標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJF 1916-2021 掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》相較于《JJG 550-1988》在多個方面進(jìn)行了更新和調(diào)整，以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步與行業(yè)需求。首先，在適用范圍上，《JJF 1916-2021》不僅涵蓋了傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡，還增加了對環(huán)境掃描電鏡等新型設(shè)備的支持，反映了近年來該領(lǐng)域內(nèi)儀器類型和技術(shù)的發(fā)展趨勢。

其次，在術(shù)語定義部分，《JJF 1916-2021》引入了一些新概念，并對原有術(shù)語進(jìn)行了修訂或補(bǔ)充說明，使得標(biāo)準(zhǔn)更加符合當(dāng)前國際通用的語言習(xí)慣和技術(shù)理解水平。例如，“分辨率”、“放大倍率”等關(guān)鍵性能指標(biāo)的定義得到了細(xì)化和完善。

再者，針對校準(zhǔn)項目，《JJF 1916-2021》增加了更多關(guān)于圖像質(zhì)量評價的內(nèi)容，如信噪比、對比度均勻性等參數(shù)，這些新增項能夠更全面地反映SEM（掃描電子顯微鏡）的實際工作狀態(tài)。同時，對于已有的校準(zhǔn)項目，如分辨率測試方法等，《JJF 1916-2021》也提供了更為詳細(xì)的操作指導(dǎo)及要求，提高了校準(zhǔn)過程的一致性和可重復(fù)性。

此外，《JJF 1916-2021》還特別強(qiáng)調(diào)了不確定度評估的重要性，并給出了具體實施指南，幫助用戶更好地理解和控制測量結(jié)果中的不確定性因素。這體現(xiàn)了現(xiàn)代計量學(xué)中對數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和可靠性的更高追求。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2021-07-28 頒布
  • 2022-01-28 實施
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JJF 1916-2021掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第1頁
JJF 1916-2021掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第2頁
JJF 1916-2021掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第3頁
JJF 1916-2021掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第4頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforScanningElectronicMicroscopes(SEM)

2021-07-28發(fā)布2022-01-28實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范??

??????????????????

?JJF1916—2021?

CalibrationspecificationforScanning??

????????????????

?代替JJG5501988?

?—?

ElectronicMicroscopes(SEM)

歸口單位全國幾何量長度計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位中國計量科學(xué)研究院

:

參加起草單位廣州市計量檢測技術(shù)研究院

:

浙江省計量科學(xué)研究院

上海市計量測試技術(shù)研究院

山東省計量科學(xué)研究院

本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋

JJF1916—2021

本規(guī)范主要起草人

:

李偉中國計量科學(xué)研究院

()

高思田中國計量科學(xué)研究院

()

施玉書中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

古耀達(dá)廣州市計量檢測技術(shù)研究院

()

茅振華浙江省計量科學(xué)研究院

()

傅云霞上海市計量測試技術(shù)研究院

()

趙東生山東省計量科學(xué)研究院

()

JJF1916—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和定義

3……………(1)

標(biāo)準(zhǔn)樣板

3.1……………(1)

概述

4……………………(1)

計量特性

5………………(1)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

環(huán)境條件

6.1……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.2………………………(2)

校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法

7…………………(2)

測長示值誤差

7.1………………………(2)

正交畸變

7.2……………(3)

線性失真度

7.3…………(3)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(4)

復(fù)校時間間隔

9…………(4)

附錄掃描電子顯微鏡測長示值誤差的不確定度評定示例

A………(5)

附錄比例尺校準(zhǔn)值

B…………………(7)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式

C……………………(8)

Ⅰ

JJF1916—2021

引言

國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計量術(shù)語及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測量不確定度評定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制修訂工作的基礎(chǔ)性系列

JJF1059.1《》

規(guī)范

。

本規(guī)范是對掃描電子顯微鏡試行的修訂修訂過程中參照

JJG550—1988《()》。

了納米級長度的掃描電鏡測量方法通則和

GB/T20307—2006《》GB/T27788—2011

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則與相比除編輯性修

《》。JJG550—1988,

改外主要技術(shù)變化如下

,:

增加了掃描電鏡測長示值誤差的校準(zhǔn)

———;

增加了Y方向的測長示值誤差校準(zhǔn)

———;

刪除了真空度的測量

———;

刪除了射線泄漏量的測量

———X;

增加了附錄比例尺校準(zhǔn)值

———B“”。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG550—1988。

Ⅱ

JJF1916—2021

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于掃描電子顯微鏡的校準(zhǔn)

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則

JJF1071—2010

納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T20307—2006

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本規(guī)范

。

標(biāo)準(zhǔn)樣板

3.1referenceartifact

具有多個等間距柵格的樣板其柵格間距經(jīng)過國家法定計量檢定機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)間距值

,,

溯源到國家基準(zhǔn)

。

4概述

掃描電子顯微鏡以下簡稱電鏡利用聚焦的電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描電

(“

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