中華人民共和國國家計量檢定規程

JJG28—2019

平晶

OpticalFlats

2019-09-27發布2020-03-27實施

國家市場監督管理總局發布

JJG28—2019

??

???????????????

平晶檢定規程?JJG28—2019?

??

?????????????

?代替JJG28—2000?

VerificationRegulationofOpticalFlats??

歸口單位全國幾何量工程參量計量技術委員會

:

主要起草單位湖南省計量檢測研究院

:

中國計量科學研究院

參加起草單位蘇州慧利儀器有限責任公司

:

中國兵器工業第研究所

205

本規程委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJG28—2019

本規程主要起草人

:

陳勇湖南省計量檢測研究院

()

張恒中國計量科學研究院

()

曾琰湖南省計量檢測研究院

()

劉麗娟湖南省計量檢測研究院

()

參加起草人

:

韓森蘇州慧利儀器有限責任公司

()

柏文琦湖南省計量檢測研究院

()

王生云中國兵器工業第研究所

(205)

JJG28—2019

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計量性能要求

4…………(3)

平行度

4.1………………(3)

工作面平面度

4.2………………………(3)

非工作面的平面度

4.3…………………(4)

穩定性

4.4………………(4)

通用技術要求

5…………(5)

外觀及表面質量

5.1……………………(5)

外形尺寸

5.2……………(5)

長平晶十字刻線位置

5.3………………(6)

兩端面夾角

5.4………………………(6)

工作面與圓柱母線的垂直度

5.5………(7)

計量器具控制

6…………(7)

檢定項目和主要檢定設備

6.1…………(7)

檢定條件

6.2……………(7)

檢定方法

6.3……………(9)

檢定結果處理

6.4………………………(12)

檢定周期

6.5……………(12)

附錄平晶表面疵病的尺寸及數量

A…………………(13)

附錄相移式激光等厚干涉測量法

B…………………(15)

附錄等厚干涉測量法

C………………(18)

附錄等傾干涉測量法

D………………(20)

附錄四面互檢法檢定長平晶數據處理示例

E………(22)

附錄長平晶自重變形量

F……………(25)

附錄檢定證書和檢定結果通知書內頁格式

G………(27)

Ⅰ

JJG28—2019

引言

通用計量術語及定義國家計量檢定規程編寫

JJF1001—2011《》、JJF1002—2010《

規則測量不確定度評定與表示共同構成本規程修訂工作的基

》、JJF1059.1—2012《》

礎性系列技術法規

。

本規程與平晶相比除編輯性修改外主要技術變化如下

JJG28—2000《》,,:

更正了平晶的印刷錯誤

———JJG28—2000《》:

中式u5u更正為u5u見現版

JJG28—20006.3.8.2b)(6):2=1,:b=a[

1212

式

(5)];

附錄中表的表頭第列EiLiLnKn更正為Ei

JJG28—2000CC.18:=(/),:=

LiLnKn見現版表

(/)Δ(E.1);

?d2??d?2

附錄中式F?÷F更正為F?÷F

JJG28—2000D(D.2):Δ=è?×96,:Δ=è?×96

9696

見現版式

[(C.2)]。

長平晶兩次周期檢定平面度之差從放寬為見

———310mm0.020μm0.030μm(

4.4)。

依據量塊取消了等量塊改用等量塊見

———JJG146—2011《》,6,5(6.3.2)。

取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉儀上檢定的方法

———。

增加相移式等厚測量裝置的結構概述測量方法見附錄等相關內容

———、(B)。

增加標準平晶F范圍內的平面度計算方法見附錄

———96(C)

本規程的歷次版本發布情況

:

———JJG28—2000;

———JJG28—1991;

———JJG28—1980。

Ⅱ

JJG28—2019

平晶檢定規程

1范圍

本規程適用于平晶包括平面平晶平行平晶和長平晶的首次檢定后續檢定和

(、)、

使用中檢查

。

2引用文件

本規程引用下列文件

:

無色光學玻璃

GB/T903—2019

平面平晶

JB/T7401—1994

平行平晶

JB/T7402—1994

光學和光子學光學元件和光學系統的干涉儀測量第

ISO14999-4:2015(E)4

部分在中所明確規定的公差說明和評價

:ISO10110(Opticsandphotonics—Interfero-

metricmeasurementofopticalelementsa