標準解讀

《YS/T 1124-2016 磁性濺射靶材透磁率測試方法》是一項國家標準，專門用于規定磁性濺射靶材的透磁率測量方法。該標準適用于各類磁性材料制成的濺射靶材，包括但不限于鐵、鎳、鈷及其合金等。

根據此標準，測試前需要準備的儀器設備主要有：霍爾效應高斯計或特斯拉計（用于磁場強度的測定）、直流電源（為電磁鐵提供穩定電流）、以及能夠精確調節并保持恒定溫度的環境箱（確保測試過程中溫度變化對結果的影響降到最低）。此外，還需要一個可以放置樣品且不會干擾磁場分布的非磁性支架。

在進行正式測試之前，應對所有使用的設備進行校準，并保證測試環境符合要求。具體來說，應該在無外界強磁場干擾、溫度波動小的空間內開展實驗。樣品準備階段，需將待測靶材切割成合適大小和形狀的試樣，同時確保表面光滑平整，避免因物理缺陷影響到最終的數據準確性。

測試流程主要包括以下幾個步驟：

  1. 將經過處理的試樣固定于非磁性支架上；
  2. 使用霍爾效應高斯計或其他合適的工具測量背景磁場強度；
  3. 開啟電磁鐵產生已知強度的均勻磁場，并再次利用高斯計確認實際作用于樣品上的磁場值；
  4. 記錄下此時通過試樣的磁場強度與未加試樣時相比的變化情況；
  5. 根據公式計算出試樣的相對透磁率。

在整個過程中，需要注意的是，每次改變磁場強度后都應重新調整高斯計的位置以保證其始終位于最大場強點；同時，在不同溫度條件下重復上述操作，可以獲得更加全面準確的結果。

本標準還提供了關于數據處理的具體指導原則，包括如何消除邊緣效應帶來的誤差、怎樣選擇合適的數學模型來擬合曲線等，旨在提高測量精度與可靠性。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2016-07-11 頒布
  • 2017-01-01 實施
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文檔簡介

ICS77.120.99

H21

中華人民共和國有色金屬行業標準

YST1124—2016

磁性濺射靶材透磁率測試方法

Testingmethodonpassthroughfluxofmagneticsputteringtarget

2016-07-11發布2017-01-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YST1124—2016

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術經濟研究院

:、。

本標準主要起草人羅俊鋒萬小勇向磊丁照崇李勇軍何金江徐國進夏乾坤劉曉王越

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YST1124—2016

磁性濺射靶材透磁率測試方法

1范圍

本標準規定了磁控濺射用磁性靶材透磁率的術語和定義檢測設備檢驗過程及結果計算等內容

、、。

本標準適用于濺射薄膜用各類磁性靶材透磁率的檢驗

。

2術語和定義

下列術語和定義適用于本標準

。

2.1

透磁率passthroughflux

PTF

直流磁場從磁性靶材一面透過另一面的比率也稱磁透率

,。

2.2

源磁場sourcefield

使用霍爾探頭高斯計測量的貼近載物臺上表面的磁場為直流磁場單位為

,,Gs。

2.3

參考磁場referencefield

載物臺預置靶材的上表面位置的磁場其強度取決于霍爾探頭到源磁體的距離

,。

2.4

測量磁場measuringfield

濺射靶材置于載物臺后靶材的上表面位置的磁場

。

3檢測設備

透磁率檢測設備主要包括源磁體載物臺高斯計和霍爾探頭等設備放置在無鐵磁性材料或外部

、、,

強磁場干擾的環境中示意圖如圖所示

。1。

3.1源磁體

源磁體為馬蹄形永磁鐵固定到載物臺的下方并保持穩定源磁體兩極平行于載物臺表面調整

,,。。

源磁體距離載物臺的位置使霍爾探頭高斯計測得的源磁場強度為

,825Gs±50Gs。

3.2高斯計

高斯計是透磁率檢測的核心設備附帶有橫向場霍爾探頭高斯計直流磁場測量范圍為

(PTF),。0~

精確度為霍爾探頭在源磁體兩極正中位置如圖所示霍爾探頭位于樣品上方

3500Gs,±2%。,1a)。,

僅能通過調節支架上下移動并與磁鐵在水平位置相對固定

。

3.3載物臺

載物臺作為靶材的承載平臺存在于透磁率檢測設備中位于源磁體與霍爾探頭之間載物臺裝配有

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