多視不標同御的陽環岔境,使蒼得備每童一咬層迎的f禮i催l賠m所妄承診受緩的夕機諷械識應郵力謹發售生前變差化,當f拾i肥l喊m累宗積揚過港多恭的流應駕力喚可態能靠產賢生仗永臂久祖的蜜機軍械更性壁的您破慶壞,如剝隙落(P網e蔬e已l戶i緊n蓮g)或訪龜賓裂(C連r市a涂c作k)wf衰i初l惕m的史膨默脹翼系調數竊大維于收底穩材溉時,從啦高胞溫志降芝至明室朵溫理時,f羨i船l果m受蘋到鉤拉脫伸誰應毀力,如司此希應犧力診過留大箏時,A肉l原廊子及沿劫晶券界排向奶膜打下路移駝動,形窄成嚼許徹多押空浪隙(盞V盜o型i立d璃)或育裂窮痕(騰C駐r宮a錯c遞k輕s獸)P腎e允e富l程i敞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