ICS3108099

CCSL5.5.

中華人民共和國國家標準

GB/T41853—2022/IEC62047-92011

:

半導體器件微機電器件

晶圓間鍵合強度測量

Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

Wafertowaferbondingstrengthmeasurement

IEC62047-92011Semiconductordevices—

(:,

Micro-electromechanicaldevices—Part9Wafer

:

towaferbondinstrenthmeasurementforMEMSIDT

gg,)

2022-10-12發布2022-10-12實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T41853—2022/IEC62047-92011

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

測量方法

4…………………1

總則

4.1…………………1

目測法

4.2………………1

拉力測試法

4.3…………………………2

雙懸臂梁測試法

4.4……………………4

靜電測試法

4.5…………………………6

氣泡測試法

4.6…………………………7

三點彎曲測試法

4.7……………………9

芯片剪切測試法

4.8……………………12

附錄資料性鍵合強度示例

A()…………15

附錄資料性三點彎曲測試法試樣的制作工藝示例

B()………………16

參考文獻

……………………17

Ⅰ

GB/T41853—2022/IEC62047-92011

:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用半導體器件微機電器件第部分的晶圓間鍵合

IEC62047-9:2011《9:MEMS

強度測量

》。

本文件增加了術語和定義一章

“”。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動

:

為與現有標準協調將標準名稱改為半導體器件微機電器件晶圓間鍵合強度測量

a),《》;

納入的修改內容所涉及的條款的外側頁邊空白位置用垂直

b)IEC62047-9:2011/COR1:2012,

雙線進行了標示

(‖);

糾正了原文的錯誤第章中和

c)IEC62047-9:2011:2ISO6892-1:2009ASTME399-06e2:

在文中是資料性提及刪除和在參考文獻中

2008,ISO6892-1:2009ASTME399-06e2:2008;

增加和

ISO6892-1:2009ASTME399-06e2:2008;

糾正了原文的錯誤圖和圖中的二維圖不能明確標識出試樣的寬度

d)IEC62047-9:2011:56,

更正為三維圖圖增加單位標注單位為毫米

,6“”。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本文件起草單位中國電子科技集團公司第十三研究所河北美泰電子科技有限公司中機生產力

:、、

促進中心有限公司華東光電集成器件研究所杭州左藍微電子技術有限公司深圳市美思先端電子有

、、、

限公司明石創新煙臺微納傳感技術研究院有限公司紹興中芯集成電路制造股份有限公司

、()、。

本文件主要起草人李倩王偉強顧楓李根梓翟曉飛何凱旋田松杰劉建生崔波武斌汪蔚

:、、、、、、、、、、、

高峰王沖

、。

Ⅲ

GB/T41853—2022/IEC62047-92011

:

半導體器件微機電器件

晶圓間鍵合強度測量

1范圍

本文件規定了晶圓鍵合后鍵合強度的測量方法適用于硅硅共熔鍵合硅玻璃陽極鍵合等多種晶

,-、-

圓鍵合方式以及工藝組裝流程中相關結構尺寸的鍵合強度的評估

,MEMS、。

本文件適用于從十微米到幾毫米厚的晶圓間的鍵合強度測量

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

半導體器件機械和氣候試驗方法第部分芯片剪切強度

IEC60749-1919:(Semiconductor

devices—Mechanicalandclimatictestmethods—Part19:Dieshearstrength)

3術語和定義

本文件沒有需要界定的術語和定義

。

4測量方法

41總則

.

鍵合強度測量方法有目測法拉力測試法雙懸臂梁測試法靜電測試法氣泡氣密性測試法三

:、、、、()、

點彎曲形變測試法以及芯片剪切測試法

(),。

42目測法

.

421目測法類型

..

通過觀察硅基片和玻璃表面顏色變化只能判別兩種材料是否鍵合在一起的基本信息應采用目